专利名称：振动片、振动器件、物理量检测装置以及电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及振动片、振动器件、物理量检测装置以及使用了它们的电子设备。
背景技术：
以往，作为用于检测角速度的振动片，已知有所谓的“WT型”陀螺仪元件(例如参照专利文献1、专利文献2)。作为一例，对专利文献I的陀螺仪元件进行说明，专利文献I的陀螺仪元件具有:振动体；支撑振动体的第一、第二支撑部；连接振动体和第一支撑部的第一、第二梁；连接振动体和第二支撑部的第三、第四梁。此外，振动体由以下部分构成:基部；从基部起朝向两侧沿着I轴延伸的第一、第二检测振动臂；从基部起朝向两侧沿着X轴延伸的第一、第二连接臂；从第一连接臂的末端部起朝向两侧沿着y轴延伸的第一、第二驱动振动臂；从第二连接臂的末端部起朝向两侧沿着y轴延伸的第三、第四驱动振动臂。这样的专利文献I的陀螺仪元件经由导电性粘结剂安装在安装基板上。具体地说，设置于第一、第二支撑部的六个连接端子(固定部)与安装基板通过导电性粘结剂接合，由此将陀螺仪元件固定到安装基板上，并且将陀螺仪元件和安装基板电连接。专利文献I日本特开2006-201011号公报专利文献2日本特开2010-256332号公报在如上所述的陀螺仪元件中，公知会产生所谓的“振动泄漏现象”:各个驱动振动臂或检测振动臂的振动传播到从振动 体延伸出的各个梁，进而传播到第一、第二支撑部。当发生该振动泄漏现象时，在将连接端子(固定部)固定到安装基板的情况下，存在如下课题:因振动泄漏现象阻碍了所传播的振动，该振动的阻碍可能也会对驱动振动臂或检测振动臂的振动产生影响。另外，当振动泄漏现象对驱动振动臂或检测振动臂的振动产生影响时，陀螺仪元件的振动特性的劣化，尤其是温度漂移增大。
发明内容
本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，可以作为以下方式或应用例来实现。[应用例I]本应用例的振动片具有:振动体；支撑部,其与从所述振动体延伸出的梁连接，支撑所述振动体；以及至少两个固定部，它们设置于所述支撑部，沿着与所述梁的延伸方向交叉的方向分离且并列地设置，在所述两个固定部之间将所述梁和所述支撑部相连，在所述两个固定部之间设有薄部或者贯通部，所述薄部形成为，该薄部在所述支撑部的正反方向上的厚度比所述支撑部的设置所述固定部的部分薄，所述贯通部是在正反方向上贯通地去除所述支撑部而形成的。根据本应用例所述的振动片，在分离且并列地设置的至少两个固定部之间的支撑部上连接了梁。而且，在所述两个固定部之间设有薄部或者贯通部，所述薄部形成为，该薄部在支撑部的正反方向上的厚度薄，所述贯通部是在正反方向上贯通地去除支撑部而形成的。利用该薄部以及贯通部，使得梁与支撑部相连的部分的刚性减弱，容易发生变形，通过该部分的变形，能够缓解梁所具有的应力。由此，能够缓解从振动体向梁产生的应力，所以能够减少传播到梁的因振动泄漏现象引起的振动传播到固定部。由此，能够提供减轻了振动片的振动特性劣化、尤其减小了温度漂移的振动片。[应用例2]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述支撑部具有从所述梁分别延伸到所述两个固定部的宽度狭窄部，所述支撑部的所述宽度狭窄部处的宽度比所述支撑部的设置所述固定部的部分的宽度窄。根据本应用例所述的振动片，设有从梁延伸到两个固定部的宽度狭窄部，利用宽度变窄而容易变形的宽度狭窄部，能够缓解从振动体向梁产生的应力。由此，能够减少传播到梁的因振动泄漏现象引起的振动向两个固定部的传播。[应用例3]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述薄部或所述贯通部的靠所述振动体侧的端部在所述支撑部的侧面开放。根据本应用例所述的振动片，利用薄部或贯通部形成的宽度狭窄部与梁相连，因此，能够缓解从振动体向梁产生的应力，能够减少传播到梁的因振动泄漏现象引起的振动向固定部的传播。[应用例4]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，所述振动体具有:基部；从所述基部起朝向两侧沿着第一方向延伸的第一检测振动臂以及第二检测振动臂；从所述基部起朝向两侧沿着与所述第一方向垂直的第二方向延伸的第一连接臂和第二连接臂；从所述第一连接臂起朝向两侧沿着所述第一方向延伸的第一驱动振动臂和第二驱动振动臂；从所述第二连接臂朝向两侧沿着所述第一方向延伸的第三驱动振动臂和第四驱动振动臂，由所述第一检测振动臂以及所述第二检测振动臂构成检测振动系统，由所述第一驱动振动臂、所述第二驱动振动臂、所述第三驱动振动臂以及所述第四驱动振动臂构成驱动振动系统，所述支撑部具有隔着所述振动体沿着所述第一方向相对配置，并且在所述第二方向上延伸的第一支撑部以及第二支撑部，所述梁具有:经过所述第一检测振动臂和所述第一驱动振动臂之间，连接所述第一支撑部和所述基部的第一梁；经过所述第一检测振动臂和所述第三驱动振动臂之间，连接所述第一支撑部和所述基部的第二梁；经过所述第二检测振动臂和所述第二驱动振动臂之间，连接所述第二支撑部和所述基部的第三梁；以及经过所述第二检测振动臂和所述第四驱动振动臂之间，连接所述第二支撑部和所述基部的第四
M
ο根据本应用例所述的振动片，通过在第一梁 第四梁这各个梁与固定部之间设置薄部或宽度狭窄部，能够缓解从振动体向梁产生的应力，能够减少传播到梁的因振动泄漏现象引起的振动向固定部的传播。从而，能够实现降低了温度漂移的角速度检测。[应用例5]在上述应用例所述的振动片中，其特征在于，该振动片具有:连接所述第一梁和所述第二梁的第一连接梁、以及连接所述第三梁和所述第四梁的第二连接梁，利用所述第一连接梁以及所述第二连接梁将所述振动体分别连接到所述第一支撑部以及所述第二支撑部。根据本应用 例中所述的振动片，振动体通过第一连接梁或第二连接梁的每一个连接梁与各个支撑部连接，因此，除了所述薄部、宽度狭窄部的变形以外，接合部分也容易在各个方向上发生变形，能够进一步缓解从振动体向连接梁产生的应力。由此，能够减少传播到连接梁的因振动泄漏现象所引起的振动向固定部的传播。[应用例6]本应用例所述的振动器件的特征在于，该振动器件具备:具有至少两个连接焊盘的基板；以及上述应用例所述的振动片，通过导电性固定部件将所述连接焊盘和所述固定部接合。根据本应用例所述的振动器件，由于使用了上述振动片，因此能够提供减轻了振动片的振动特性劣化、尤其是温度漂移的振动器件。[应用例7]在上述应用例所述的振动器件中，其特征在于，在所述基板的俯视中，所述连接焊盘的轮廓的一部分与设置所述薄部或所述贯通部的区域的一部分重合。根据本应用例所述的振动器件，可以把薄部或贯通部用作刻度(标记)，所以能够更加准确、简便地进行相对于基板的定位。[应用例8]本应用例所述的物理量检测装置的特征在于，该物理量检测装置具有:上述应用例所述的振动片、驱动所述振动片的驱动电路、以及根据来自所述振动片的检测信号，检测预定物理量的检测电路。根据本应用例，由于使用了上述振动片，所以能够提供特性稳定的物理量检测装置，尤其是能提供减小了温度漂移的可靠性高的物理量检测装置。[应用例9]本应用例所述的电子设备的特征在于，具有上述应用例中的任意一个应用例所述的振动片。根据本应用例，由于使用了上述振动片，所以能够提供特性稳定的电子设备，尤其是能够提供通过温度漂移的减小等实现的可靠性高的电子设备。
图1是表示本发明的振动器件的实施方式的图(剖视图以及俯视图)。图2是作为振动器件所具有的振动片的陀螺仪元件的俯视图。图3是作为振动器件所具有的振动片的陀螺仪元件的俯视图。图4是陀螺仪元件的局部放大图，Ca)是俯视图，(b)是主视图。图5是说明振动陀螺元件的驱动的俯视图。图6的(a)是用于说明本实施方式的陀螺仪元件的效果的一例的剖视图，(b)是表示以往的陀螺仪元件的问题的剖视图。图7的(a) (f)是表示陀螺仪元件的变形例的局部俯视图。图8的(a) (f)是表示陀螺仪元件的变形例的局部俯视图。图9是表示陀螺仪元件的其他变形例的局部俯视图。图10是表示物理量检测装置的结构的概略图。符号说明1...振动器件、2...陀螺仪元件、3...振动片、4...振动体、8...导电性固定部件(银膏)、9...封装、10...连接焊盘、22...基部、41...基部、51...第一支撑部、51a...接合部、51b...接合部、52...第二支撑部、52a...接合部、52b...接合部、61...第一梁、
62...第二梁、63...第三梁、64...第四梁、91...基座、92...盖、421...第一检测振动臂、422...第二检测振动臂、431...第一连接臂、432...第二连接臂、441...第一驱动振动臂、442...第二驱动振动臂、443...第三驱动振动臂、444...第四驱动振动臂、512...槽、512a,512b...端部、512b，、512”...一端、514...槽、522...槽、524...槽、710...检测信号电极、712...检测信号配线、714...作为固定部的检测信号端子、720...检测接地电极、722...检测接地配线、724...作为固定部的检测接地端子、730...驱动信号电极、732...驱动信号配线、734...作为固定部的驱动信号端子、740...驱动接地电极、
742...驱动接地配线、744...作为固定部的驱动信号端子、911...底板、912...侧壁、SI
510...区域。
具体实施例方式以下，基于附图中所示的实施方式详细说明本发明的振动片以及振动器件。〈实施方式〉首先说明应用了本发明的振动片的振动器件的实施方式。图1是表示本发明的振动器件的实施方式的俯视图以及正剖视图。图2以及图3是图1中所示的振动器件所具备的陀螺仪元件的俯视图。图4是图3中所示的陀螺仪元件的局部放大图，(a)是俯视图，(b)是主视图。图5是说明陀螺元件的驱动的俯视图。图6是用于说明本实施方式的陀螺仪元件的效果的一例的图，Ca)是用于说明本实施方式的结构的效果的一例的正剖视图，(b)是表示以往的陀螺仪元件的问题的剖视图。另外，以下如图1所示，将彼此垂直的3个轴设为“X轴”、“y轴”以及“z轴”，z轴与振动器件的厚度方向一致。此外，将与X轴平行的方向称为“X轴方向(第二方向)”，将与y轴平行的方向称为“y轴方向(第一方向)”，将与z轴平行的方向称为“z轴方向”。图1中所示的振动器 件I具有:作为振动片的陀螺仪元件(振动元件)2、和用于收纳陀螺仪元件2的封装9。以下，依次详细地说明陀螺仪元件2以及封装9。(陀螺仪元件)图2是从上侧(盖92侧)观察的陀螺仪元件的上表面图，图3是从上侧观察的陀螺仪元件的下表面图(透视图)。此外，在图2以及图3中，为了便于说明，在电极以及端子上画出了阴影线。此外，在图2以及图3中，用相同的阴影线表示的电极以及端子代表电连接在一起。此外，在图4中，为了便于说明，省略了支撑部、梁、电极等的图示。陀螺仪元件2是检测绕z轴的角速度的“面内检测型”的传感器，如图2以及图3所示，由振动片3、设置于振动片3的表面的多个电极、配线以及端子构成。振动片3可以由石英、钽酸锂、铌酸锂等压电材料构成，其中，优选的是由石英构成。由此得到了能够发挥优异的振动特性(频率特性)的振动片3。这样的振动片3具有:所谓的双T型的振动体4、作为支撑振动体4的支撑部的第一支撑部51及第二支撑部52、作为将振动体4和第一、第二支撑部51、52相连的梁的第一梁61、第二梁62、第三梁63以及第四梁64。振动体4在xy平面中具有宽度，在z轴方向上具有厚度。这样的振动体4具有:位于中央的基部41 ;从基部41起沿着y轴方向朝向两侧延伸的第一检测振动臂421、第二检测振动臂422 ;从基部41起沿着X轴方向朝向两侧延伸的第一连接臂431、第二连接臂432 ;从第一连接臂431的末端部起沿着I轴方向朝向两侧延伸的第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442 ;从第二连接臂432的末端部起沿着I轴方向朝向两侧延伸的第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444。在第一第二检测振动臂421、422以及第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444的末端部，分别设有宽度比基端侧宽的大致四边形的重量部(锤头)。通过设置这样的重量部，来提高陀螺仪元件2的角速度的检测灵敏度。另外，以下把该重量部称为“末端部”。另外，第一、第二驱动振动臂441、442可以从第一连接臂431的延伸方向的中途延伸出来，同样地，第三、第四驱动振动臂443、444可以从第二连接臂432的延伸方向的中途延伸出来。此外，第一、第二支撑部51、52分别沿着X轴方向延伸，振动体4位于这些第一第二支撑部51、52之间。换言之，第一、第二支撑部51、52被配置成隔着振动体4沿着y轴方向对置。第一支撑部51经由第一梁61以及第二梁62与基部41连接，第二支撑部52经由第三梁63以及第四梁64与基部41连接。第一梁61经过第一检测振动臂421和第一驱动振动臂441之间，连接第一支撑部51和基部41，第二梁62经过第一检测振动臂421和第三驱动振动臂443之间，连接第一支撑部51和基部41，第三梁63经过第二检测振动臂422和第二驱动振动臂442之间，连接第二支撑部52和基部41，第四梁64经过第二检测振动臂422和第四驱动振动臂444之间，连接第二支撑部52和基部41。
这样的各个梁61、62、63、64分别具有沿着x轴方向往复，并且沿着y轴方向延伸的蛇行部(S字形状部)，在X轴方向以及y轴方向具有弹性。此外，各个梁61、62、63、64分别拥有具备蛇形部的细长形状，因而在所有方向上都具有弹性。因此，即使从外部施加了冲击，也由于各个梁61、62、63、64具有吸收冲击的作用，所以能够减少或抑制由此引起的检
测噪声。以上，对振动片3的结构进行了说明。如图2以及图3所示，在这样的振动片3上设有:检测信号电极710、检测信号配线712、检测信号端子714、检测接地电极720、检测接地配线722、检测接地端子724、驱动信号电极730、驱动信号配线732、驱动信号端子734、驱动接地电极740、驱动接地配线742以及驱动接地端子744。另外，检测信号端子714、检测接地端子724、驱动信号端子734以及驱动接地端子744相当于固定部。为了便于说明，在图2以及图3中，用右下斜线表示检测信号电极710、检测信号配线712以及检测信号端子714，用交叉斜线表示检测接地电极720、检测接地配线722以及检测接地端子724，用左下斜线表示驱动信号电极730、驱动信号配线732以及驱动信号端子734，用交叉纵横线表示驱动接地电极740、驱动接地配线742以及驱动接地端子744。此外，在图2以及图3中，用粗线表示设置于振动片3的侧面的电极、配线以及端子。各个电极710、720、730、740、各个配线 712、722、732、742 以及各个端子 714、724、734、744例如可以是层叠由铬构成的基底层和由金构成的电极层而得到的结构。由此，能够形成密合性好的各个电极710、720、730、740、各个配线712、722、732、742以及各个端子714、724、734、744。各个电极710、720、730、740彼此电分离。与此同样，各个配线712、722、732、742彼此电分离，各个端子714、724、734、744也彼此电分离。以下，依次对这各个电极、各个配线、各个端子进行说明。此外，以下，为了便于说明，将图2中所示的面称为“上表面”，将图3中所示的面称为“下表面”，将连接上表面与下表面的面称为“侧面”。(I)检测信号电极、检测信号配线以及检测信号端子检测信号电极710被设置于第一、第二检测振动臂421、422的上表面以及下表面。但是，在实施方式中，检测信号电极710并未设置在第一、第二检测振动臂421、422的末端部。检测信号电极710被配置成关于XZ平面面对称。检测信号电极710是在激励第一第二检测振动臂421、422的检测振动时，用于检测因该振动产生的压电材料的变形的电极。此外，检测信号配线712被设置于第一、第三梁61、63。更具体地讲，检测信号配线712被设置于第一、第三梁61、63的上表面。而且，检测信号配线712被设置在第一梁61与第一支撑部51的接合部分的侧面、第三梁63与第二支撑部52的接合部分的侧面、基部41的上表面以及下表面。这样的检测信号配线712被配置成关于XZ平面面对称。此外，检测信号端子714被设置于第一、第二支撑部51、52。更具体地讲，检测信号端子714被设置于第一、第二支撑部51、52的上表面和下表面、以及侧面。设置于第一支撑部51的上表面、下表面以及侧面的检测信号端子714彼此电连接。此外，设置于第二支撑部52的上表面、下表面以及侧面的检测信号端子714彼此电连接。设置于第一支撑部51的检测信号端子714相对于设有驱动接地电极740的第一驱动振动臂4 41的末端部，被配置在y轴的负方向侧(图中与y轴箭头方向相反的方向)。即、设置于第一支撑部51的检测信号端子714和设置于第一驱动振动臂441的末端部的驱动接地电极740在7轴方向上对置。此外，设置于第二支撑部52的检测信号端子714相对于设有驱动接地电极740的第二驱动振动臂442的末端部，被配置在y轴的正方向侧。即、设置于第二支撑部52的检测信号端子714和设置于第二驱动振动臂442的末端部的驱动接地电极740在y轴方向上对置。这样的检测信号端子714被配置成关于xz平面面对称。设置于第一支撑部51的检测信号端子(第一检测信号端子)714经由设置于第一梁61的检测信号配线 712，与设置于第一检测振动臂421的检测信号电极(第一检测信号电极)710电连接。具体地说，设置于第一支撑部51的检测信号端子714与设置于第一梁61的上表面的检测信号配线712连接，检测信号配线712从第一梁61的上表面经过第一梁61与基部41的接合部分的侧面、和基部41的上表面以及下表面，与设置于第一检测振动臂421的上表面以及下表面的检测信号电极710连接。由此，能够把第一检测振动臂421振动产生的第一检测信号从检测信号电极710传递到设置于第一支撑部51的检测信号端子 714。设置于第二支撑部52上的检测信号端子(第二检测信号端子)714经由设置于第三梁63的检测信号配线712，与设置于第二检测振动臂422的检测信号电极(第二检测信号电极)710电连接。具体地说，设置于第二支撑部52的检测信号端子714与设置于第三梁63的上表面的检测信号配线712连接，检测信号配线712从第三梁63的上表面经过第三梁63与基部41的接合部分的侧面、和基部41的上表面以及下表面，与设置于第二检测振动臂422的上表面以及下表面的检测信号电极710连接。由此，能够把第二检测振动臂422振动产生的第二检测信号从检测信号电极710传递到设置于第二支撑部52的检测信号端子714。(2)检测接地电极、检测接地配线以及检测接地端子检测接地电极720被设置于第一、第二检测振动臂421、422的末端部。具体地说，检测接地电极720被设置于第一、第二检测振动臂421、422的末端部的上表面以及下表面。而且，检测接地电极720被设置于第一、第二检测振动臂421、422的侧面。设置于第一检测振动臂421的上表面、下表面以及侧面的检测接地电极720彼此电连接。此外，设置于第二检测振动臂422的上表面、下表面以及侧面的检测接地电极720彼此电连接。这样的检测接地电极720被配置成关于XZ平面面对称。相对于检测信号电极710，检测接地电极720具有作为地的电压。此外，检测接地配线722被设置于第一、第三梁61、63。具体地说，检测接地配线722被设置于第一第三梁61、63的下表面以及侧面。而且，检测接地配线722被设置于基部41的上表面以及下表面。检测接地配线722被配置成关于XZ平面面对称。此外，检测接地端子724被设置于第一、第二支撑部51、52。具体地说，检测接地端子724被设置于第一、第二支撑部51、52的上表面、下表面以及侧面。设置于第一支撑部51的上表面、下表面以及侧面的检测接地端子724彼此电连接。此外，设置于第二支撑部52的上表面、下表面以及侧面的检测接地端子724彼此电连接。设置于第一支撑部51的检测接地端子724相对于设有检测接地电极720的第一检测振动臂421的末端部，被配置在y轴的负方向侧。即、设置于第一支撑部51的检测接地端子724与设置于第一检测振动臂421的末端部的检测接地电极720在y轴方向上彼此相对。此外，设置于第二支撑部52上的检测接地端子724相对于设有检测接地电极720的第二检测振动臂422的末端部，被配置在I轴的正方向侧。S卩、设置于第二支撑部52的检测接地端子724与设置于第二检测振动臂422的末端部的检测接地电极720在y轴方向上彼此相对。这样的检测接地端子724被配置成关于XZ平面面对称。设置于第一支撑部51的检测接地端子(第一检测接地端子)724经由设置于第一梁61的检测接地配线722，与设置于第一检测振动臂421的检测接地电极(第一检测接地电极)720电连接。具体地说，设置于第一支撑部51的检测接地端子724与设置于第一梁61的下表面以及侧面的检测接地配线72 2连接，检测接地配线722从第一梁61的下表面以及侧面经过基部41的上表面以及下表面，与设置于第一检测振动臂421的上表面以及下表面的检测接地电极720连接。设置于第二支撑部52的检测接地端子(第二检测接地端子)724经由设置于第三梁63的检测接地配线722，与设置于第二检测振动臂422的检测接地电极(第二检测接地电极)720电连接。具体地说，设置于第二支撑部52的检测接地端子724与设置于第三梁63的下表面以及侧面的检测接地配线722连接，检测接地配线722从第三梁63的下表面以及侧面经过基部41的上表面以及下表面，与设置于第二检测振动臂422的上表面以及下表面的检测接地电极720连接。如上所述地配置了检测信号电极710、检测信号配线712、检测信号端子714、检测接地电极720、检测接地配线722、检测接地端子724。由此，第一检测振动臂421所产生的检测振动可表现为设置于第一检测振动臂421上的检测信号电极710与检测接地电极720之间的电荷，而从设置于第一支撑部51的检测信号端子714和检测接地端子724作为信号取出。此外，第二检测振动臂422所产生的检测振动可表现为设置于第二检测振动臂422上的检测信号电极710与检测接地电极720之间的电荷，而从设置于第二支撑部52上的检测信号端子714和检测接地端子724作为信号取出。
(3)驱动信号电极、驱动信号配线以及驱动信号端子驱动信号电极730被设置于第一、第二驱动振动臂441、442上。但是,在本实施方式中，驱动信号电极730未被设置于第一第二驱动振动臂441、442的末端部。具体地说，驱动信号电极730被设置于第一第二驱动振动臂441、442的上表面以及下表面。而且，驱动信号电极730也被设置于第三、第四驱动振动臂443、444的侧面和第三、第四驱动振动臂443、444的末端部的上表面以及下表面。设置于第三驱动振动臂443的上表面、下表面以及侧面的驱动信号电极730彼此电连接。此外，设置于第四驱动振动臂444的上表面、下表面以及侧面的驱动信号电极730彼此电连接。这样的驱动信号电极730被配置成关于Xz平面面对称。驱动信号电极730是用于激励第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444的驱动振动的电极。驱动信号配线732被设置于第二、第四梁62、64。具体地说，驱动信号配线732被设置于第二、第四梁62、64的上表面。而且，驱动信号配线732被设置于基部41的上表面、第一连接臂431的上表面、第一、第二连接臂431、432的侧面。这样的驱动信号配线732被配置成关于Xz平面面对称。驱动信号端子734被设置于第二支撑部52。具体地说，驱动信号端子734被设置于第二支撑部52的上表面、下表面以及侧面。设置于第二支撑部52的上表面、下表面以及侧面的驱动信号端子734彼此电连接。设置于第二支撑部52上的驱动信号端子734相对于设有驱动信号电极730的第四检测振动臂444的末端部，被配置在I轴的正方向侧。即、设置于第二支撑部52的驱动信号端子734与设置于第四驱动振动臂444的末端部上的驱动信号电极730在y轴方向上彼此相对。设置于第二支撑部52的驱动 信号端子734经由设置于第四梁64的驱动信号配线732，与设置于第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444的驱动信号电极730电连接。具体地说，驱动信号端子734与设置于第四梁64的上表面的驱动信号配线732连接，驱动信号配线732从第四梁64的上表面经过基部41的上表面以及第一连接臂431的上表面，与设置于第一、第二驱动振动臂441、442的上表面的驱动信号电极730连接。而且，驱动信号配线732从第一连接臂431的上表面经过第一连接臂431的侧面，与设置于第一、第二驱动振动臂441、442的下表面的驱动信号电极730连接。而且，驱动信号配线732从基部41的上表面经过第二连接臂432的上表面以及侧面，与设置于第三、第四驱动振动臂443、444的上表面以及下表面的驱动信号电极730连接。由此，能够把用于使第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444进行驱动振动的驱动信号从驱动信号端子734传递到驱动信号电极730。(4)驱动接地电极、驱动接地配线以及驱动接地端子驱动接地电极740被设置于第一、第二驱动振动臂441、442的末端部。具体地说，驱动接地电极740被设置于第一、第二驱动振动臂441、442的末端部的上表面以及下表面。而且，驱动接地电极740也被设置于第一、第二驱动振动臂441、442的侧面。设置于第一驱动振动臂441的上表面、下表面以及侧面的驱动接地电极740彼此电连接。此外，设置于第二驱动振动臂442的上表面、下表面以及侧面的驱动接地电极740彼此电连接。而且，驱动接地电极740被设置于第三、第四驱动振动臂443、444的上表面以及下表面。但是，在本实施方式中，驱动接地电极740未被设置于第三、第四驱动振动臂443、444的末端部。这样的驱动接地电极740被配置成关于XZ平面面对称。相对于驱动信号电极730，驱动接地电极740具有作为地的电位。此外，驱动接地配线742被设置于第二、第四梁62、64。具体地说，驱动接地配线742被设置于第二、第四梁62、64的下表面以及侧面。而且，驱动接地配线742被设置于基部41的下表面、第一连接臂431的侧面、第二连接臂432的下表面和第二连接臂432的侧面。这样的驱动接地配线742被配置成关于XZ平面面对称。此外，驱动接地端子744被设置于第一支撑部51。具体地说，驱动接地端子744被设置于第一支撑部51的上表面、下表面以及侧面。设置于第一支撑部51的上表面、下表面以及侧面的驱动接地端子744彼此电连接。设置于第一支撑部51的驱动接地端子744相对于设有驱动信号电极730的第三驱动振动臂443的末端部，被配置在I轴的负方向侧。即、设置于第一支撑部51的驱动接地端子744与设置于第三驱动振动臂443的末端部的驱动信号电极730在y轴方向上彼此相对。此外，设置于第一支撑部51的驱动接地端子744经由设置于第二梁62的驱动接地配线742，与设置于第一第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444的驱动接地电极740电连接。具体地说，驱动接地端子744与设置于第二梁62的下表面以及侧面的驱动接地配线742连接，驱动接地配线742从第二梁62的下表面以及侧面经过基部41的下表面以及第一连接臂431的侧面，与设置于第一、第二驱动振动臂441、442的上表面以及下表面的驱动接地电极740连接。而且，驱动接地配线742从基部41的下表面经过第二连接臂432的下表面以及侧面，与设置于第三、第四驱动振动臂443、444的上表面以及下表面的驱动接地电极740连接。如上所述地配置了驱动信号电极730、驱动信号配线732、驱动信号端子734、驱动接地电极740、驱动接地配线742、驱动接地端子744。由此，通过对设置于第二支撑部52的驱动信号端子734与设置于第一支撑部51的驱动接地端子744之间施加驱动信号，能够在设置于第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444的驱动信号电极730与驱动接地电极740之间产生电场，使这各个驱动振动臂441、442、443、444进行驱动振动。另外，在本例中说明了在作为一方的支撑部的第一支撑部51上设有检测信号端子714、检测接地端子724以及驱动接地端子744这三个端子作为固定部的结构，但作为固定部的端子只要是两个以上的个数即可。此外，与前述同样，在第二支撑部52上，作为固定部的端子也只要是两个以上的个数即可。(5)梁与支撑部(固定部)相连的接合部如以上说明的那样，在作为支撑部的第一支撑部51上，沿着X轴方向(与梁的延伸方向交叉的方向)，并列且分离地设置有作为固定部的检测信号端子714、检测接地端子724以及驱动接地端子744。具体地说，如图4所示，在沿着X轴方向延伸的第一支撑部51的中央部(第一支撑部51与第一梁61的接合部51a、和第一支撑部51与第二梁62的接合部51b之间的区域SI)上设有检测接地端子724，在第一支撑部51的一个端部(比接合部51a靠图4中右侧的区域S 2)设有检测信号端子714，在第一支撑部51的另一个端部(比接合部51b靠图4 Ca)中左侧的区域S3)设有驱动接地端子744。
在这样的第一支撑部51的一面(涂布有后述的导电性固定部件8的面)上，在检测信号端子714和检测接地端子724之间设有薄部54a，该薄部54a形成为相对于所述一面具有阶梯。另外，设有薄部54a的区域S4在X轴方向包含接合部51a。此外,薄部54a的靠振动体4 (参照图2、图3)侧的端部51c在第一支撑部51的侧面开放。此外，在第一支撑部51的一面(涂布有后述的导电性固定部件8的面)上，在驱动接地端子744与检测接地端子724之间设有薄部54b，该薄部54b形成为相对于所述一面具有阶梯。另外，设有薄部54b的区域S5在X轴方向包含接合部51b。此外，薄部54b的靠振动体4 (参照图2、图3)侧的端部51c在第一支撑部51的侧面开放。同样地，在第二支撑部52上，沿着X轴方向(与梁的延伸方向交叉的方向)，并列且分离地设置有检测信号端子714、检测接地端子724以及作为固定部的驱动信号端子734。具体地说，如图4所示，在沿着X轴方向延伸的第二支撑部52的中央部(第二支撑部52与第三梁63的接合部52a、和第二支撑部52与第四梁64的接合部52b之间的区域S6)设有检测接地端子724，在第二支撑部52的一个端部(比接合部52a靠图4 Ca)中右侧的区域S7)设有检测信号端子714，在第二支撑部52的另一个端部(比接合部52b靠图4 (a)中左侧的区域S8)设有驱动信号端子734。此外，在第二支撑部52的一面(涂布有后述的导电性固定部件8的面)上，在检测信号端子714与检测接地端子724之间设有薄部53a，该薄部53a相对于所述一面具有阶梯。另外，设有薄部53a的区域S9在X轴方向包含接合部52a。此外,薄部53a的靠振动体4 (参照图2、图3)侧的端部52c在第二支撑部52的侧面开放。此外，在第二支撑部52的一面(涂布有后述的导电性固定部件8的面)上，在检测接地端子724与驱动信号端子734之间设有薄部53b，该薄部53b相对于所述一面具有阶梯。另外，设有薄部53b的区域SlO在X轴方向包含接合部52b。此外，薄部53b的靠振动体4 (参照图2、图3)侧的端部52c在第二支撑部52的侧面开放。
这样的结构的陀螺仪元件2如下地检测绕z轴的角速度ω。陀螺仪元件2在未被施加角速度ω的状态下，当在驱动信号电极730以及驱动接地电极740之间产生电场时，如图5(a)所示,各驱动振动臂441、442、443、444在箭头A所示的方向上进行弯曲振动。此时，由于第一第二驱动振动臂441、442和第三、第四驱动振动臂443、444进行关于经过中心点G (重心G)的yz平面面对称的振动，所以基部41、第一、第二连接臂431、432、第一、第二检测振动臂421、422几乎不振动。在进行该驱动振动的状态下向陀螺仪元件2施加绕z轴的角速度ω时，产生图5(b)所示的振动。S卩、对驱动振动臂441、442、443、444以及连接臂431、432作用箭头B方向的科里奥利力，与该箭头B方向的振动相应地，激励出箭头C方向的检测振动。而且，检测信号电极710以及检测接地电极720检测因该振动产生的检测振动臂421、422的变形，求出角速度ω。(封装)封装9收纳陀螺仪元件2。另外，封装9中，除了陀螺仪元件2以外，还可以收纳进行陀螺仪元件2的驱动等的IC芯片等。这样的封装9在其俯视(xy俯视)中呈现为大致矩形状。封装9具有:在上表面具有开放的凹部的基座91、和以封闭凹部的开口的方式与基座接合的盖(盖体)92。此外，基座91具有板状的底板911、以及设置于底板911的上表面周缘部的框状的侧壁912。这样的封装9在其内侧具有收纳空间S，在该收纳空间S内气密地收纳、设置有陀螺仪元件2。陀螺仪元件2通过第一、第二支撑部51、52，隔着焊锡、银膏、导电性粘结剂(在树脂材料中分散有金属粒子等导电性填料而成的粘结剂)等导电性固定部件8固定在底板911的上表面。由于第一、第二支撑部51、52位于陀螺仪元件2的y轴方向的两端部，所以，通过把这样的部分固定于底板911，从而陀螺仪元件2的振动体4得到双侧支撑，能够将陀螺仪元件2稳定地固定于底板911。因此，能够抑制陀螺仪元件2的不必要振动(希望检测的振动以外的振动)，提高陀螺仪元件2的角速度ω的检测精度。此外，与设置于第一、第二支撑部51、52的两个检测信号端子714、两个检测接地端子724、驱动信号端子734以及驱动接地端子744对应(接触)地、且彼此分离地设有六个导电性固定部件8。此外，在底板911的上表面设有与两个检测信号端子714、两个检测接地端子724、驱动信号端子734以及驱动接地端子744对应的六个连接焊盘10，利用导电性固定部件8，将这各个连接焊盘10和与焊盘10对应的任意一个端子电连接。通过成为这样的结构，可以把导电性固定部件8当作用于将陀螺仪元件2固定到底板911的固定部件来使用，并且可以把导电性固定部件8当作进行与陀螺仪元件2之间的电连接的连接部件来使用，所以能够实现振动器件I的结构的简化。此外，导电性固定部件8也可以用作在陀螺仪元件2和底板911之间形成间隙(gap)，防止它们的接触的间隔件。由此，能够防止因与底板911的接触引起的陀螺仪元件2的破坏、破损，成为能够发挥准确的角速度检测和优异的可靠性的振动器件I。另外，各连接焊盘10可以经由未图示的导体柱引出到封装9的外部，或者，在封装9内收纳有IC芯片等的情况下，各连接焊盘10可以与该IC芯片电连接。基座91的构 成材料没有特别限定，可以使用氧化铝等各种陶瓷。此外，盖92的构成材料没有特别限定，可以是线膨胀系数与基座91的构成材料近似的部件。例如，在基座91的构成材料是前述的陶瓷的情况下，优选的是科瓦合金等合金。另外，基座91与盖92的接合没有特别限定，例如可以利用粘结剂进行接合，也可以利用缝焊等进行接合。在此，如前所述，在陀螺仪元件2的第一支撑部51上设有包含薄部54a、54b的接合部51a、51b，在第二支撑部52上设有包含薄部53a、53b的接合部52a、52b。通过设置这样的接合部51a、51b、52a、52b，能够发挥如下效果。在本实施方式中说明的振动器件I中，所使用的陀螺仪元件2的第一梁61以及第二梁62分别与包含薄部54a、54b的接合部51a、51b连接(接合)，第三梁63以及第四梁64分别与接合部52a、52b连接(接合)。关于薄部54a、54b、53a、53b，由于正反方向上的厚度形成得较薄，所以刚性较弱，由此容易产生变形。通过该变形，能够减少从振动体传播到梁的振动传递到作为固定部的检测信号端子714、检测接地端子724、驱动信号端子734以及驱动接地端子744的、所谓的振动泄漏现象。通过抑制该振动泄漏现象，能够减轻振动泄漏现象可能引发的振动片的振动特性的劣化，尤其是温度漂移。而且,通过设置薄部54a、54b、53a、53b,在前述的效果的基础上,还能够产生如下效果。以下，使用图6进行详细说明。如前所述，陀螺仪元件2隔着导电性固定部件8固定到底板911上。在此，在把陀螺仪元件2固定到底板911的工序中，例如，在设置于底板911的六个连接焊盘上，分别涂布银膏(导电性固定部件)8，以使涂布的银膏8与对应的端子(检测信号端子714、检测接地端子724、驱动信号端子734以及驱动接地端子744)接触的方式，将陀螺仪元件2的下表面面向底板911侧进行放置，并且按压陀螺仪元件2并使银膏8固化，由此借助银膏8将陀螺仪元件2固定到底板911上。因此，例如在未能把银膏8正确地涂布到预定位置的情况下，对于现有的陀螺仪元件(未设有薄部54a、54b、53a、53b)而言，如图6 (b)所示，当按压陀螺仪元件2时，银膏8湿润地扩散，湿润地扩散的银膏8可能彼此接触，从而在它们之间发生短路。银膏8的涂布位置和涂布量在装置的精度上存在一定程度的差异，所以上述问题比较容易发生。因此，在本实施方式的陀螺仪元件2中，通过在第一支撑部51、第二支撑部52中设置薄部54a、54b、53a、53b，防止了这种问题的发生。以下进行具体说明，不过，由于各个薄部54a、54b、53a、53b的作用、效果彼此相同，因而以薄部54a为代表进行说明。如图6 Ca)所示，与检测接地端子724、检测信号端子714对应的银膏8分别由于按压陀螺仪元件2而湿润地扩散。此时，即使与检测接地端子724对应的银膏8的涂布位置偏向检测信号端子714侧，湿润地扩散的银膏8也会由于薄部54a的阶梯的角部的表面张力而停止于阶梯的角部，抑制向中央部的扩散。由此，银膏8很难到达薄部54a的中央部附近。能够防止相邻的银膏8彼此接触。此外，利用薄部54a的靠振动体4侧的阶梯的角部，防止了滞留在薄部54a内的银膏8进一步向振动体4侧流动，由此，防止了设置于第一梁61的配线与银膏8的接触，能够防止配线与银膏8之间发生短路。此外，如前面所述，薄部54a的与振动体相反侧的端部在第一支撑部51的侧面开放。因此，通过薄部54a的阶梯，将检测接地端子724与检测信号端子714之间明确地划分开，能够防止银膏8例如在未设置薄部54a的区域中传播而彼此接触的情形。因此，能够可靠地防止银膏8彼此接触。 此外，陀螺仪元件2 (振动片3)的构成材料与底板911的构成材料不同，所以当振动器件I升温时，经由导电性固定部8，因热膨胀率之差而在振动片3中产生应力。具体地说，在底板911的热膨胀率比振动片3的热膨胀率大的情况下，施加了欲使第一支撑部51以及第二支撑部52在X轴方向上伸长的应力，在底板911的热膨胀率比振动片3的热膨胀率小的情况下，施加了欲使第一支撑部51以及第二支撑部52在X轴方向上收缩的应力。由于设有薄部54a的区域S4能够吸收或缓解这样的应力，所以能够抑制陀螺仪元件2的非本意变形，能够防止陀螺仪元件2的检测精度的降低。此外，优选的是，在xy俯视中，连接焊盘10的轮廓与设置了薄部54a的区域S4的一部分重合。由此，可以把薄部54a用作刻度(标记)，所以能够更加正确地进行陀螺仪元件
2(振动片3)在底板911上的定位。〈变形例〉接着，使用图7以及图8来说明前述实施方式中的梁与支撑部的连接(相连)部分的变形例。图7 (a) (f)以及图8 (a) (f)是表示陀螺仪元件的变形例的局部俯视图。另外，以下虽然是进行具体说明，但各个梁与支撑部的连接部分的作用、效果彼此相同，因而以第一梁61与第一支撑部51 (参照图4)的连接部分为代表进行说明。此外，关于各变形例的效果，在变形例I以及变形例2中进行了代表性的记载，关于变形例3 变形例12，省略与变形例I以及变形例2相同的效果。(变形例I)图7 Ca)所示的变形例I的结构是:将第一梁61与设置于第一支撑部51的检测信号端子714和检测接地端子724之间的薄部54a相连。换言之，是通过薄部54a延伸地设置第一梁61、检测信号端子714和检测接地端子724的结构。此外，薄部54a的靠振动体4 (参照图2、图3)侧的端部在第一支撑部51的侧面开放。在本变形例I的结构中，与前述实施方式同样，薄部54a的刚性弱，所以容易产生变形，能够减少从振动体传播到梁的振动传播到检测信号端子714、检测接地端子724的振动泄漏现象。通过抑制该振动泄漏现象，能够得到与前述实施方式相同的效果。(变形例2)图7 (b)所示 的变形例2的结构是:设置了在正反方向上贯通地去除第一支撑部51而形成的贯通部55a、55b。贯通部55a、55b隔着第一梁61而设于两侧，并且为切口形状:各自的一端在第一支撑部51的靠振动体4 (参照图2、图3)侧的侧面开放，另一端在第一支撑部51上具有侧面。利用该贯通部55a、55b，在第一支撑部51上形成了宽度狭窄部56a、56b。而且，检测信号端子714和第一梁61经由利用贯通部55a形成的宽度狭窄部56a相连，检测接地端子724和第一梁61经由利用贯通部55b形成的宽度狭窄部56b相连。在本变形例2的结构中，检测信号端子714以及检测接地端子724经由宽度狭窄部56a、56b与第一梁61连接。与前述的薄部54a同样，宽度狭窄部56a、56b的刚性弱，所以容易产生变形，能够减少从振动体传播到梁的振动传播到检测信号端子714、检测接地端子724的振动泄漏现象。通过抑制该振动泄漏现象，能够产生与前述实施方式相同的效果。(变形例3)图7 (C)所示的变形例3的结构是:前述变形例2中的设有贯通部55a、55b的部分未被贯通去除，而成为具有阶梯的薄部57a、57b。薄部57a、57b隔着第一梁61而设于两侧,各自的一端在第一支撑部51的靠振动体4 (参照图2、图3)侧的侧面开放，另一端在第一支撑部51上具有阶梯的侧面。利用该薄部57a、57b，在第一支撑部51上形成了宽度狭窄部56a、56b。而且，检测信号端子714与第一梁61经由薄部57a以及宽度狭窄部56a连接，检测接地端子724与第一梁61经由薄部57b以及宽度狭窄部56b连接。(变形例4)图7 (d)所示的变形例4的结构是:设有由阶梯构成的薄部54a,该薄部54a的一端在第一支撑部51和第一梁61相连的第一支撑部51的侧面的相反侧的侧面侧开放，另一端在第一支撑部51上具有侧面。通过设置该薄部54a,在第一支撑部51上形成了宽度狭窄部56a、56b。而且,检测信号端子714和第一梁61经由宽度狭窄部56a以及薄部54a连接，检测接地端子724和第一梁61经由宽度狭窄部56b以及薄部54a连接。(变形例5)图7 Ce)所示的变形例5的结构是:前述变形例4中的设置薄部54a的部分被贯通去除而成为贯通部55。贯通部55为切口形状:一端在第一支撑部51和第一梁61相连的第一支撑部51的侧面的相反侧的侧面侧开放，另一端在第一支撑部51上具有侧面。通过设置该贯通部55，在第一支撑部51上形成了宽度狭窄部56a、56b。而且，检测信号端子714和第一梁61经由宽度狭窄部56a连接，检测接地端子724和第一梁61经由宽度狭窄部56b连接。(变形例6)图7 (f)所示的变形例6的结构是具有贯通部55a、55b和贯通部55，其中，贯通部55a、55b隔着第一梁61而设置于两侧,是在正反方向上贯通去除了第一支撑部51而形成的，贯通部55设置于与设置贯通部55a、55b的一侧相反的一侧。贯通部55a、55b隔着第一梁61而设置,并且为切口形状:各自的一端在第一支撑部51的靠振动体4 (参照图2、图3)侧的侧面开放，另一端在第一支撑部51上具有侧面。贯通部55为切口形状:一端在第一支撑部51和第一梁61相对的一侧的第一支撑部51的侧面的相反侧的侧面侧开放，另一端在第一支撑部51上具有侧面。通过这些贯通部55、55a、55b,在第一支撑部51上形成了宽度狭窄部56a、56b。而且,检测信号端子714和第一梁61经由宽度狭窄部56a连接，检测接地端子724和第一梁61经由宽度狭窄部56b连接。(变形例7)图8 Ca)所示的变形例7的结构是:在第一支撑部51和第一梁61相对的一侧的相反侧的第一支撑部51上形成有突起部58，利用该突起部58，形成了第一梁61和设置于第一梁61的两侧的贯通部55a、55b。
贯通部55a、55b隔着第一梁61而设于两侧,且为切口形状:各自的一端在第一支撑部51的靠振动体4 (参照图2、图 3)侧的侧面开放，另一端在突起部58上具有侧面。换言之，贯通部55a、55b形成为比第一支撑部51的宽度长。通过该贯通部55a、55b，在突起部58上形成了宽度狭窄部56a、56b，而且，形成了从宽度狭窄部56a、56b分别延伸到第一支撑部51的宽度狭窄部56c、56d。而且，检测信号端子714和第一梁61经由宽度狭窄部56a、56d连接，检测接地端子724和第一梁61经由宽度狭窄部56b、56c连接。在本结构中，宽度狭窄部如宽度狭窄部56a、56d或宽度狭窄部56b、56c那样变长，因而更容易变形，所以提高了振动泄漏的减少效果和应力缓解效果。(变形例8)图8 (b)所示的变形例8的结构是:具有第一梁61、设置于第一梁61的两侧的贯通部55a、55b、设置于与设置贯通部55a、55b的一侧相反侧的第一支撑部51上的贯通部55c、55d0贯通部55c、55d隔着从第一梁61延伸出的突部61a而设于两侧。利用贯通部55a、55b以及贯通部55c、55d形成了宽度狭窄部56a、56b。而且，检测信号端子714和第一梁61经由宽度狭窄部56a连接，检测接地端子724和第一梁61经由宽度狭窄部56b连接。(变形例9)图8 (C)所示的变形例9的结构是:在第一支撑部51上形成有作为贯通穴的跑道形状的贯通部55e。贯通部55e被设置成与第一支撑部51和第一梁61的连接部位对置，贯通部55e的一个侧面构成宽度狭窄部56a、56b的一个侧面。宽度狭窄部56a、56b隔着第一梁61而设置于两侧，检测信号端子714和第一梁61经由宽度狭窄部56a连接，检测接地端子724和第一梁61经由宽度狭窄部56b连接。另外，贯通穴(贯通部55e)并不限于跑道形状，也可以是椭圆形状、圆形状、或者并列地设置这些贯通穴的形状等，只要能够设置宽度狭窄部56a、56b，则与其形状无关。(变形例10)图8 (d)所示的变形例10与前述变形例2的结构相同，设置了沿着正反方向贯通去除第一支撑部51而形成的贯通部55a、55b,但是贯通部55a、55b的形状不同。贯通部55a、55b隔着第一梁61而设置于两侧，并且为切口形状:各自的一端在第一支撑部51的靠振动体4 (参照图2、图3)侧的侧面开放，另一端在第一支撑部51上具有侧面。此时，贯通部55a、55b为如下形状:另一端侧的侧面的长度比开放的一端的长度短，即、朝向在第一支撑部51的侧面开放的一端(开放端)逐渐变宽。换言之，构成贯通部55a、55b的一边S不与对置的第一梁61的侧面平行，而是朝着开放端，逐渐远离。利用该贯通部55a、55b,在第一支撑部51上形成宽度狭窄部56a、56b。而且,检测信号端子714和第一梁61经由利用贯通部55a形成的宽度狭窄部56a连接，检测接地端子724和第一梁61经由利用贯通部55b形成的宽度狭窄部56b连接。(变形例11)图8 Ce)所示的变形例11是与前述变形例6同样地具有贯通部55a、55b和贯通部55的结构，其中，贯通部55a、55b隔着第一梁61设置于两侧，是在正反方向上贯通去除第一支撑部51而形成的，贯通部55设置于与设置贯通部55a、55b的一侧相反的一侧。在本变形例中，宽度狭窄部56a、56b不是直线状而是弯曲的，这一点与前述变形例6不同。贯通部55a、55b隔着 第一梁61设置,并且为切口形状:各自的一端在第一支撑部51的靠振动体4 (参照图2、图3)侧的侧面开放，另一端在第一支撑部51上具有侧面。贯通部55为切口形状:一端在第一支撑部51和第一梁61相对的一侧的第一支撑部51的侧面的相反侧的侧面侧开放，另一端在第一支撑部51上具有侧面。利用这些贯通部55、55a、55b，在第一支部51上形成了弯曲地延伸的宽度狭窄部56a以及宽度狭窄部56d、和宽度狭窄部56b以及宽度狭窄部56c。而且，检测信号端子714和第一梁61经由宽度狭窄部56a以及宽度狭窄部56d连接，检测接地端子724和第一梁61经由宽度狭窄部56b以及宽度狭窄部56c连接。(变形例12)图8 (f)所示的变形例12的结构是:在第一支撑部51与第一梁61相连的一侧的第一支撑部51上形成有突起部61w，形成了包含该突起部61w而延伸的薄部54a。第一梁61在从第一支撑部51延伸出的突起部61w的一端与第一支撑部51连接。从而，第一梁61的厚度比薄部54a的厚度厚。(其他变形例)另外，在以上说明中，说明了第一梁61、第二梁62、第三梁63以及第四梁64这各个梁与第一支撑部51或第二支撑部52连接的结构，但并不限于此，也可以是如下结构。图9中示出本变形例而进行说明。图9是表示本变形例的局部俯视图。本变形例的结构是:第一梁61和第二梁62在到达第一支撑部51的过程中彼此连接，形成第一连接梁61a。该第一连接梁61a与第一支撑部51的接合部51a连接。另外，虽然未图示，但相对的第二支撑部侧的第三梁和第四梁侧也可以是同样的结构。详细地说，在第三梁和第四梁到达第二支撑部的过程中彼此连接，形成第二连接梁。该第二连接梁与第二支撑部连接。根据该结构，通过设置第一连接梁61a或第二连接梁，梁更容易挠曲(容易变形)，所以能够进一步提高应力的缓解作用以及振动泄漏的防止效果。在以上说明中，作为振动片的一例说明了陀螺仪元件2，但并不限于此，也可以应用到以下这样的振动片。作为其他振动片，可以应用于加速度测定元件、压力检测元件、温度检测元件等物理量测定用元件。<物理量检测装置>以上这样的振动器件I可以应用到角速度检测装置、加速度检测装置、压力计测
装置等物理量检测装置。接着，参照附图来说明本实施方式的物理量检测装置。图10是表示物理量检测装置的结构的概略图。图10中所示的物理量检测装置1400包含本发明的振动片。在本实施方式中，作为本发明的振动片，对使用了振动片3的例子进行说明。以下，在本实施方式的物理量检测装置1400中，对于具有与本实施方式的振动片3的构成部件相同功能的部件标注了相同的符号，省略其详细的说明。如图10所示，物理量检测装置1400包含振动片3、驱动电路1410、和检测电路1420。驱动电路1410以及检测电路1420可以组装到图10中未图示的IC芯片中。驱动电路1410作为本发明的驱动电路发挥作用，可以具有I/V变换电路(电流电压变换电路)1411、AC放大电路1412、振幅调整电路1413。驱动电路1410是向形成于振动片3的驱动信号电极730提供驱动信号的电路。以下，对驱动电路1410进行详细说明。当振动片3振动时，基于压电效应的交流电流从形成于振动片3的驱动信号电极730输出，经由驱动信号端子734输入到I/V变换电路1411。I/V变换电路1411将所输入的交流电流变换为与振动片3的振动频率相同频率的交流电压信号而输出。从I/V变换电路1411输出的交流电压信号输入到AC放大电路1412。AC放大电路1412对所输入的交流电压信号进行放大之后输出。从AC放大电路1412输出的交流电压信号输入到振幅调整电路1413。振幅调整电路1413进行增益控制，使得所输入的交流电压信号的振幅保持恒定值，并把进行增益控制后的交流电压信号经由形成于振动片3的驱动信号端子734输出至驱动信号电极730。该输入到驱动信号电极730的交流电压信号(驱动信号)使得振动片3振动。检测电路1420作为本发明的检测电路发挥作用，可以具有充电电路1421、1422、差动放大电路1423、AC放大电路1424、同步检波电路1425、平滑电路1426、可变放大电路1427、滤波电路1428。检测电路1420对振动片3的第一检测振动臂421上形成的检测信号电极710所产生的第一检测信号、和第二检测振动臂422上形成的检测信号电极710所产生的第二检测信号进行差动放大而生成差动放大信号，根据该差动放大信号检测预定的物理量。以下，对检测电路1420进行详细说明。在充电电路1421、1422中，经由检测信号端子734输入振动片3的检测振动臂421,422上形成的检测信号电极710所检测出的相位彼此相反的检测信号(交流电流)。例如，充电电路1421被输 入第一检测振动臂421上形成的检测信号电极710所检测出的第一检测信号，充电电路1422被输入第二检测振动臂422上形成的检测信号电极710所检测出的第二检测信号。而且，充电电路1421、1422将所输入的检测信号(交流电流)变换为以基准电压Vref为中心的交流电压信号。差动放大电路1423对充电电路1421的输出信号、充电电路1422的输出信号进行差动放大，生成差动放大信号。差动放大电路1423的输出信号(差动放大信号)进一步由AC放大电路1424进行放大。同步检波电路1425作为本发明的检波电路发挥作用，基于驱动电路1410的AC放大电路1412输出的交流电压信号，对AC放大电路1424的输出信号进行同步检波，提取角速度成分。由同步检波电路1425提取的角速度成分的信号在平滑电路1426中被平滑化为直流电压信号，并输入到可变放大电路1427。可变放大电路1427以设定的放大率(或衰减率)对平滑电路1426的输出信号(直流电压信号)进行放大(或衰减)，改变角速度灵敏度。由可变放大电路1427放大(或衰减)后的信号被输入至滤波电路1428。滤波电路1428从可变放大电路1427的输出信号中去除高频噪声成分，(准确地说，是使其衰减到预定水平以下)，生成与角速度的方向以及大小对应的极性及电平的检测信号。然后，从外部输出端子(未图示)向外部输出该检测信号。根据物理量检测装置1400，如上所述，检测电路1420能够对第一检测振动臂421上形成的检测信号电极710所产生的第一检测信号和第二检测振动臂422上形成的检测信号电极710所产生的第二检测信号进行差动放大而生成差动放大信号，根据该差动放大信号检测预定的物理量。此外，振动片3在从外部受到Y轴方向的冲击的情况下，在Y轴的正方向侧和Y轴的负方向侧，能 够使得检测信号和驱动信号的静电耦合的变化量(大致)保持均等。即、能够使得第一检测信号和驱动信号的静电耦合的变化量与第二检测信号和驱动信号的静电耦合的变化量均等，所以能够消除Y轴方向的冲击的影响。从而，可以提供即使从外部受到了特别是Y轴方向的冲击，也能够稳定地检测出检测信号的物理量检测装置1400。〈电子设备〉此外，如上所述的振动器件I可组装到各种电子设备中。组装有振动器件I的本发明的电子设备没有特别限定，可以列举出:个人计算机(例如，移动型个人计算机)、便携电话等移动终端、数字静态照相机、喷墨式排出装置(例如，喷墨式打印机)、膝上型个人计算机、写字板型个人计算机、电视、摄像机、录像机、车载导航装置、传呼机、电子记事本(包含通信功能的电子记事本)、电子词典、计算器、电子游戏设备、游戏用控制器、文字处理器、工作站、可视电话、防范用电视监视器、电子双筒望远镜、POS终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖计、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测定设备、计量仪器类(例如、车辆、飞机、传播的计量仪器类)、飞行模拟器、头戴显示器、运动跟随、运动追踪、运动控制器、PDR (步行者位置方位计测)等。以上，根据图示的实施方式以及变形例对本发明的振子以及振动器件进行了说明，但本发明不限于此，各部分的结构可以置换为具有同样功能的任意结构。此外，也可以附加其他任意的构成物或步骤。此外，本发明的振动器件可以组合前述实施方式以及变形例中的任意两个 以上的结构(特征)。
权利要求
1.一种振动片，其特征在于，该振动片具有: 振动体； 支撑部，其与从所述振动体延伸出的梁连接，支撑所述振动体；以及至少两个固定部，它们设置于所述支撑部，沿着与所述梁的延伸方向交叉的方向分离且并列地设置， 所述梁与所述支撑部在所述两个固定部之间相连， 在所述两个固定部之间设有薄部或者贯通部，所述薄部形成为，该薄部在所述支撑部的正反方向上的厚度比所述支撑部的设置所述固定部的部分薄，所述贯通部是在正反方向上贯通地去除所述支撑部而形成的。
2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述支撑部具有从所述梁分别延伸到所述两个固定部的宽度狭窄部，所述支撑部的所述宽度狭窄部处的宽度比所述支撑部的设置所述固定部的部分的宽度窄。
3.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于， 所述薄部或所述贯通部的靠所述振动体侧的端部在所述支撑部的侧面开放。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的振动片，其特征在于， 所述振动体具有:基部；从基部起朝向两侧沿着第一方向延伸的第一检测振动臂以及第二检测振动臂；从所述基部起朝向两侧沿着与所述第一方向垂直的第二方向延伸的第一连接臂和第二连接臂；从所述第一连接臂起朝向两侧沿着所述第一方向延伸的第一驱动振动臂和第二驱动振动臂；从所述第二连接臂朝向两侧沿着所述第一方向延伸的第三驱动振动臂和第四驱动振动 臂，由所述第一检测振动臂以及所述第二检测振动臂构成检测振动系统，由所述第一驱动振动臂、所述第二驱动振动臂、所述第三驱动振动臂以及所述第四驱动振动臂构成驱动振动系统， 所述支撑部具有隔着所述振动体沿着所述第一方向相对配置，并且在所述第二方向上延伸的第一支撑部以及第二支撑部， 所述梁具有:经过所述第一检测振动臂和所述第一驱动振动臂之间，连接所述第一支撑部和所述基部的第一梁；经过所述第一检测振动臂和所述第三驱动振动臂之间，连接所述第一支撑部和所述基部的第二梁；经过所述第二检测振动臂和所述第二驱动振动臂之间，连接所述第二支撑部和所述基部的第三梁；以及经过所述第二检测振动臂和所述第四驱动振动臂之间，连接所述第二支撑部和所述基部的第四梁。
5.根据权利要求4所述的振动片，其特征在于， 该振动片具有:连接所述第一梁和所述第二梁的第一连接梁、以及连接所述第三梁和所述第四梁的第二连接梁， 利用所述第一连接梁以及所述第二连接梁将所述振动体分别连接到相对配置的所述第一支撑部以及所述第二支撑部。
6.一种振动器件，其特征在于，该振动器件具备: 具有至少两个连接焊盘的基板；以及 权利要求1至5中任意一项中所述的振动片， 通过导电性固定部件将所述连接焊盘和所述固定部接合。
7.根据权利要求6所述的振动器件，其特征在于，在所述基板的俯视中，所述连接焊盘的轮廓的一部分与设置所述薄部或所述贯通部的区域的一部分重合。
8.一种物理量检测装置，其特征在于，该物理量检测装置具有: 权利要求4或权利要求5所述的振动片； 驱动所述振动片的驱动电路；以及 根据来自所述振动片的检测信号检测预定物理量的检测电路。
9.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1至5中任意一项所述的振动片。
全文摘要
本发明提供振动片、振动器件、物理量检测装置以及电子设备，防止因振动泄漏现象产生的对驱动振动臂或检测振动臂的振动的影响，提高振动特性。振动片具有与从振动体(4)延伸的第一梁(61)连接，支撑振动体(4)的第一支撑部(51)；设置于第一支撑部(51)，沿着与第一梁(61)的延伸方向交叉的方向分离且并列地设置的检测信号端子(714)及检测接地端子(724)，第一梁(61)和第一支撑部(51)在检测信号端子(714)和检测接地端子(724)之间连接，在检测信号端子(714)和检测接地端子(724)之间设有薄部(54a)或贯通部，薄部形成为在第一支撑部的正反方向上的厚度薄，贯通部是在正反方向上贯通去除第一支撑部而形成的。
文档编号G01C19/5607GK103226016SQ201310027250
公开日2013年7月31日 申请日期2013年1月24日 优先权日2012年1月30日
发明者大泽征司, 菊岛正幸, 菊池尊行, 山口启一, 矶野裕一 申请人:精工爱普生株式会社