专利名称：抽样检验方法
技术领域：
本发明涉及一种抽样方法，且特别是涉及一种抽样检验方法。
背景技术：
—半导体工艺生产线上具有许多工艺步骤，例如薄膜形成步骤、微影工艺步骤等， 此外，还具有许多检验步骤以检验特定一些工艺步骤的结果。 在一检验步骤中，经由检验一成品或是半成品的物理性质来判断是否有缺陷存 在，进而推论于此产品所进行之前步骤中的各种机台状态是否正常。目前生产线上所执行 的检验程序大部分为抽样检验。也就是对于相对应于各种不同工艺步骤的各种机台类型设 定不同的被抽样检验比率，而在此抽样检验比率控制下，随机抽样产品批次进行检验步骤。 在生产线上进行同一工艺步骤的工艺机台数量少的情况下，此依照抽样比率进行产品批次 的抽样检验方式，可以达到短时间内，执行各个工艺步骤的每个机台的工艺结果都有差不 多的机会被抽样检验到。然而，当生产线扩大，工艺机台数量扩增时，这种以抽样检验比率 来随机选取产品批次进行检验步骤，将产生部分机台的工艺步骤结果久久才被检验一次的 盲点。 如此一来，当工艺机台产生工艺问题，而致使同一产品批次中的产品产生缺陷，而 恰好此工艺机台的工艺结果并未被抽样检验时，将导致产品良率下降，并且降低检验步骤 的可信度。然而，在具有众多工艺机台的生产线上要逐一完成工艺结果的检验，达到百分之 百的检验结果，又会提高检验程序的复杂度以及拉长执行检验步骤所需的时间。
发明内容
本发明的目的就是在提供一种抽样检验方法，在一预设检验周期内，可使每一设 备都进行抽样检验至少一次，提高抽样检验的可信度。 本发明的另一目的是提供一种抽样检验方法，可以降低抽样检验的时间，以提高 产能。 本发明提出一种抽样检验方法，适用于具有多个设备的一多种产品生产线，包括 提供一设备记录(tool record)，其中该设备记录储存每一所述设备的一抽样数据。之后， 检视该设备记录中的每一抽样数据，以于所述设备中找出至少一未抽样设备。接着，确认经 由至少所述未抽样设备其中之一所执行至少一工艺操作的多个产品批次。最后，决定至少 所述产品批次其中之一，以进行一抽样检验。 依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中每一抽样数据分别记录相对应的 该设备的一最新检验时间。 依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中进行该抽样检验的该产品批次的 一工艺设备路径包含至少两个未抽样设备。 依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中决定至少所述产品批次其中之 一，以进行该抽样检验的步骤还包括根据一优先选择规则，以决定进行该抽样检验的该产品批次为一优先抽样产品批次。上述优先选择规则包括该优先抽样产品批次所相对应的 一产品具有一最高产品生产量。另外，该优先选择规则包括该优先抽样产品批次具有一现 成检验程序。再者，该优先选择规则包括该优先抽样产品批次的一工艺设备路径包含最多 所述未抽样设备。 依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中该设备记录中，根据每一所述设
备所执行的一工艺型态以分群所述设备成多个设备群组，且每一所述设备群组分别具有一
预设检验周期。其中于所述设备中找出至少一该未抽样设备的步骤还包括于每一所述设
备群组相对应的该预设检验周期内，在每一所述设备群组中找出至少所述设备其中之一为
该未抽样设备，且该未抽样设备的相对应该抽样数据标示为未抽样。 依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中该设备包括一工艺机台。 依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中该设备包括一工艺腔体。 本发明还提出一种抽样检验方法，适用于具有多个设备的一多种产品生产线，包
括提供一设备记录，其中该设备记录储存每一所述设备的一抽样数据。之后，于一预设检
验周期，检视该设备记录中的每一抽样数据，以于所述设备中找出至少一未抽样设备。再
者，设定一工艺设备路径，其中该工艺设备路径包括至少两个未抽样设备。继之，根据该工
艺设备路径，预定一产品批次。续之，使该产品批次依照该工艺设备路径完成一产品制造程
序。最后，以进行一抽样检验，以检验该产品批次。 依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中每一抽样数据分别记录相对应的 该设备的一最新检验时间。 依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中该设备记录中，根据每一所述设
备所执行的一工艺型态以分群所述设备成多个设备群组，且每一所述设备群组分别具有一
预设检验周期。又，其中于所述设备中找出至少一该未抽样设备的步骤还包括于每一所述
设备群组相对应的该预设检验周期内，在每一所述设备群组中找出至少所述设备其中之一
为该未抽样设备，且该未抽样设备的相对应该抽样数据标示为未抽样。 依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中该设备包括一工艺机台。 依照本发明的实施例所述的抽样检验方法，其中该设备包括一工艺腔体。 在本发明中，在获知未检验设备数据的前提下，抽样特定产品批次，因此可以在预
设检验周期内，生产线上所有运转的设备都可被抽样检验至少一次。此外，通过被动方式抽
样产品批次进行抽样检验，或是主动方式设定工艺设备路径以选定特定产品批次进行抽样
检验，都可以经由单一抽样检验，检验多个未检验设备的工艺结果，因此可以大幅简化抽样
检验的程序与降低抽样检验所需的时间，连带提高生产线的产能。 为使本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例， 并结合附图详细说明如下。
图1示出了根据本发明一较佳实施例的一种抽样检验方法的流程简图。
图2示出了根据本发明一较佳实施例的一种设备记录的示意图。
图3示出了根据本发明一较佳实施例的工艺设备与工艺步骤关系简图。
图4示出了根据本发明另一较佳实施例的一种抽样检验方法的流程简图。
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附图符号说明 S101-S107、S401-S411 :方法流程步骤 200 :设备记录 A、P、ST、C、SI、PA、SIN、H :设备群组 302、304、306、308 :工艺设备路径
具体实施例方式
图1示出了根据本发明一较佳实施例的一种抽样检验方法的流程简图。请参照图l，在具有多个设备(tool)的一多种产品生产线上，首先，提供一设备记录(步骤S101)，其中此设备记录储存每一设备的一抽样数据(sampling data)。上述的多种产品生产线例如是可同时生产多种不同产品的生产线，而此生产线上的设备，则根据每一设备所执行的一工艺型态而分群(grouping)，使生产线上的设备分群成多个设备群组。再者，上述每一抽样数据分别记录相对应的设备的一最新检验时间。 图2示出了根据本发明一较佳实施例的一种设备记录的示意图。请参照图2，在此实施例中，此设备记录200中列出多种产品生产线上共70个设备，且依照每一设备所执行工艺型态将70个设备分群成A、P、ST、C、SI、PA、SIN与H共8个设备群组。其中，上述设备例如是工艺机台(machine)或是一工艺机台中的每一个工艺腔体(process chamber)。另外，每一设备群组分别具有一预设检验周期，此预设检验周期的设定例如是根据机台异常率，或是根据该设备群组中的工艺重要度而设定。在一实施例中，当设备群组中的工艺重要度高，则此设备群组的预设检验周期越短。在另一实施例中，当设备群组中的设备总产量越高时，则此设备群组的预设检验周期越短。 此外，请参照图2，每一个设备代号，分别具有一抽样数据，以记录相对应设备的一最新检验时间。以设备代号A01为例，与此设备A01相关的产品批次的最新抽样检验时间为2007年9月30日的15点30分。 之后，请参照图l，在步骤S103中，检视设备记录200中的相对应于每一设备的每一抽样数据，以设备记录200中找出至少一未抽样设备。也就是，在设备记录200中，于每一设备群组相对应的预设检验周期内，当设备群组中的一设备，其最新检验时间并非发生于此设备群组所相对应的预设检验周期内，则将此设备的抽样数据标示为未抽样。请参照图2，在一实施例中，设备记录200中，设备群组ST中的设备ST09、设备群组PA中的设备PA10以及设备群组H中的设备H01，其最新检验时间皆非发生于其所属的设备群组所相对应的预设检验周期内，也就是其最后一次抽样检验的时间远早于其所属设备群组所对应的预设检验周期，因此标示为未检验设备(于图2中是以粗体框线表示的)。
接着，在步骤S105中，确认经由至少一未抽样设备所执行至少一工艺操作的多个产品批次。图3示出了根据本发明一较佳实施例的工艺设备与工艺步骤关系简图。请参照图3，在一实施例中，工艺步骤依序包括工艺步骤01 、工艺步骤02、工艺步骤03与工艺步骤04，而工艺步骤01可由至少设备A01与设备A02进行，工艺步骤02至少可由设备ST06、设备ST07、设备ST08与设备ST09进行，工艺步骤03至少可由设备PA05至设备PA10进行，工艺步骤04至少可由设备H01至H10进行。 由图2的设备记录200找到设备ST09、设备PA10与设备H01为未检验设备，而于
6图3中显示工艺设备路径(process tool path)302、304与306，其中工艺设备路径302显示于设备HOI中进行工艺步骤04的产品批次lotl7，是先在设备ST07进行工艺步骤02，之后在设备PA10进行工艺步骤03，也就是产品批次lot 17的工艺设备路径包含两个未检验设备PA10与H01 。另外，工艺设备路径304显示于设备H03中进行工艺步骤04的产品批次lot 18，是先在设备ST09进行工艺步骤02，之后在设备PA10进行工艺步骤03，也就是产品批次lot 18的工艺设备路径包含两个未检验设备ST09与PA10。再者，工艺设备路径306显示于设备H04中进行工艺步骤04的产品批次lot20，是先在设备ST09进行工艺步骤02，之后在设备PA09进行工艺步骤03，也就是产品批次lot 20的工艺设备路径包含一个未检验设备PA09。因此产品批次lot 17、产品批次lot 18与产品批lot 20则被确认为经由至少一未抽样设备执行至少一工艺操作步骤的产品批次。 之后，请参照图l，在步骤S107中，决定至少一产品批次，以进行一抽样检验。较佳的是，进行抽样检验的产品批次的工艺设备路径包含至少两个未抽样设备。在另一实施例中，决定产品批次以进行该抽样检验的步骤还包括根据一优先选择规则，以决定进行抽样检验的产品批次其中之一为优先抽样产品批次。而上述优先选择规则包括优先抽样产品批次所相对应的一产品具有一最高产品生产量。另外，在另一实施例中，优先选择规则包括优先抽样产品批次具有一现成检验程序(ready-to-inspect recipe)。另外，在又一实施例中，优先选择规则包括优先抽样产品批次的一工艺设备路径包含最多未抽样设备，因此可通过单一一次抽样检验，达到抽样多个位抽样设备的目的，也就是于图3中，产品批次lot 17的工艺设备路径包含两个未检验设备，因此根据优先选择规则，产品批次lot 17成为优先抽样产品批次。 在上述实施例中，在检视设备记录200并找出未检验设备之后，在产品批次完成制造程序之后，直接挑选工艺设备路径包括至少一个未检验设备的产品批次进行抽样检验。也就是上述抽样检验产品批次的方法是属于被动式的，在产品批次已经经过未检验设备进行所需的工艺步骤之后，在经由其工艺设备路径而挑选出适当的产品批次进行抽样检验。然而，本发明并不限于上述的被动式抽样检验方式。 图4示出了根据本发明另一较佳实施例的一种抽样检验方法的流程简图。请参照图4，在另一实施例中，首先提供一设备记录(步骤S401)，其中此设备记录中所储存的抽样数据与型态以及储存分类(如图2所示)，都与上述实施例中所描述相同，因此不在此作赘述。 之后，在步骤S403中，检视该设备记录中的每一抽样数据，以于设备记录中找出至少一未抽样设备。其中，找出未抽样设备的方法已于上述实施例的步骤S103中详述，因此不在此作赘述。 继之，在步骤S405中，设定一工艺设备路径，续之，在步骤S407，根据所设定的工艺设备路径，预定一产品批次。其中工艺设备路径包括至少两个未抽样设备。也就是，请参照图3与图4，根据于步骤S403中所找到的未检验设备(如图2所示的设备ST09、 PA10与H01)，主动规画一个囊括至少两个未抽样设备的工艺设备路径，较佳的是此工艺设备路径(如图3中所示的工艺设备路径308)包括所有未抽样设备(设备ST09、 PA10与H01)。也就是显示于图3中，所设定一工艺设备路径308，而根据设备路径308所相对应的产品类型，而预定于设备A02进行工艺步骤01，而尚未进行工艺步骤02、工艺步骤03与工艺步骤04的产品批次lot 32做为之后一抽样检验的产品批次。 之后，请继续参照图3与图4，在步骤S409中，使产品批次lot 32依照所设定的
工艺设备路径308完成一产品制造程序。接着，在步骤S411中，对于产品批次lot 32进行
一抽样检验。由于产品批次lot 32依照所设定的工艺设备路径308完成产品制造程序，而
所设定的工艺设备路径308包括大部分的未检验设备，因此通过单一一次抽样检验产品批
次lot 32即可以达到同时检验多个未检验设备的工艺结果的目的。因此可以大幅简化进
行抽样检验的程序，并且降低进行抽样检验的所需时间，提高整体产能。 在本发明中，通过设备记录随时更新最新抽样数据，并且由设备记录中可以获知
在预设检验周期内，没有更新抽样数据的未检验设备，在获知未检验设备数据的前提下，抽
样特定的产品批次，以达到同时检验多个设备的工艺结果的目的。由于是在获知未检验设
备数据的前提下，抽样特定产品批次，因此可以在预设检验周期内，生产线上所有运转的设
备都可被抽样检验至少一次，因此可以解决随机抽样(random sampling)产生的部分机台
久久才抽样检验一次的盲点。此外，通过被动方式抽样产品批次进行抽样检验，或是主动方
式设定工艺设备路径以选定特定产品批次进行抽样检验，都可以经由单一抽样检验，检验
多个未检验设备的工艺结果，因此可以大幅简化抽样检验的程序与降低抽样检验所需的时
间，连带提高生产线的产能。 虽然本发明已以较佳实施例披露如上，但其并非用以限定本发明，本领域技术人 员，在不脱离本发明的精神和范围的前提下，当可作若干的更改与修饰，因此本发明的保护 范围应以本发明的权利要求为准。
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权利要求
一种抽样检验方法，适用于具有多个设备的一多种产品生产线，包括提供一设备记录，其中该设备记录储存每一所述设备的一抽样数据；检视该设备记录中的每一抽样数据，以于所述设备中找出至少一未抽样设备；确认经由至少所述未抽样设备其中之一所执行至少一工艺操作的多个产品批次；决定至少所述产品批次其中之一，以进行一抽样检验。
2. 如权利要求1所述的抽样检验方法，其中每一抽样数据分别记录相对应的该设备的 一最新检验时间。
3. 如权利要求1所述的抽样检验方法，其中进行该抽样检验的该产品批次的一工艺设 备路径包含至少两个未抽样设备。
4. 如权利要求1所述的抽样检验方法，其中决定至少所述产品批次其中之一，以进行 该抽样检验的步骤还包括根据一优先选择规则，以决定进行该抽样检验的该产品批次为一 优先抽样产品批次。
5. 如权利要求4所述的抽样检验方法，其中该优先选择规则包括该优先抽样产品批 次所相对应的一产品具有一最高产品生产量。
6. 如权利要求4所述的抽样检验方法，其中该优先选择规则包括该优先抽样产品批 次具有一现成检验程序。
7. 如权利要求4所述的抽样检验方法，其中该优先选择规则包括该优先抽样产品批 次的一工艺设备路径包含最多所述未抽样设备。
8. 如权利要求1所述的抽样检验方法，其中该设备记录中，根据每一所述设备所执行 的一工艺型态以分群所述设备成多个设备群组，且每一所述设备群组分别具有一预设检验 周期。
9. 如权利要求8所述的抽样检验方法，其中于所述设备中找出至少一该未抽样设备的 步骤还包括于每一所述设备群组相对应的该预设检验周期内，在每一所述设备群组中找 出至少所述设备其中之一为该未抽样设备，且该未抽样设备的相对应该抽样数据标示为未 抽样。
10. 如权利要求1所述的抽样检验方法，其中该设备包括一工艺机台。
11. 如权利要求1所述的抽样检验方法，其中该设备包括一工艺腔体。
12. —种抽样检验方法，适用于具有多个设备的一多种产品生产线，包括 提供一设备记录，其中该设备记录储存每一所述设备的一抽样数据； 检视该设备记录中的每一抽样数据，以于所述设备中找出至少一未抽样设备； 设定一工艺设备路径，其中该工艺设备路径包括至少两个未抽样设备； 根据该工艺设备路径，预定一产品批次； 使该产品批次依照该工艺设备路径完成一产品制造程序； 以进行一抽样检验，以检验该产品批次。
13. 如权利要求12所述的抽样检验方法，其中每一抽样数据分别记录相对应的该设备 的一最新检验时间。
14. 如权利要求12所述的抽样检验方法，其中该设备记录中，根据每一所述设备所执 行的一工艺型态以分群所述设备成多个设备群组，且每一所述设备群组分别具有一预设检 验周期。
15. 如权利要求14所述的抽样检验方法，其中于所述设备中找出至少一该未抽样设备的步骤还包括于每一所述设备群组相对应的该预设检验周期内，在每一所述设备群组中 找出至少所述设备其中之一为该未抽样设备，且该未抽样设备的相对应该抽样数据标示为 未抽样。
16. 如权利要求12所述的抽样检验方法，其中该设备包括一工艺机台。
17. 如权利要求12所述的抽样检验方法，其中该设备包括一工艺腔体。
全文摘要
一种抽样检验方法，适用于具有多个设备的一多种产品生产线，包括提供一设备记录(tool record)，其中该设备记录储存每一所述设备的一抽样数据。之后，检视该设备记录中的每一抽样数据，以于所述设备中找出至少一未抽样设备。接着，确认经由至少所述未抽样设备其中的一所执行至少一工艺操作的多个产品批次。最后，决定至少所述产品批次其中之一，以进行一抽样检验。
文档编号G05B21/00GK101718989SQ20081016648
公开日2010年6月2日 申请日期2008年10月9日 优先权日2008年10月9日
发明者蔡松霖, 钟文华, 黄健安, 黄凯斌 申请人:联华电子股份有限公司