技术编号:6150755
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于纳米微加工中的台阶标准样品的制作,特别涉及一种利用氧 化物晶体表面自然台阶制作。背景技术随着纳米技术及纳米技术中的微加工技术的发展,对纳米到微米尺度范围的测试 精度要求越来越高。很多纳米技术的关键领域,如高密度信息储存、超大规模集成电路、生 物芯片等研究中的发展都离不开对纳米尺度薄膜厚度及台阶高度的精确测量。纳米到微米 尺度范围的尺度测量设备中,如扫描探针显微镜、原子力显微镜、台阶仪,轮廓仪等,必须定 期进行可溯源校准才能得到可信的数据。因此,提...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。