技术编号：6182988
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种纠偏装置及等离子设备，所述纠偏装置包括纠偏传感器、信号接收器和包覆有保护层的电缆，所述纠偏传感器通过所述电缆与所述信号接收器连接；所述纠偏传感器包括第一耐腐蚀性材料制作的支架以及固定于所述支架上的红外受光镜头，所述红外受光镜头覆盖有第二耐腐蚀性材料制作的耐腐蚀层。在使用时，信号接收器位于常压环境中，纠偏传感器位于真空离子环境中，纠偏传感器的支架和红外受光镜头均由耐腐蚀性材料制成，可以保护支架和红外镜头不被等离子蚀刻的酸性气体腐蚀。而位于常压...
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