技术编号:6144490
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及有机电致发光(EL)元件、液晶显示元件或场发射显示器(FED field emission display)等平板显示元件。另外,涉及该显示器件的缺陷检测方法及缺陷检测装置。背景技术液晶显示元件等显示元件由于具有小型、薄型、低耗电量以及轻质的特征,因此现 在被广泛地用于各种电子机器中。驱动这些显示元件的驱动电路或薄膜晶体管是使用一般 被称作步进机(st印per)的曝光装置制造的。但是,尤其是随着液晶显示元件的大型化推进,当达到第八代以后时,因制造...
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