技术编号:6279083
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明大致系关于工业过程,更详言之,系关于动态控制量测中之工件(metrology work in progress)之各种方法及系统。背景技术 在完整地参阅了本申请案之后,熟悉相关技术者将可了解本发明可广泛应用于涉及各种不同类型的装置或工件的制造之各种工业。举例而言,将在制造集成电路装置时所遭遇的各种问题之环境下讨论本申请案的背景。然而,并不将本发明视为只限于使用于半导体制造工业内。半导体工业中一直有驱策力来提高诸如微处理器、内存装置等的集成电路装置之品...
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