纠偏装置及等离子设备的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种纠偏装置及等离子设备，所述纠偏装置包括纠偏传感器、信号接收器和包覆有保护层的电缆，所述纠偏传感器通过所述电缆与所述信号接收器连接；所述纠偏传感器包括第一耐腐蚀性材料制作的支架以及固定于所述支架上的红外受光镜头，所述红外受光镜头覆盖有第二耐腐蚀性材料制作的耐腐蚀层。在使用时，信号接收器位于常压环境中，纠偏传感器位于真空离子环境中，纠偏传感器的支架和红外受光镜头均由耐腐蚀性材料制成，可以保护支架和红外镜头不被等离子蚀刻的酸性气体腐蚀。而位于常压环境中的信号接收器，其内部电路板不受等离子蚀刻环境的影响，可长期使用。采用上述纠偏装置的等离子设备，性能稳定，使用寿命长。
【专利说明】纠偏装置及等离子设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及等离子处理领域，特别是涉及纠偏装置及等离子设备。
【背景技术】
[0002]等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面活化、改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。卷性等离子处理设备是用来处理柔性卷式电路板和卷性电子材料，如聚酰亚胺(Polyimide，PI)，电路板覆
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[0003]一般地，卷性等离子处理设备中设有纠偏装置，其纠偏装置包括纠偏传感器和信号接收器，纠偏传感器和信号接收器均置于卷性等离子设备的真空端。当等离子设备工作时，纠偏装置处于等离子蚀刻环境中，此时，信号接收器内部的电路板以及纠偏传感器的红外受光镜头在等离子蚀刻环境中容易被腐蚀，影响纠偏装置的性能。
【发明内容】
[0004]基于此，有必要提供一种信号接收器内部的电路板以及纠偏传感器的红外受光镜头不易被腐蚀的纠偏装置及等离子设备。
[0005]一种纠偏装置，包括纠偏传感器和信号接收器，所述纠偏装置还包括包覆有保护层的电缆，所述纠偏传感器通过所述电缆与所述信号接收器连接；
[0006]所述纠偏传感器包括第一耐腐蚀性材料制作的支架以及固定于所述支架上的红外受光镜头，所述红外受光镜头覆盖有第二耐腐蚀性材料制作的耐腐蚀层。
[0007]在其中一个实施例中，所述保护层的厚度为所述电缆直径的0.5倍?3倍。
[0008]在其中一个实施例中，所述保护层的材质为聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡胶。聚四氟乙烯具有较好的耐酸碱性，采用聚四氟乙烯作为保护层的材质可以保护电缆免遭等离子环境的腐蚀。
[0009]在其中一个实施例中，所述红外受光镜头包括发射端和接收端，所述发射端与接收端相对设置。
[0010]在其中一个实施例中，所述第一耐腐蚀性材料为铝合金或钛。铝合金不仅具有耐腐蚀性能，而且还具有密度小的优点，采用铝合金制作支架，可以减轻纠偏装置的重量。
[0011]在其中一个实施例中，所述第二耐腐蚀性材料为玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。
[0012]一种等离子设备，包括真空腔室以及设置在所述真空腔室内的放料轴和收料轴，所述放料轴和所述收料轴分别由伺服电机驱动，所述真空腔室内设有等离子区域，所述等离子设备还设有纠偏装置，所述纠偏装置包括纠偏传感器、信号接收器和包覆有保护层的电缆，所述纠偏穿感器位于所述等离子区域内，所述电缆穿出所述真空腔室，所述电缆一端与纠偏传感器连接，另一端与所述信号接收器连接；[0013]所述纠偏传感器包括第一耐腐蚀性材料制作的支架以及固定于所述支架上的红外受光镜头，所述红外受光镜头覆盖有第二耐腐蚀性材料制作的耐腐蚀层。
[0014]在其中一个实施例中，所述保护层的厚度为所述电缆直径的0.5倍?3倍。
[0015]在其中一个实施例中，所述红外受光镜头包括发射端和接收端，所述发射端与所述接收端相对设置。
[0016]在其中一个实施例中，所述保护层的材质为聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡胶，所述第一耐腐蚀性材料为铝合金或钛，所述第二耐腐蚀性材料为玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。
[0017]上述纠偏装置，采用包覆有保护层的电缆将纠偏传感器和信号接收器连接起来，纠偏传感器和信号接收器分体式设置，纠偏传感器和信号接收器可以在不同的工作环境中运行。在使用时，信号接收器位于常压环境中，纠偏传感器位于真空离子环境中，纠偏传感器的支架和红外镜头均由防腐蚀性材料制成，可以保护支架和红外镜头不被等离子蚀刻的酸性气体腐蚀。而位于常压环境中的信号接收器，其内部电路板不受等离子蚀刻环境的影响，不容易被腐蚀，可长期使用。采用上述纠偏装置的等离子设备，性能稳定，使用寿命长。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1为一实施方式的纠偏装置的结构示意图；
[0019]图2为一实施方式的纠偏装置的立体结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的【具体实施方式】做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。
[0021]请参阅图1和图2，一实施方式的纠偏装置，包括纠偏传感器10、信号接收器20和包覆有保护层30的电缆40，纠偏传感器10通过电缆40与信号接收器20连接。将纠偏传感器10和信号接收器20采用具有一定长度的电缆40连接，可以灵活设置纠偏传感器10和信号接收器20的安装位置。电缆40的长度可以根据等离子区的大小以及纠偏装置的大小进行选择，其长度只要可以实现信号接收器20位于常压环境中即可。保护层30的材质为耐腐蚀性材料，可以在等离子蚀刻的酸性气体环境中保持性能不变。保护层30既可以是包覆整个电缆40，也可以是仅仅包覆暴露在等离子区部分的电缆40。在本实施方式，保护层30包覆整个电缆40。
[0022]纠偏传感器10包括第一耐腐蚀性材料制作的支架12以及固定于支架12上的红外受光镜头14，红外受光镜头14覆盖有第二耐腐蚀性材料制作的耐腐蚀层(图未示)。第一耐腐蚀性材料与第二耐腐蚀性材料均可以保护纠偏传感器10不被等离子蚀刻的酸性气体腐蚀。红外受光镜头14的材料可以为玻璃或者其他透明材料，其耐腐蚀层可以采用喷涂工艺进行制作。
[0023]上述纠偏装置，通过电缆40将纠偏传感器10和信号接收器20连接起来，可以使得纠偏传感器10和信号接收器20位于不同的工作环境中。在使用时，信号接收器20位于常压环境中，纠偏传感器10位于真空离子环境中，纠偏传感器10的支架12和红外受光镜头14均由防腐蚀性材料制成，可以保护支架12和红外镜头不被等离子蚀刻的酸性气体腐蚀，而位于常压环境中的信号接收器20，其内部电路板不受等离子蚀刻环境的影响，不容易被腐蚀，可长期使用。
[0024]在一实施方式中，保护层30的材质为聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡胶。在其他实施方式中，保护层30的材质也可以为其他耐腐蚀性材料，如丁腈橡胶等。
[0025]在一实施方式中，保护层30的厚度为电缆40直径的0.5倍?3倍。保护层30的厚度如果太厚会增加制作成本，如果太薄，又会达不到理想的耐腐蚀效果。当保护层30的厚度为电缆40直径的0.5倍?3倍时，既可以实现电缆40的耐腐蚀功能，又能节约制作成本。
[0026]在一实施方式中，红外受光镜头14包括接收端140和发射端142，接收端140与发射端142相对设置。接收端140位于发射端142的正上方，当发射端142与接收端140检测到偏移信号时，偏移信号被发送至信号接收器20，然后对偏移信号进行处理。
[0027]在一实施方式中，第一耐腐蚀性材料为铝合金或钛。铝合金不仅具有较好的耐腐性，而且密度小，使用铝合金制作支架12，可以减轻纠偏装置的重量。在其他实施方式中，第一耐腐蚀性材料也可以为钛。
[0028]在一实施方式中，第二耐腐蚀性材料为玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。在制作红外受光镜头14时，采用喷涂工艺在红外受光镜头14上涂覆一层耐腐蚀层。可以理解的是，耐腐蚀层应该是透明的，即耐腐蚀层并不影响红外受光镜头14的透光性。在其他实施方式中，也可以直接采用透明的耐腐蚀性材料制作红外受光镜头14。
[0029]上述纠偏装置可以用于等离子设备中，特别是卷性等离子设备，用于解决卷性材料在等离子处理过程中的偏移问题。下面以一具体的等离子设备进行举例。
[0030]一实施方式的等离子设备，包括上述纠偏装置，真空腔室以及设置在真空腔室内的放料轴和收料轴，放料轴和收料轴分别由伺服电机驱动，真空腔室内设有等离子区域，其中，等离子区域是由正电极和负电极构成的。
[0031]纠偏传感器位于等离子区域内，电缆穿出真空腔室，一端与纠偏传感器连接，一端与信号接收器连接。
[0032]上述等离子设备，纠偏传感器置于真空腔室内的等离子区，而信号接收器位于真空腔室外部，纠偏传感器与信号接收器通过包覆有保护层的电缆连接。位于等离子区的纠偏传感器由于受到耐腐蚀层的保护，可以不被等离子蚀刻的酸性气体腐蚀，而位于常压环境中的信号接收器，不受等离子环境的影响，避免了被腐蚀。上述等离子设备性能稳定，使用寿命长。
[0033]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【权利要求】
1.一种纠偏装置，包括纠偏传感器和信号接收器，其特征在于，所述纠偏装置还包括包覆有保护层的电缆，所述纠偏传感器通过所述电缆与所述信号接收器连接； 所述纠偏传感器包括第一耐腐蚀性材料制作的支架以及固定于所述支架上的红外受光镜头，所述红外受光镜头覆盖有第二耐腐性材料制作的耐腐蚀层。
2.根据权利要求1所述的纠偏装置，其特征在于，所述保护层的厚度为所述电缆直径的0.5倍?3倍。
3.根据权利要求1所述的纠偏装置，其特征在于，所述保护层的材质为聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡胶。
4.根据权利要求1所述的纠偏装置，其特征在于，所述红外受光镜头包括发射端和接收端，所述发射端与所述接收端相对设置。
5.根据权利要求1所述的纠偏装置，其特征在于，所述第一耐腐蚀性材料为铝合金或钛。
6.根据权利要求1-5任一项所述的纠偏装置，其特征在于，所述第二耐腐蚀性材料为玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。
7.一种等离子设备，包括真空腔室以及设置在所述真空腔室内的放料轴和收料轴，所述放料轴和所述收料轴分别由伺服电机驱动，所述真空腔室内设有等离子区域，其特征在于，所述等离子设备还设有纠偏装置，所述纠偏装置包括纠偏传感器、信号接收器和包覆有保护层的电缆，所述纠偏传感器位于所述等离子区域内，所述电缆穿出所述真空腔室，所述电缆一端与纠偏传感器连接，另一端与所述信号接收器连接； 所述纠偏传感器包括第一耐腐蚀性材料制作的支架以及固定于所述支架上的红外受光镜头，所述红外受光镜头覆盖有第二耐腐性材料制作的耐腐蚀层。
8.根据权利要求7所述的等离子设备，其特征在于，所述保护层的厚度为所述电缆直径的0.5倍?3倍。
9.根据权利要求7所述的等离子设备，其特征在于，所述红外受光镜头包括发射端和接收端，所述发射端与接收端相对设置。
10.根据权利要求7-9任一项所述的等离子设备，其特征在于，所述保护层的材质为聚四氟乙烯、氯化聚氯乙烯或丁基橡胶，所述第一耐腐蚀性材料为铝合金或钛，所述第二耐腐蚀性材料为玻璃、聚碳酸酯或丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物。
【文档编号】G01V8/10GK103592693SQ201310557325
【公开日】2014年2月19日 申请日期:2013年11月11日 优先权日:2013年11月11日
【发明者】赵公魄, 赵芝强, 梁冠雄, 丁雪苗, 刘玉平 申请人:珠海宝丰堂电子科技有限公司