技术编号:6312869
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,该温度控制系统包含热卡盘、第一温度传感器、温度比较装置及温度控制器。热卡盘设置在外部机台上。第一温度传感器用于获取热卡盘的实时温度。温度比较装置获取热卡盘的实时温度,并与第一温度传感器连接。温度控制器设置在外部机台上;温度控制器分别与第一温度传感器输出端、温度比较装置输出端连接。能够实时监控第一温度传感器的工作状态,并将其是否工作正常的情况信号发送至温度控制器中,第一温度传感器能够实时获取机台的热卡盘工作温度,并将该温度信号发送至温度控制器中...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。