技术编号：6284143
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般系关于制造系统，尤特别者在于对制程简化及制程效率进行改变者。背景技术 技术进展强化生产制程的复杂性。例如，生产集成电路大概是现有制程中最为复杂的。造成如此复杂之因素包括装置持续微小化、制程复杂度、产品多元化以及技术变化。据此，复杂的半导体制程管理从硅晶片制成完整封装件及集成电路组件可能包含上千个规划步骤。大部分的制造者希望拥有控制产品流程及设备用途之单一系统。此一系统以下称作制造系统。制造系统系通过进行工厂各项生产产品的制造工具之操作路线来管理产...
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