振动片、振动器件、物理量检测装置以及电子设备的制作方法技术资料下载

技术编号:6185973

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本发明涉及振动片、振动器件、物理量检测装置以及使用了它们的电子设备。背景技术以往,作为用于检测角速度的振动片,已知有所谓的“WT型”陀螺仪元件(例如参照专利文献1、专利文献2)。作为一例,对专利文献I的陀螺仪元件进行说明,专利文献I的陀螺仪元件具有振动体;支撑振动体的第一、第二支撑部;连接振动体和第一支撑部的第一、第二梁;连接振动体和第二支撑部的第三、第四梁。此外,振动体由以下部分构成基部;从基部起朝向两侧沿着I轴延伸的第一、第二检测振动臂;从基部起朝向两...
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