技术编号：6213644
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。使用光谱干涉测量进行样品光学检查的方法和装置，其中由辐射源(1)发射的光束(2”)被引导到样品(5)上，而参考光束(2’)被引导到参考样品(4)上，这两个光束在所述样品处反射之后或经过所述样品之后的光谱干涉通过光谱仪(6)记录；关于角频率ω对如此获得的干涉图I(ω)进行数值求导。对于如此获得的函数I'(ω)，将零点ωi数值计算为等式I'(ω)＝0的解，然后根据等式τ(ωn)＝π/(ωi+1-ωi)从零点ωi计算依赖于频率的群延迟τ(ω)，其中i＝1,2…,...
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