技术编号:6295464
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种原子力显微镜(AFM)针尖基底距离控制的方法。调节针尖与基底接触并且压力为零,以此状态作为初始状态;控制压电陶瓷收缩,带动探针向上运动,使AFM探针的针尖离开基底,所述针尖和基底表面的水膜形成液桥,通过调节AFM的压电陶瓷的伸缩使AFM探针的悬梁臂发生相应程度的形变;根据悬梁臂发生的形变计算针尖和基底的距离。该方法利用空气中物体表面广泛存在的水膜的吸附作用力,实现针尖距离基底的微小变化的调节。该方法可用于纳米沉积加工等需要针尖距离基底很近的场...
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