技术编号：6241221
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种制备纳米通道断面形貌样品的置换表征法，属于纳米结构表征领域。将未经氧等离子体处理的纳米沟道基板和盖板进行热压键合；将热压键合后的纳米沟道基板和盖板分离、冷冻并掰断，得到纳米沟道断面形貌完好的样品；对基板上纳米沟道和盖板形貌分别进行观测表征，得到纳米沟道的宽度、深度和盖板上纳米凸起的高度；根据得到的纳米沟道的宽度、深度和盖板上纳米凸起的高度；纳米沟道实际宽度等于纳米沟道的宽度，纳米沟道实际深度等于纳米沟道深度与盖板上纳米凸起高度的差值。本发明...
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