技术编号:6171343
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种,其中,压力传感器包括衬底,所述衬底具有器件区,所述衬底表面具有第一介质层,所述第一介质层表面具有第一电极层;位于第一电极层表面的第二介质层,所述器件区的第二介质层具有若干第一开口;位于所述第一开口的侧壁表面的导电侧墙;位于第二介质层表面和第一开口内的第二电极层,所述第二电极层与第二介质层表面、导电侧墙表面和第一开口的底部表面之间具有空腔;位于第二电极层和第二介质层表面的第三介质层,所述第三介质层内具有暴露出器件区的第二电极层表面的第二开口。所述压力传...
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