专利名称：使用制程叙述与架构关系控制制程之方法与装置的制作方法
技术领域：
本发明一般系关于制造系统，尤特别者在于对制程简化及制程效率进行改变者。
背景技术：
技术进展强化生产制程的复杂性。例如，生产集成电路大概是现有制程中最为复杂的。造成如此复杂之因素包括装置持续微小化、制程复杂度、产品多元化以及技术变化。据此，复杂的半导体制程管理从硅晶片制成完整封装件及集成电路组件可能包含上千个规划步骤。
大部分的制造者希望拥有控制产品流程及设备用途之单一系统。此一系统以下称作制造系统。制造系统系通过进行工厂各项生产产品的制造工具之操作路线来管理产品制造过程。每项操作可能利用不同制造工具，单一操作也可能并用多项制造工具，而一项工具也可能用于单一操作两种以上之阶段。
关于工厂中进行制造操作的信息型态繁多。通常用于执行制程之信息系以文件或档案来保存，该文件或档案以下称作″配置文件″。举例来说，配置文件的型态可为用于叙述制造特定半导体芯片的晶片特定层制程之说明书文件。一般而言，说明书文件为可由设备接口读取之档案，如应用于执行控制制造工具之计算机专用系统之软件。由于单一操作包含各种工具，因此每项工具设备接口必须具备该说明书文件的确认复制入口。
于半导体制造业中，即使几分钟的单一工具操作失误都会极为昂贵。因此，变更配置文件，如说明书文件或方法等均应避免，而且一般几乎没有人愿意做此变更。惟当文件必须变更时，由于一项变更会产生连锁效应，故该变更必须经过严格测试并且广泛衡量批准制程。在一般半导体制造设备中，说明书文件包含该操作所具有的每项制造工具方法。而方法系使工具运作硅晶片特定操作的一连串指令。举例来说，于蚀刻制程中，蚀刻酸洗器制造工具可以从晶片上蚀刻掉硅。而蚀刻酸洗器的特定操作方法系使蚀刻酸洗机从晶片特定图案蚀除固定厚度的硅。在特定产品制造的不同阶段或生产不同产品时，可能应用不同方法。一般说明书文件包含蚀刻制程可能使用的每项可能上下文所定义之个别方法，以使该方法信息多次重复执行。
另一项替换的实施方式系指一种单一方法文件，该单一方法文件含有使用该方法之制造厂中，与特定工具操作有关之信息。
当产品制法变更或工具涵盖新的或不同的操作方式时，上述实施方式一般会伴随问题产生。例如，设想变更特定芯片特定层之蚀刻方法。如上第一实施方式所述，必须对与执行相关操作方法之制造厂内每项生产工具、耗费时程以及于今日24×7制造环境下容易产生错误之制程逐渐不被接受之说明书文件进行修改。
而于第二实施方式，则需对每次使用改变方法操作之方法文件予以变更，而随着不同操作方法频繁地加入及切换工具。
迫切需要有一种可从上下文现行资料中将与生产制程有关的资料独立出来之方法。希望可以在不影响各种工具或操作之情况下变更上下文及/或配置文件。而在无须广泛地进行管理追溯及批准过程即可变更文件者更佳。
发明内容
本发明提供一种可从上下文现行资料中将与生产制程有关，称作配置文件的资料独立出来之方法。该制程上下文可定义作自配置文件移除以制造上下文无关配置文件(context-free configurationdocument)之上下文特定数据。上下文/配置关联系独立建构于制程上下文及上下文无关配置文件之间。由于该上下文/配置关联独立于制程上下文以及上下文无关配置文件两者之上，因此上下文/配置关联可在不影响其它制程上下文或配置文件之情况下，单独追溯并批准。
本发明之一方式系包含一种方法，该方法包括特定介于生产制程上下文无关配置文件与制程上下文之间之上下文/配置关联，并且启动该上下文/配置关联进行生产制程变更。该方法进一步包含于启动该上下文/配置关联以前，先行批准该上下文/配置关联。
本发明之另一方式系包含一种装置，该装置包括一用以特定介于生产制程上下文无关配置文件与制程上下文之间之上下文/配置关联之关联模块，以及一用以启动该上下文/配置关联进行生产制程变更之启动模块。该装置亦可进一步包括一于启动该上下文/配置关联以前，用以批准该上下文/配置关联之批准模块。
以上所述系一精简、归纳性而且省略细节之概要，如后所述，本概要仅说明该项技艺而未以任何方式限定之。本发明其它观点，发明特征及优点俱已完全定义于申请专利范围，并藉下述未受限定之详细
为更明了本发明之目的、特征及优点，兹参酌附图清楚揭露本发明之技艺。
图1系创造介于制程上下文与具生产制程执行指令之配置文件之间之独立上下文/配置关联之制程流程图。
图2系本发明所用之生产制程流程图。
图3系介于制程上下文与上下文无关配置文件之间之上下文/配置关联方块图。
不同图式间若指相似或特定项目，系用同一组件符号表示。
具体实施例方式
以下为本发明具体例之详细说明，而非用以限定本发明者。更确切者，任何落入本发明范畴之各类变化均已定义于后述之申请专利范围中。
为完全明了本发明，以下即对本发明之目的及具体说明予以解释。然而，在无此具体说明的情况下，无庸置疑地，本发明之技艺仍可实际实施之。
本说明书中所指″一具体例″或″具体例″系表示本发明至少一具体例中，与该具体例有关之特定特征、结构或特性叙述。于本说明书各处出现″于一具体例″一词并非仅指同一具体例，亦包括其它具体例所共有之分割或置换具体例。另外，部分具体例所述之特征并非必见于其它具体例。同样地，某些具体例需要所述的各项要求，亦未必适用于其它具体例。
本发明提供一种可从上下文现行资料中将与生产制程有关，称作配置文件的资料独立出来之方法。在按如工具型态、制得产品、生产产品需要的操作路线及现阶段已完成之操作等几项变因所预定生产制程之特述时间点下，通过特殊工具来进行操作。这些变因及其价值均在以下进行生产制程之制程上下文中完全提出。
该制程上下文可定义作自配置文件移除以制造上下文无关配置文件之上下文限定数据。上下文/配置关联系独立建构于制程上下文及上下文无关配置文件之间。由于该上下文/配置关联独立于制程上下文以及上下文无关配置文件两者之上，因此上下文/配置关联可在不影响其它制程上下文或配置文件之情况下，单独追溯并批准。
图1系创造介于制程上下文与具生产制程执行指令之配置文件之间之独立上下文/配置关联之制程流程图。制程上下文系定义于非特定定义制程上下文之步骤110中。该制程上下文亦可由许多变因及达成该变因之价值而定义。根据定义，当所有变因价值达成时，该制程上下文系为正确。具单一制程上下文定义会消除在各种配置文件中，多项制程文件列之维持需求。制程上下文定义一回后，即可与一些不同的配置文件产生关联。
于一般生产环境下，已有一些制程上下文已经定义出来，因此使用者无须定义制程上下文。本发明具体例亦可包括定义制程上下文之模块及取得制程上下文定义批准之模块。
于非特定建立上下文无关配置文件之步骤120中，上下文无关配置文件系包含建立用于进行生产制程之指令。上下文数据可由配置文件移除而创造出上下文无关配置文件，继而大幅简化配置文件本身并维持各配置文件。于一般生产环境下，已有一些制程上下文已经定义出来，因此使用者无须建立上下文无关配置文件。本发明具体例亦可包括建立上下文无关配置文件之模块及取得该上下文无关配置文件之模块。
于制程上下文及上下文无关配置文件之间创造上下文/配置关联之步骤130中，当制程上下文为正确时，该制程上下文与提供执行生产制程指令之上下文无关配置文件产生关联。该上下文/配置关联系独立存在于该制程上下文以及该上下文无关配置文件之上，故能单独执行及批准。本发明之范畴亦包含将介于制程上下文及上下文无关配置文件之间之上下文/配置关联撤销，而可视需要轻易地变更生产制程。
于启动关联来变更生产制程之步骤140中，该上下文/配置上下文/配置关联可以启动以变更生产制程。举例而言，当该上下文/配置关联启动时，若制程上下文正确，生产制程可用上下文无关配置文件指令来执行。甚至，管理者亦可单独地批准该启动指令。
本发明一具体例包含定义制程上下文之使用者接口，建立上下文无关配置文件，以及简化制程上下文与上下文无关配置文件之间之上下文/配置关联。任一进入使用者接口之使用者可创造上下文无关配置文件及/或制程上下文以及上下文/配置关联。使用者接口可包含将上下文/配置关联发送到退出指令程序(Signoff Mode)或批准程序之功能。于退出指令程序中，该上下文/配置关联会于取得一人以上批准该上下文/配置关联后才会启动。该上下文/配置关联批准一回后，会启动该上下文/配置关联用以执行生产制程。且该上下文/配置关联启动后，可对该上下文/配置关联之创始者进行告知。
图2系本发明所用之生产制程流程图。本发明于特定制程上下文正确以前之操作得视为″待机状态″。在制程上下文正确确认点210当下，无论制程上下文是否正确均会产生判断。若该制程上下文不正确，决定点210会不断重复直至该制程上下文正确。而当该制程上下文正确时，则控制续行至制程上下文确认点215关联存在。于上下文/配置关联存在之制程上下文确认点215，若无上下文/配置关联存在，控制续行会执行生产制程230令生产制程运作。而于上下文/配置关联存在之制程上下文确认点215下，若存在有上下文/配置关联，则控制续行至取得与制程上下文步骤220有关之上下文无关配置文件。与该制程上下文有关之上下文无关配置文件可能包含有关于生产制程之各项指令。
于执行生产制程步骤230中，产成可被下令运作。若存在有上下文/配置关联，从与该制程上下文有关之上下文无关配置文件处取得之指令可用以执行该生产制程。
例如，试想一既定方法，该方法系当生产C产品时，C产品于其生产制程的D阶段需藉生产工具B来执行A操作。当操作为A，工具为B，产品为C且阶段为D时，该制程上下文系定义为正确。该方法可建立于上下文无关配置文件并与该制程上下文产生关联。于生产制程中，当该制程上下文正确时，读取具有该方法之该上下文无关配置文件，并用该方法以工具B进行操作A来执行产品C在阶段D之生产制程。
图3系介于制程上下文与上下文无关配置文件之间之上下文/配置关联方块图。制程上下文310包含生产制程执行上下文之定义。例如，各种操作、工具、产品及阶段，及其于制程上下文中所代表之价值。公知技艺已确知制程上下文310不需具特定形式且可对应于数据库记录或域值，对应于内存中一或多个变量值，对应于档案，或对应于其它任何可能对制程上下文具长久效力之形式。
上下文无关配置文件330可包含如执行生产制程特定操作之工具方法等指令。虽然其它型态的上下文无关配置文件亦可能与生产制程产生关联，惟本发明已明叙执行生产制程方法之上下文。这些其它文件型态包括制程控制策略、指定特定群指令，如用于特定操作之方法等、搜罗生产制程相关数据之数据搜罗蓝图、于操作工具执行生产制程前必须显示操作工具验证之验证文件，以及其它类似型态之生产制程相关文件等。公知技艺已确知上下文无关配置文件330不需具特定形式且可对应于数据库记录或域值，对应于内存中一或多个变量值，对应于档案，或对应于其它任何可能对上下文无关配置文件具长久效力之形式。
上下文/配置关联320为制程上下文310及上下文无关配置文件330之间产生上下文/配置关联性。于此例中，上下文/配置关联以上下文参考数据320a及配置参考数据320b为例。上下文/配置关联本身可独立于该制程上下文310以及该上下文无关配置文件330之上，且相对于上下文，该上下文/配置关联包含有制程上下文310以及上下文无关配置文件330之参考数据。公知技艺已确知上下文/配置上下文/配置关联320不需具特定形式且可对应于数据库记录或域值，对应于内存中一或多个变量值，对应于档案，或对应于其它任何可能对上下文/配置关联具长久效力之形式。
本发明范畴亦包含具体指定上下文/配置关联之有效时程。于该有效时程中，生产制程系用介于制程上下文与上下文无关配置文件之间之上下文/配置关联来执行。而有效时程外，该上下文/配置关联不会在生产制程中作用，就像该上下文/配置关联并不存在一样。若当有效时程开始后，另有上下文/配置关联正常作用，则前述上下文/配置关联会被撤销，并将新产生效力之上下文/配置关联归档处理。
本发明已就单一制程上下文进行说明，惟此技艺于定义多个制程上下文及其后续正确性之检测等亦可轻易推及。除此之外，单一制程上下文可与多数上下文无关配置文件产生关联，而单一上下文无关配置文件亦可与多数制程上下文产生关联。
图式显示之公知方法可用一装置或计算机系统予以自动化。例如，该装置或计算机系统可包括用于创造介于制程上下文与含有该制程上下文正确时所用数据之上下文无关配置文件之间之上下文/配置关联之上下文/配置关联模块。该装置或计算机系统进一步包括用于启动该上下文/配置关联之启动模块。且该装置或计算机系统进一步包括一批准该上下文/配置关联之批准模块。
本发明提供很多优点。该发明准允用于操作之上下文无关配置文件从制程上下文所用之该上下文无关配置文件中单独地具体指定出来。而且，介于制程上下文与上下文无关配置文件之间之上下文/配置关联得独立存在于该制程上下文以及该上下文无关配置文件之上。从制程上下文分离出上下文无关配置文件大致上能将两者保留单一化，故无须重复制作该上下文无关配置文件或该制程上下文之副本。
通过单独地具体指定该制程上下文、上下文无关配置文件，以及上下文/配置关联，文件管理特点如译本控制及搜寻可用于管理每一份说明文件。该上下文/配置关联，制程上下文，及上下文无关配置文件的译本可予保留以追踪变更。退出步骤亦能于每一个上下文/配置关联、制程上下文和上下文无关配置文件中实施。通过使用者接口可以创造出上下文/配置关联、制程上下文以及上下文无关配置文件，但在必须性的管理批准未取得之前，使用者不会置入生产列。制程上下文只要具体指定一次，即能与其合用的很多上下文无关配置文件产生关联。
于具体例中，执行的上下文/配置关联会视所述对象对号嵌入管理批准、时效追踪特色，以及搜寻能力的退出步骤。而于其它具体例，该制程上下文及/或上下文无关配置文件亦会视所述对象采取近似的 本发明所述之软件上下文系应用于执行一台以上的计算机系统。然而，从其揭露的技艺中可以知悉本发明系广用于各种型态的程序产品，并且平等地应用而不管实际销售时所实行之信号承载媒介的特定型态。信号承载媒介的实例包括如软盘或光盘等可录式媒介以及如数字及模拟通讯连结等传输媒介，以及未来开发之媒介存储发散系统。
此外，通过该方块图、流程图以及实例，本发明所提各具体例已于上述详细说明之。显而易知地，各方块图构件、流程步骤，与操作过程及/或广泛实施实例中所用各图式组件均可独立或组合。
权利要求
1.一种控制生产制程之方法，其包含具体指定用于生产制程之上下文无关配置文件与制程上下文之间之上下文/配置关联；以及启动该上下文/配置关联以执行生产制程变更。
2.如权利要求1所述的方法，进一步包括于启动该上下文/配置关联以前，先批准该上下文/配置关联。
3.如权利要求1所述的方法，其中，该变更包括当该制程上下文正确时，根据该上下文无关配置文件实施生产制程。
4.如权利要求1所述的方法，其中，该制程上下文包括操作用于制造产品之操作路线。
5.如权利要求1所述的方法，其中，该制程上下文包括操作生产工具。
6.如权利要求1所述的方法，其中，该上下文无关配置文件包括执行生产制程之说明书文件。
7.如权利要求1所述的方法，其中，该上下文无关配置文件包括执行生产制程之指令。
8.如权利要求1所述的方法，其中，该上下文无关配置文件包括执行生产制程之方法。
9.如权利要求1所述的方法，其中，该生产制程为一半导体制程，以及，该上下文无关配置文件对应于执行该半导体制程之方法。
10.如权利要求1所述的方法，其中，该上下文/配置关联之启动移除一第一上下文/配置关联。
11.如权利要求10所述的方法，进一步包括当取得第一批准时，撤销该第一上下文/配置关联；以及，于启动该上下文/配置关联之前取得第二批准。
12.一种装置，其包含一关联模块，用以具体指定用于生产制程之上下文无关配置文件与制程上下文之间之上下文/配置关联；以及一启动模块，用以启动该上下文/配置关联以执行生产制程变更。
13.如权利要求12所述的装置，进一步包括一于启动该上下文/配置关联以前，先批准该上下文/配置关联之核准模块。
14.如权利要求12所述的装置，进一步包括当该制程上下文正确时，根据该上下文无关配置文件执行生产制程之执行模块。
15.如权利要求12所述的装置，进一步包括使用者接口模块，用于定义制程上下文，以及上下文无关配置文件。
16.如权利要求12所述的装置，进一步包括使用者接口模块，用于关联该制程上下文与该上下文无关配置文件。
全文摘要
一种可从上下文(context)取得信息，称为“配置文件”(configuration document)，而用以分离产程进行时各相关信息之方法、系统以及计算机程序产品。上下文/配置关联可独立建构于制程上下文与具产程进行指令之上下文无关配置文件之间。由于该上下文/配置关联系独立于制程上下文及上下文无关配置文件之上，故在不影响其它制程上下文或配置文件的情况下，该上下文/配置关联可单独进行重复及确认。
文档编号G05B19/418GK1623156SQ02828415
公开日2005年6月1日 申请日期2002年12月18日 优先权日2002年2月28日
发明者B·R·豪勃斯, Y·施, R·C·布朗 申请人:先进微装置公司