技术编号:6283336
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种抽样方法,且特别是涉及一种。背景技术—半导体工艺生产线上具有许多工艺步骤,例如薄膜形成步骤、微影工艺步骤等, 此外,还具有许多检验步骤以检验特定一些工艺步骤的结果。 在一检验步骤中,经由检验一成品或是半成品的物理性质来判断是否有缺陷存 在,进而推论于此产品所进行之前步骤中的各种机台状态是否正常。目前生产线上所执行 的检验程序大部分为抽样检验。也就是对于相对应于各种不同工艺步骤的各种机台类型设 定不同的被抽样检验比率,而在此抽样检验比率控制下,...
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