多孔氧化铝膜湿敏传感器的制备方法技术资料下载

技术编号:6231467

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本发明涉及的是一种传感器的制备方法,具体是一种基于高场阳极 氧化的。 背景技术氧化铝有序纳米孔阵列膜由于其独特的有序结构以及简单廉价的制作方法, 使其在诸多领域有着独特和广泛的应用前景。自从Ansbacher和Jason于1953年发现水蒸汽对多孔氧化铝膜的电学特性的影响以来,它已被视为一种在湿度 传感方面有很大运用前景的材料。相对于别的湿敏元件来说,多孔氧化铝传感器 的制备简单快捷,成本低廉且耐热和有高的物理性能稳定性,所以其研究已经引 起了科学家和商业...
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