技术编号：6219836
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种，其中测试装置包括测试机，所述测试机用于对待测晶圆的待测管芯进行测试；探针卡，所述探针卡包括探针、以及与探针相邻排列的擦除区，所述探针用于将待测晶圆的待测管芯与测试机电连接，所述擦除区包括位于探针一侧的第一擦除区、以及位于探针另一侧的第二擦除区。采用本发明提供的测试装置进行一次可编程器件的晶圆测试，探针卡包括相邻排列的第一擦除区、探针、以及第二擦除区，在对待测晶圆的待测管芯测试之前或之后，位于探针卡内的第一擦除区和第二擦除区可对待测管芯进行测试前紫外擦...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。