用于制造部件的方法

用于制造部件的方法
【专利摘要】本发明涉及一种用于在基底内制造部件的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性；b)化学蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造所述部件。
【专利说明】用于制造部件的方法

【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种部件，该部件包括从该部件的至少其中一个表面延伸到该部件中 的至少一个凹陷部。

【背景技术】
[0002] 从现有技术中已知的是，一些由单晶或多晶材料制成的微技术零件是通过蚀刻制 成的。此工艺包括：获取待蚀刻的基底，以及将一层光敏树脂沉积在顶部。在树脂上放置掩 膜，并且将整个组件暴露在光线下，以使暴露在光线下的光敏树脂结构改变/改性。通过化 学元素的作用除去改变的树脂，使得基底在除去树脂处裸露。
[0003] 接下来，对基底的这些裸露的区域进行化学蚀刻，以便形成中空部。化学试剂选择 为仅蚀刻形成基底的材料，而不会蚀刻没有改变的光敏树脂。此化学蚀刻步骤的持续时间 决定了中空部的尺寸。
[0004] 同样地，可以设想通过机加工和/或抛光来制造微技术零件，因此钻头或抛光机 可用于形成所述零件。
[0005] 这种化学蚀刻工艺的第一个缺陷在于，它不能生成具有垂直壁或侧面的中空部。 事实上，所获得的中空部具有倾斜的或者倒圆的侧面。这意味着，中空部的表面随深度而变 化，即，表面随着中空部的深度而变得更大或更小。通常，表面随深度变得更小。这一观察 结果意味着必须修改理论计算以获得具有垂直侧面的中空部。此外，中空部的轮廓在理论 和实践之间的这种变化导致了特性的改变。
[0006] 这些化学蚀刻或机加工工艺的第二个缺陷在于，它们不能形成具有复杂深度的结 构。事实上，化学蚀刻只能在表面形成中空部，因为侧面的倾斜意味着蚀刻不可能更深入。 对于机加工，使用抛光机和钻头也不能形成复杂的内部结构。例如，可以制造由单块红宝石 (即，由开有盲孔的单块宝石形成）制成的钟表轴承，但是该轴承不能被润滑，除非提供储 存润滑剂所必需的结构。


【发明内容】

[0007] 本发明的一个目的在于，通过提出一种制造部件的制造方法来克服上述缺陷，其 中，所述部件包含具有直的侧面和内部结构并且不仅位于表面处的中空部。
[0008] 因此，本发明涉及一种在基底中制造部件的方法，其特征在于，该方法包括下述步 骤：
[0009] a)改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具有选择性；
[0010] b)蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造该部件。
[0011] 本发明的一个优点在于，由于所使用的材料选择为可透过激光，因此可以形成位 于表面下方的凹陷部。这使得激光能够瞄准部件表面之上或下方的任一点。因此，使该材 料具有选择性，以便随后的化学蚀刻仅在通过激光产生改变的材料上进行。因此，获得了一 种允许形成复杂的内部凹陷部的方法。
[0012] 本发明的方法的有利实施例形成了从属权利要求的主题。
[0013] 在第一有利实施例中，该方法还包括下述步骤：
[0014] c)从该基底释放部件。
[0015] 在第二有利实施例中，基底由可透过激光波长的材料制成。
[0016] 在第三有利实施例中,激光脉宽的范围是从飞秒到皮秒。
[0017] 在第四有利实施例中，基底由单晶材料制成。
[0018] 在第五有利实施例中，基底由多晶材料制成。
[0019] 在另一有利实施例中，基底由聚合物制成。
[0020] 在另一有利实施例中，基底由诸如陶瓷或玻璃的无定形材料制成。
[0021] 在另一有利实施例中，所述部件为钟表部件。
[0022] 在另一有利实施例中，所述部件为钟表轴承。
[0023] 在另一有利实施例中，基底包括在改变结构的步骤之前形成的盲孔。
[0024] 在另一有利实施例中，该轴承还包括至少一个凹陷部。
[0025] 在另一有利实施例中，所述至少一个凹陷部为盲孔。
[0026] 在另一有利实施例中，所述至少一个凹陷部用作储存润滑剂的储存器，所述至少 一个凹陷部至少从所述孔的表面延伸。
[0027] 在另一有利实施例中，所述至少一个凹陷部还包括连接所述至少一个储存器和所 述孔的至少一个通道202。
[0028] 在另一有利实施例中，所述至少一个凹陷部用于形成弹性结构206。
[0029] 在另一有利实施例中，该弹性结构包括设置成使得心轴的枢轴柄能够插入其中的 中心部，以及至少一个从该中心部延伸的弹性臂。
[0030] 在另一有利实施例中，所述部件为包括以变形方式使用的体部的谐振器。
[0031] 在另一有利实施例中，谐振器包括基部，至少两个平行的臂从该基部延伸，其中每 个臂均具有上表面和下表面。
[0032] 在另一有利实施例中，所述体部为在自身上卷绕以形成游丝的条状件（bar)。
[0033] 在另一有利实施例中，谐振器还包括在该体部的其中一个表面上形成的至少一个 凹陷部。
[0034] 在另一有利实施例中，所述部件为擒纵叉瓦。
[0035] 本发明还涉及一种设置成与心轴配合的钟表部件，该部件包括其中插入该心轴的 枢轴柄的孔，其特征在于，所述部件包括从该孔的至少其中一个表面延伸到所述部件中的 至少一个凹陷部。
[0036] 在第一有利实施例中，所述至少一个凹陷部包括用于容纳液体的至少一个储存 器。
[0037] 在第二有利实施例中，所述至少一个凹陷部还包括连接所述至少一个储存器和所 述孔的至少一个通道。
[0038] 在另一有利实施例中，所述至少一个凹陷部延伸以形成弹性结构。
[0039] 在另一有利实施例中，所述凹陷部设置成使得该部件包括具有环形边缘、中心部 和弹性臂的圆柱形部分，该弹性臂连接中心部和环形边缘，该中心部包括所述孔。
[0040] 在另一有利实施例中，所述部件包括至少两个凹陷部，至少一个凹陷部包括用于 容纳液体的至少一个储存器，并且至少一个凹陷部延伸以形成弹性结构。
[0041] 本发明还涉及一种用于与钟表机芯的擒纵轮的齿配合的擒纵叉瓦，该擒纵叉瓦包 括脱离平面、锁定平面和推动平面，以及连接该脱离平面和锁定平面的至少一个主通道，其 特征在于，该擒纵叉瓦还包括与主通道连通的储存器，以使得所有必需的润滑剂都能够储 存在该至少一个主通道和储存器中。
[0042] 在一个有利的实施例中，该擒纵叉瓦还包括连接该至少一个主通道和推动平面的 至少一个辅助通道。

【专利附图】

【附图说明】
[0043] 在下文对仅以非限制性示例给出且在附图中示出的本发明的实施例的详细说明 中，根据本发明的部件的目的、优点和特征将变得更加清楚，其中：
[0044] -图1和2示意性示出了现有技术中的枢轴系统。
[0045] -图3示出了根据本发明的枢轴系统的示意图。
[0046] -图4-5示出了根据本发明的枢轴系统的第一实施例的示意图。
[0047] -图6和7示出了根据本发明的枢轴系统的第二实施例的第一实施方式的示意图。
[0048] -图8示出了根据本发明的枢轴系统的第二实施例的第二实施方式的示意图。
[0049] -图9和10示出了根据本发明的枢轴系统的第一变型的示意图。
[0050] -图11A-11D为根据本发明的方法的步骤的示意图。
[0051] -图12示出了根据现有技术的谐振器的示意性正视图。
[0052] -图13示出了使用根据本发明的方法的谐振器的示意性正视图。
[0053] -图14示出了使用根据本发明的方法的谐振器的一个变型的示意性俯视图。
[0054] -图15示出了使用根据本发明的方法的谐振器的一个变型的示意性正视图。
[0055] -图16示出了使用根据本发明的方法的谐振器的另一变型的示意性俯视图。
[0056] -图17为已知的擒纵叉瓦的示意图。
[0057] -图18为根据本发明的擒纵叉瓦的示意图。
[0058] -图19为根据本发明的擒纵叉瓦的一个变型的示意图。
[0059] -图20为根据本发明的螺旋谐振器的示意图。

【具体实施方式】
[0060] 图3示出了根据本发明的钟表部件的示意图。
[0061] 在第一实施例中，部件101为钟表部件。在当前情况下，部件101为钟表轴承，即， 用作钟表的心轴的枢轴的元件。轴承101为枢轴系统100的一部分，该枢轴系统100包括 其底部具有孔108的支承件102,该孔用于终止于枢轴柄（pivot-shank)的摆轴通过。支 承件102包括用于容纳轴承101的壳腔103。轴承101通过附连装置105固定在壳腔106 内。该附连装置105可以是弹性的，或者不是弹性的。
[0062] 根据图4实施例的轴承101为单件式部件，其采用圆柱形或者盘形部件1010的 形式，该部件包括上表面1011和下表面1012以及圆形壁1013。该轴承还包括位于下表面 1012上的至少一个凹陷部200。该凹陷部例如可以是其中插入心轴的枢轴柄的孔107。当 然，轴承101可以为任何形状，例如平行六面体或三角形状，或者任何其他可能的形状。同 样地，可以设想将部件101直接结合到钟表桥夹板中。则该桥夹板用作在其中形成轴承101 的基底。
[0063] 本发明提出了提供一种制造部件101及其凹陷部200的制造方法。在当前情况下， 重点将放在凹陷部200的形成上。
[0064] 在图11A示出的第一步骤中，提供基底，其在这里是部件101，即轴承，其中没有形 成凹陷部200。因此，应该理解的是，轴承101被预先形成。轴承101根据其组成材料由最 适合的方法（例如，机加工或抛光）制成，该组成材料在这里称为"第一材料"。
[0065] 第二步骤包括采用激光（L)，该激光在这里具有飞秒脉宽，S卩，一秒的ΚΓ15(通常 为lOOfs)。该脉宽的范围从飞秒到皮秒（一秒的ΚΓ12)。然后将该激光（L)用于改变轴承 101的结构，如图11B所示。为此，将第一材料选择为可透过激光。这意味着激光（L)的焦 点（P)能够瞄准位于轴承101的表面之上或下方的点（P)。对于在这里具有飞秒脉宽的激 光（L)，第一材料可以是单晶材料（例如石英、蓝宝石或合成红宝石），或者多晶材料（例如 多晶红宝石），或者像玻璃一样的无定形材料（例如硅石或陶瓷）。还可以设想制造聚合物 部件。然后将焦点（P)移向轴承101，使其根据待形成的确定结构而位于轴承表面之上或下 方的区域。该步骤均以预定的或希望的顺序进行，以便通过多光子吸收使材料的结构产生 局部改变。事实上，通过多光子吸收改变材料的结构需要非常高的能量密度。目前只有利 用脉宽非常小（即，大约飞秒或者皮秒）的激光才能获得这种高能量密度。这些激光事实 上能够在焦点处提供这种能量密度，即，在焦点处能量密度最高。由此获得如图11C所示的 轴承101。
[0066] 第三步骤包括取用化学试剂。该化学试剂选择为允许其结构已被改变的区域Z1 比其结构未改变的区域Z2溶解得更快。这意味着，其结构已被激光（L)的焦点（P)改变的 区域Z1的蚀刻速度高于其结构未被激光（L)改变的区域Z2的蚀刻速度。事实上，由飞秒 激光（L)的焦点（P)实现的结构的局部改变意味着，可以选择对被改变的区域Z1比对未改 变的区域Z2反应更活跃的化学试剂。随后，将该轴承101浸入化学试剂形成的浴池中一段 确定的时间，以便溶解其结构已被激光（L)的焦点（P)改变的区域Z1的所有部分。当然， 部件的尺寸的计算应考虑化学试剂在未改变区域上的蚀刻并且因此不会过度溶解其结构 未被改变的区域。由此获得如图11D所示的轴承101。
[0067] 此外，应该注意的是，为了使其结构已被改变的区域Z1产生溶解，区域Z1必须是 化学试剂可以到达的。因此，应该理解的是，至少一个表面或者邻近该表面的至少一个区域 Z1被改变。事实上，此方法能够形成内部结构，但是此方法要求化学试剂能到达其结构被改 变的区域Z1。如果其结构被改变的区域Z1位于表面处，该化学试剂能够立即溶解改变的 区域Z1。然而，可以设想具有其结构已被改变且不位于表面上而正好位于表面下方的区域 Z1。则化学试剂溶解将该化学试剂与改变的区域Z1隔离的少量未改变区域Z2,然后溶解改 变的区域。当然，这意味着轴承101的每个凹陷部200都必须通向表面或者靠近表面。然 而，可以设想各个凹陷部通过共用的表面彼此连接，以便溶解被传递到各个凹陷部200。一 旦全部的改变区域Z1都已被溶解，则从浴池中取出该轴承101。
[0068] 第四步骤包括清洁该轴承101，以便去除化学试剂的所有残留物，从而永久性地终 止化学反应。
[0069] 本发明的一个优点在于，它同样适用于批量生产和大规模生产。事实上，化学蚀刻 步骤适合于一次批量生产若干基底，以及大规模生产，即，一次生产大量的基底。
[0070] 因此，该方法的优点在于，它可以在轴承101的结构中即刻形成小尺寸的凹陷部 200,这是传统的机加工不能实现的。事实上，钟表轴承101具有大约为毫米的非常小的尺 寸，而且它太复杂以至于不能在结构中机械地加工凹陷部200。然而，利用本发明的方法，容 易使轴承101的内部变成中空。
[0071] 当然，应该理解的是，在当前情况下，可以用已知方法对不具有孔1〇7(其中插入 心轴的枢轴柄）的轴承101预先进行机加工，并且使用本发明的方法来形成孔107和其他 凹陷部200。然而，可以设想利用所公开的方法在预先形成有孔107的轴承101中形成凹陷 部200。该方法可用于从基底开始即刻制成整个轴承101。该轴承利用本发明的方法由基 底制成。
[0072] 还应该理解的是，其中形成有部件101的基底可以是钟表桥夹板，轴承被即刻集 成在该桥夹板中以使得桥夹板-轴承组件为单个部件。
[0073] 在图4和5示出的第一变型中，其中插入心轴的枢轴柄的孔107被预先机加工，并 且通过本发明的方法制成的一个或多个凹陷部200用于微流体应用。这意味着凹陷部200 用于容纳或允许液体流动。
[0074] 因此，应该理解的是，对于轴承的示例，该凹陷部200可以用于储存润滑剂，该润 滑剂用于润滑经由其枢轴柄插入轴承101中的孔107中的心轴。事实上，润滑可以减少摩 擦，并因而降低损耗，从而提高钟表的运行精度，或者增加钟表的能量储备，或者两者都能 实现。如上文所说明的，不可能在单个宝石形成的轴承101中储存润滑剂。因此，利用本发 明的方法，可以通过形成至少一个凹陷部200将润滑剂储存在用作轴承101的宝石内部。
[0075] 该凹陷部200从孔107的表面朝轴承101的内部延伸。这使得储存在该凹陷部 200内的润滑剂能够到达孔107,并且因此使得枢轴柄能够在心轴旋转时被润滑。因此，该 凹陷部200设置成储存润滑剂，该润滑剂将能够朝心轴的枢轴柄流动。
[0076] 有利地，凹陷部200包括至少一个空腔204,并且可以具有至少一个通道202。事 实上，在受限的空间内，该凹陷部将布置成更靠近孔107的表面，以获得更紧凑的轴承101。 相反地，如果空间不受限，可以设想具有至少一个通道以连接孔107和空腔204。在这种情 况下，要计算通道202和空腔204的尺寸，以使得空腔204能够储存适当润滑轴承101所必 需数量的润滑剂，并且使得通道202能够均匀和足量地输送润滑剂。如果具有一个通道202 和一个空腔204的单个凹陷部200是不够的，可以设置若干凹陷部200,其中每个凹陷部都 包括一个空腔204和一个用于连接空腔204和孔107的通道202。还可以设想凹陷部200 由若干空腔204形成，其中每个空腔都与一通道202相关联，并且各个通道202在接合点处 接合，以使得润滑剂通过单个出口被输送到枢轴柄。通道202还可以具有斜面，以便将润滑 剂从空腔204自然地运送到孔107。该凹陷部还可以包括通向轴承101的另一表面的出口 通道203,以便于将润滑剂放置在该空腔204中，如图5所示。这种构型还便于通过化学试 剂进行蚀刻以及清洁轴承101。
[0077] 在如图6, 7和8所示的第二变型中，所获得的凹陷部200用于形成可以为弹性的 结构206。
[0078] 根据图6和7所示的这种第二变型的第一实施方式，圆柱形或盘形部件1010包括 中心部214,该中心部214通过至少一个弹性臂216连接到轴承101的周缘部或环形边缘 212。优选地，周缘部212和中心部214具有相同的高度。中心部214是圆柱形的，并且包 括其中插入心轴的枢轴柄的孔107。所述至少一个弹性臂216可以是带状部，其柔性随着其 尺寸和厚度的变化而改变。优选地，所述至少一个臂216采用弯曲臂的形式，其厚度等于圆 柱形中心部214的高度，如图7所示。优选地，结构206包括三个弯曲臂216,这三个臂分别 与边缘212和中心部214的附连点在角度方向上以120度偏移。
[0079] 在图8所示的这种第二变型的第二实施方式中，一个或多个凹陷部200形成了弹 性结构206。该结构206包括基本呈圆柱形的凹陷部200,该凹陷部200可以是或不是贯穿 的凹陷部，并且包括延伸出至少两个带状部224的壁222。这些带状部224优选地在直径 方向上相对并且朝凹陷部207的轴向中心延伸。这些带状部224将凹陷部200分成两个部 分107, 226。第一部分107通向轴承的外部并且是用于接纳心轴的枢轴柄的孔107。凹陷 部200的第二部分226用于带状部224的间隙。由于制造的原因，所述至少两个带状部224 是柔性的。由于带状部224是长而薄的，因此这种柔性是允许的，以使得心轴的枢轴柄在心 轴移动时与带状部224接触。则带状部224在心轴的枢轴柄施加的应力作用下变形，以用 作减震器。整个凹陷部200是同时形成的，S卩，引导激光束（L)以使得焦点（P)扫过限定所 述凹陷部的区域，以便改变该区域的结构。然后由化学试剂来溶解限定所述凹陷部的区域。 优选地，第二部分207包括四个柔性带状部224。这些带状部可以位于不同的水平平面内。
[0080] 图9和10所示的第三变型结合了前述两个变型，以使得轴承不仅包括至少一个形 成弹性结构206的凹陷部200,而且包括至少一个形成用于储存润滑剂的空腔204的凹陷 部200。事实上，轴承101能够设置成包括由中心部214形成的结构，该中心部214通过至 少一个弹性臂216连接到轴承的周缘部212,以便吸收震动，同时该轴承还包括用作润滑剂 储存器的空腔204,以改善轴承和心轴的枢轴柄之间的相互作用。为了实现这一点，用作润 滑剂空腔204的凹陷部200可以设置在弹性结构216的中心部214中，如图10所示。有利 地，该凹陷部200设置在孔107的上方，以使得润滑剂能够通过重力或毛细管作用流动到孔 107中。可以设置窄通道202以控制润滑剂的流动。该凹陷部200还可以采用位于孔107 的壁上的圆形凹槽的形式。
[0081] 然而，可以设想用于储存润滑剂的一个或多个凹陷部200位于轴承的周缘部212 上，并且润滑剂通过至少一个通道202被运送到孔107处，如图9所示。因此，应该理解的 是，所述一个或多个通道202穿过弹性结构206的弹性臂216。
[0082] 在第二实施例中，利用本发明的方法制造的部件是谐振器300。该谐振器具有以变 形方式使用的体部。图12和14示出的传统谐振器包括放置在支架306上的基部302,并且 至少两个平行臂304从该基部延伸。这两个平行臂承载喷涂金属，该喷涂金属在臂上形成 两组电极308,从而可以使这些臂处于电场中并使它们振动。谐振器300在基部302上还包 括分别连接到成组电极308的连接片309,如图14所示。每个臂304都包括上表面和下表 面。
[0083] 为了改善谐振器300的特性，已知的是在臂304上形成凹槽310或者通道。这些 凹槽或通道310增强了压电耦合，从而提高了谐振器300的品质因子。这种提高的品质因 子使得电功率消耗减少。这种功率消耗的减少是电阻减小的结果，该电阻代表了谐振器300 的等效电路中的损失。
[0084] 根据本发明的制造方法可以用于形成这些凹槽或通道310。在所述示例中，每个臂 304都包括位于对应的臂304的上表面的至少一个凹槽310。
[0085] 为了实现这一点，在形成电极前取用谐振器300是首要的。
[0086] 然后，使用具有飞秒脉宽的激光来局部改变臂304的结构。由此获得其结构通过 多光子吸收而改变的臂304的区域，该区域具有预定的形状，优选为平行六面体形状。这种 结构性改变使得这些区域更具有选择性。这意味着这些区域比未改变的区域对某些化学试 剂的反应更活跃。
[0087] 这使得能够随后进行化学蚀刻步骤。该化学蚀刻步骤包括将谐振器300浸入化学 溶液中，该化学溶液选择为选择性地蚀刻由激光改变的区域。然而，可以选择蚀刻改变区域 比蚀刻未改变区域更快的化学溶液。在这种情况下，谐振器300的尺寸限定为将化学试剂 在未改变区域上的蚀刻考虑在内，以避免影响最终的尺寸。
[0088] 优选地，在每个臂304都包括单个凹槽310的情况下，凹槽310居中设置在臂304 上，并且凹槽310设置在同一表面314上。
[0089] 由于根据本发明的方法能够生成具有更多垂直侧面312的凹槽310 (如图13所 示），因此该方法可以形成提供更大的压电耦合的凹槽或通道310。这种垂直性大大影响了 耦合。
[0090] 在图15所示的这种第二实施例的第一变型中，每个臂304的每个表面314, 316都 包括凹槽或通道310。应该理解的是，对于具有两个臂304的谐振器300,该谐振器300具 有四个凹槽310。因此，在每个臂304的上表面314上有一个凹槽310,并且在每个臂304 的下表面316上有一个凹槽310。在这种变型中，每个臂304的凹槽310相对于平面A-A' 相对，如图15所示。
[0091] 在图16所示的第二实施方式中，谐振器300可以包括第三臂304,以使得谐振器 300具有与三叉戟类似的形状。在这里位于中心的第三臂304用于固定谐振器300,更具体 地用于改变其重心。事实上，该第三臂304用作固定点，以使得该第三臂与支承谐振器300 的基部306接触。用作中心臂304的第三臂的这种设置可以使重心居中并获得谐振器300 的改善的平衡。因此，根据本发明的方法用于从基底制造该谐振器300。根据本发明的方 法的精度使得能够形成复杂的形状。由于能够在单个步骤中形成轮廓和凹槽310,因此能 够利用本发明的方法形成整个谐振器300是有利的。当然，具有两个臂304的标准谐振器 300也是可以的。
[0092] 当然，应该理解的是，如果谐振器采用游丝400的形式，则可以在该螺旋谐振器的 至少其中一个表面上形成至少一个凹陷部200,并且该凹陷部采用浴池310的形式，如图20 所示。
[0093] 应该理解的是，此制造方法还可以用于形成其他部件。尤其是，它可以用于形成红 宝石擒纵叉瓦，其具有至少一个用作润滑剂储存器的凹陷部200。参考图17,其中示出具有 传统结构的擒纵叉杆601，其包含两个擒纵叉瓦602 (图17中仅示出退出擒纵叉）。擒纵叉 瓦602通常为红宝石部件，其所有表面都被抛光，并且其被压入且结合到设置在擒纵叉杆 601的臂601a中的壳腔604内。擒纵叉瓦602包括推动平面602a、锁定平面602b和脱离 平面602c，该推动平面602a和脱离平面602c沿退出边缘或推动喙部602d相交。推动平面 602a和锁定平面602b分别与擒纵轮齿606配合，更具体地，与齿606的锁定平面606a和锁 定喙部606b配合。擒纵轮6沿箭头F的方向以传统方式逐步旋转，因此，最重要的润滑点 是推动平面602a和锁定平面602b，从而在擒纵机构的各个操作阶段期间，在擒纵轮齿和这 些平面之间需要存在润滑剂。
[0094]目前，润滑是在擒纵轮齿上布置一滴润滑剂，鉴于润滑剂被快速推向擒纵叉瓦602 的锁定平面602b (它在这里聚集），这种润滑不能确保长期润滑，因而对于期望的润滑效果 是不可用的。
[0095] 本发明通过形成用于储存润滑剂的凹陷部200解决了这一问题，该凹陷部采用至 少一个通道700和至少一个储存器702的形式。上述方法用于实现这一点。
[0096] 图18中示出的结果采用擒纵叉瓦602的形式，其包括连接脱离平面602c和锁定 平面602b的主通道700。擒纵叉瓦602还包括用作储存器702的凹陷部200,该储存器702 位于擒纵叉瓦602内部并与主通道700连通。该储存器702沿平行于脱离平面602c和锁 定平面602b且远离推动平面602a的方向延伸。该储存器702的大小设计成能够储存所有 必需的润滑剂。在擒纵机构的操作期间，润滑剂通过毛细管作用被吸到主通道700中并出 现在锁定平面602b上。
[0097] 在一个有利的变型中，擒纵叉瓦602还包括辅助通道704,其从该主通道700开始 延伸并通向锁定平面602a，如图19所示。这些辅助通道704因此用于润滑锁定平面602a， 并且由此改善了擒纵机构的润滑效果。
[0098] 直接在擒纵叉瓦602内部设置用于储存所有润滑剂的储存器消除了润滑剂在震 动情况下喷射出来的问题。
[0099] 清楚的是，在不偏离所附权利要求限定的本发明的范围的情况下，可以对上文描 述的本发明的各种实施例进行对于本领域技术人员显而易见的各种变化和/或改进和/或 组合。
【权利要求】
1. 一种用于在基底（101,300)中制造部件的制造方法，其特征在于，所述方法包括下 述步骤： a) 改变基底的至少一个区域的结构，以使所述至少一个区域更具选择性； b) 化学蚀刻所述至少一个区域，以便选择性地制造所述部件。
2. 根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述方法还包括以下步骤： c) 从所述基底释放所述部件。
3. 根据权利要求1或2所述的制造方法，其特征在于，所述至少一个区域的结构被激光 (L)改变。
4. 根据上述权利要求中的任一项所述的制造方法，其特征在于，所述基底由可透过激 光波长的材料制成。
5. 根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述激光（L)的脉宽范围从飞秒到皮 秒。
6. 根据权利要求4或5所述的制造方法，其特征在于，所述基底由单晶材料制成。
7. 根据权利要求4或5所述的制造方法，其特征在于，所述基底由多晶材料制成。
8. 根据权利要求4或5所述的制造方法，其特征在于，所述基底由聚合物制成。
9. 根据权利要求4或5所述的制造方法，其特征在于，所述基底由无定形材料制成，例 如陶瓷或玻璃。
10. 根据上述权利要求中的任一项所述的制造方法，其特征在于，所述部件为钟表部 件。
11. 根据权利要求10所述的制造方法，其特征在于，所述部件为钟表轴承（101)。
12. 根据权利要求11所述的制造方法，其特征在于，所述基底包括在结构改变步骤之 前形成的盲孔（107)。
13. 根据权利要求11所述的制造方法，其特征在于，所述轴承还包括至少一个凹陷部 (200)。
14. 根据权利要求12所述的制造方法，其特征在于，所述至少一个凹陷部（200)是盲孔 (107)。
15. 根据权利要求12或13所述的制造方法，其特征在于，所述至少一个凹陷部（200) 用作储存润滑剂的储存器（204)，所述至少一个凹陷部（200)至少从所述孔（107)的表面延 伸。
16. 根据权利要求15所述的制造方法，其特征在于，所述至少一个凹陷部还包括连接 至少一个储存器（204)和所述孔（107)的至少一个通道（202)。
17. 根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述至少一个凹陷部（200)用于形成弹 性结构（206)。
18. 根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述弹性结构包括设置成使得心轴的 枢轴柄能够插入其中的中心部（214)，以及从所述中心部延伸的至少一个弹性臂（216)。
19. 根据权利要求1-9中的任一项所述的方法，其特征在于，所述部件是谐振器（300)， 所述谐振器包括以变形方式使用的体部。
20. 根据权利要求19所述的方法，其特征在于，所述谐振器（300)包括基部（302)，至 少两个平行的臂（304)从所述基部延伸，其中每个臂均具有上表面（314)和下表面（316)。
21. 根据权利要求19所述的方法，其特征在于，所述体部为在自身上卷绕以形成游丝 的条状件。
22. 根据权利要求19-21中的任一项所述的方法，其特征在于，所述谐振器（300)还包 括在所述体部的其中一个表面上形成的至少一个凹陷部（310)。
23. 根据权利要求10所述的制造方法，其特征在于，所述部件是擒纵叉瓦。
24. -种设置成与心轴配合的钟表部件（101)，所述部件包括其中插入心轴的枢轴柄 的孔（107)，其特征在于，所述部件包括从所述孔（107)的至少其中一个表面延伸到所述部 件中的至少一个凹陷部（200)。
25. 根据权利要求24所述的钟表部件，其特征在于，所述至少一个凹陷部包括用于容 纳液体的至少一个储存器（204)。
26. 根据权利要求25所述的钟表部件，其特征在于，所述至少一个凹陷部（200)还包括 连接所述至少一个储存器（204)和所述孔的至少一个通道（202)。
27. 根据权利要求24所述的钟表部件，其特征在于，所述至少一个凹陷部（200)延伸以 形成弹性结构（206)。
28. 根据权利要求24所述的钟表部件，其特征在于，所述凹陷部（200)设置成使得所述 部件包括具有环形边缘（212)、中心部（214)和弹性臂（216)的圆柱形部分，其中，所述弹性 臂连接所述中心部和环形边缘，所述中心部包括所述孔（107)。
29. 根据权利要求24-28中的任一项所述的钟表部件，其特征在于，所述部件包括至少 两个凹陷部（200)，其中，至少一个凹陷部包括用于容纳液体的至少一个储存器（204)，并 且至少一个凹陷部延伸以形成弹性结构（206)。
30. -种用于与钟表机芯的擒纵轮的齿配合的擒纵叉瓦（602)，所述擒纵叉瓦包括脱 离平面^02 C)、锁定平面^02b)和推动平面^02a)，以及连接所述脱离平面^02C)和锁 定平面（602b)的至少一个主通道（700)，其特征在于，所述擒纵叉瓦还包括与所述主通道 连通的储存器（702)，以便所有必需的润滑剂都能够储存在所述至少一个主通道和所述储 存器中。
31. 根据权利要求30所述的擒纵叉瓦，其特征在于，所述擒纵叉瓦还包括连接所述至 少一个主通道和所述推动平面的至少一个辅助通道（704)。
【文档编号】G04B31/004GK104126152SQ201280070334
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2012年12月20日 优先权日:2011年12月22日
【发明者】T·黑塞勒, N·雷伯德, J-L·黑尔费尔, D·理查德, S·格拉夫 申请人:斯沃奇集团研究和开发有限公司