技术编号：6262145
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于在基底内制造部件的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性；b)化学蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造所述部件。专利说明 [0001] 本发明涉及一种部件，该部件包括从该部件的至少其中一个表面延伸到该部件中 的至少一个凹陷部。 背景技术 [0002] 从现有技术中已知的是，一些由单晶或多晶材料制成的微技术零件是通过蚀刻制 成的。此工艺包括获取待蚀刻的基底，以及将一...
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