一种温度控制系统及其控制方法
【专利摘要】本发明公开了一种温度控制系统及其控制方法，该温度控制系统包含：热卡盘、第一温度传感器、温度比较装置及温度控制器。热卡盘设置在外部机台上。第一温度传感器用于获取热卡盘的实时温度。温度比较装置获取热卡盘的实时温度，并与第一温度传感器连接。温度控制器设置在外部机台上；温度控制器分别与第一温度传感器输出端、温度比较装置输出端连接。能够实时监控第一温度传感器的工作状态，并将其是否工作正常的情况信号发送至温度控制器中，第一温度传感器能够实时获取机台的热卡盘工作温度，并将该温度信号发送至温度控制器中，使得温度控制器能够获得准确、可靠的温度信号，能够提高机台的温度控制可靠性，提高了生产效率，降低了生产成本。
【专利说明】一种温度控制系统及其控制方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光阻机台温度控制领域，具体涉及一种温度控制系统及其控制方法。
【背景技术】
[0002]现有技术中KEM λ -3000 II光阻机台，其温度控制只通过一个温度控制器实行控制，但是一旦出现温度控制器异常情况，例如，温度传感器反馈温度与实际温度不同等情况，则无法实现向机台报警，使得光阻机台在实际温度已经超过工作温度时，光阻机台仍然持续工作，会导致光阻机台产生大量报废产品。增加了光阻机台的报废率，提高了生产成本，降低了生产效率。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种温度控制系统及其控制方法，通过设置第一温度传感器、第二温度传感器及比较器，使得温度控制器既能够获得第一温度传感器传来的热卡盘实时工作温度，也能够通过第二温度传感器及比较器判断第一温度传感器的工作是否正常，确保了温度控制器能够准确的热卡盘实时工作温度。本发明能够提高光阻机台的温度控制可靠性，降低了光阻机台的报废率，提高了生产效率，降低了生产成本。
[0004]为了达到上述目的，本发明通过以下技术方案实现:
一种温度控制系统，其特点是，该系统包含:
热卡盘，设置在外部机台上；
第一温度传感器，获取所述热卡盘的实时温度；
温度比较装置，获取所述热卡盘的实时温度，并与所述第一温度传感器连接；
温度控制器，设置在外部机台上；所述温度控制器分别与所述第一温度传感器输出端、温度比较装置输出端连接。
[0005]优选地，所述温度比较装置包含:
第二温度传感器，获取所述热卡盘的实时温度；
比较器，分别与所述第一温度传感器输出端、第二温度传感器输出端连接，所述比较器的输出端与所述温度控制器连接；该比较器计算所述第一温度传感器获取温度信号与所述第二温度传感器获取温度信号的差值。
[0006]一种具有温度控制功能的光阻机台，其特点是，该光阻机台设有温度控制系统；所述温度控制系统包含:
热卡盘，与所述光阻机台连接；
第一温度传感器，获取所述热卡盘的实时温度；
温度比较装置，获取所述热卡盘的实时温度，并与所述第一温度传感器连接；
温度控制器，分别与所述第一温度传感器输出端、比较器输出端及所述机台连接。
[0007]优选地，所述温度比较装置包含:
第二温度传感器，获取所述热卡盘的实时温度； 比较器，分别与所述第一温度传感器输出端、第二温度传感器输出端连接，所述比较器的输出端与所述温度控制器连接；该比较器计算所述第一温度传感器获取温度信号与所述第二温度传感器获取温度信号的差值。
[0008]一种温度控制方法，其特点是，该控制方法包含如下步骤:
Si，第一温度传感器获取热卡盘温度信息，并将其发送至温度控制器、温度比较装置；S2，温度比较装置获取热卡盘温度信息，并将其与所述第一温度传感器获取热卡盘温度信息进行比较、计算，并将计算结果发送至温度控制器；
S3，所述温度控制器接收、处理并判断所述第一温度传感器获取的温度信息及所述温度比较装置发送的信息。
[0009]优选地，所述步骤S2包含:
S2.1，所述比较器根据所述热卡盘的工作情况设置比较温度值；
S2.2，所述比较器将接收到的所述第一温度传感器温度与第二温度传感器温度计算二者差值的绝对值；
52.3，所述比较器判断所述差值的绝对值是否高于比较温度值；当所述差值的绝对值高于比较温度值时，将发送第一温度传感器工作异常信号至所述温度控制器；当差值的绝对值低于比较温度值时，将发送第一温度传感器工作正常信号至所述温度控制器。
[0010]优选地，所述步骤S3包含:
53.1，所述温度控制器根据机台的工作情况设置机台正常工作温度值；
S3.2，该温度控制器接收所述第一温度传感器的温度信号、所述比较器发送的结果信号;
S3.3，该温度控制器判定接收第一温度传感器的温度信号是否超过了机台正常工作温度值；该温度控制器判定接收所述比较器发送的结果信号是否为第一温度传感器工作正常信号。
[0011]优选地，所述步骤S3.3包含:
S3.3.1，所述温度控制器判断所述第一温度传感器的温度信号是否高于机台正常工作温度值时；当所述第一温度传感器的温度信号高于机台正常工作温度值时，该温度控制器控制机台发出报警信号并停止机台工作；当所述温度控制器判断所述第一温度传感器的温度信号低于机台正常工作温度值时，执行步骤S3.3.2 ；
S3.3.2，所述温度控制器判断接收所述比较器发送的结果信号是否为第一温度传感器工作正常信号；
当所述温度控制器接收到所述比较器发送的结果信号为第一温度传感器工作异常信号时，该温度控制器控制机台发出报警信号并停止机台工作；
当所述温度控制器接收到所述比较器发送的结果信号为第一温度传感器工作正常信号时，该温度控制器控制机台正常工作。
[0012]本发明与现有技术相比具有以下优点:
本发明通过增加了温度比较装置，能够实时监控第一温度传感器的工作状态，并将其是否工作正常的情况信号发送至温度控制器中，同时第一温度传感器能够实时获取光阻机台的热卡盘工作温度，并将该温度信号发送至温度控制器中，使得温度控制器能够获得准确、可靠的温度信号，从而控制光阻机台的工作状态。本发明能够提高光阻机台的温度控制可靠性，降低了光阻机台的报废率，提高了生产效率，降低了生产成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1为本发明一种温度控制系统的整体结构框图。
[0014]图2为本发明一种温度控制方法的整体流程图。
【具体实施方式】
[0015]以下结合附图，通过详细说明一个较佳的具体实施例，对本发明做进一步阐述。
[0016]如图1所不，本实施例之一，一种温度控制系统。该系统包含:热卡盘10、第一温度传感器20、温度比较装置30及温度控制器40。
[0017]其中，热卡盘10设置在外部机台上。第一温度传感器20用于获取热卡盘10的实时温度。温度比较装置30分别与热卡盘10、第一温度传感器20连接。温度比较装置30获取热卡盘10的实时温度，并与第一温度传感器20连接。温度控制器40设置在外部机台上；温度控制器40分别与第一温度传感器20输出端、温度比较装置30输出端连接。
[0018]如图1所示，温度比较装置30包含:第二温度传感器31、比较器32。
[0019]第二温度传感器31用于获取热卡盘10的实时温度。比较器32分别与第一温度传感器20输出端、第二温度传感器31输出端连接；比较器32的输出端与温度控制器40连接。
[0020]本实施例之一，一种具有温度控制功能的光阻机台，设有光阻机台，该光阻机台设有温度控制系统；温度控制系统包含:热卡盘10、第一温度传感器20、温度比较装置30及温度控制器40
其中，热卡盘10与光阻机台连接；第一温度传感器20获取热卡盘10的实时温度。温度比较装置30获取热卡盘10的实时温度，并与第一温度传感器20连接。温度控制器40分别与第一温度传感器20输出端、比较器40输出端及机台连接。
[0021]其中，温度比较装置30包含:获取热卡盘10的实时温度的第二温度传感器31。分别与第一温度传感器20输出端、第二温度传感器31输出端连接的比较器32，该比较器32的输出端与温度控制器40连接。
[0022]如图2所示，一种温度控制方法，该控制方法包含如下步骤:
SI，第一温度传感器20获取热卡盘10温度信息，并将其发送至温度控制器40、温度比较装置30。
[0023]第一温度传感器20获取热卡盘10温度信息，并将温度信号转换为电信号发送至温度控制器40、比较器32。
[0024]S2，温度比较装置30获取热卡盘10温度信息，并将其与所述第一温度传感器20获取热卡盘10温度信息进行比较、计算，并将计算结果发送至温度控制器40。该步骤包含:
S2.1，比较器32根据热卡盘10的工作情况设置比较温度值。
[0025]本实施例中，由于外部机台的工作温度范围为25°C -300°C，因此可以将比较器32中的比较温度值设置在0°c -100°c中任意值。本实施例中，将比较器32中的比较温度值设置为5°C。
[0026]第二温度传感器31获取热卡盘10温度信息，并将温度信号转换为电信号发送至比较器32。
[0027]S2.2，比较器32将接收到的所述第一温度传感器20温度与第二温度传感器31温度计算二者差值的绝对值；
52.3，比较器32判断所述差值的绝对值是否高于比较温度值；当所述差值的绝对值高于比较温度值时，将发送第一温度传感器20工作异常信号至温度控制器40 ;当差值的绝对值低于比较温度值时，将发送第一温度传感器20工作正常信号至温度控制器40。
[0028]S3，温度控制器40接收、处理并判断第一温度传感器20获取的温度信息及温度比较装置30发送的信息。该步骤S3包含:
53.1，温度控制器40根据机台的工作情况设置机台正常工作温度值。
[0029]本实施例中，温度控制器40设置机台正常工作温度范围为25°C _300°C。
[0030]S3.2，该温度控制器40接收第一温度传感器20的温度信号、比较器32发送的结果信号。
[0031]S3.3，该温度控制器40判定接收第一温度传感器20的温度信号是否超过了机台正常工作温度值；该温度控制器40判定接收比较器32发送的结果信号是否为第一温度传感器20工作正常信号。该步骤S3.3包含:
当温度控制器40判断第一温度传感器20的温度信号高于机台正常工作温度值时，该温度控制器40控制机台发出报警信号并停止机台工作。
[0032]本实施例中，当第一温度传感器20获取的热卡盘10温度高于300°C时，温度控制器40控制机台发出报警信号并停止机台工作。
[0033]S3.3.1，温度控制器40判断第一温度传感器20的温度信号是否高于机台正常工作温度值时；当第一温度传感器20的温度信号高于机台正常工作温度值时，该温度控制器40控制机台发出报警信号并停止机台工作；当温度控制器40判断第一温度传感器20的温度信号低于机台正常工作温度值时，执行步骤S3.3.2 ；
S3.3.2，温度控制器40判断接收比较器32发送的结果信号是否为第一温度传感器20工作正常信号；
当温度控制器40接收到比较器32发送的结果信号为第一温度传感器20工作异常信号时，该温度控制器40控制机台发出报警信号并停止机台工作；
当温度控制器40接收到比较器32发送的结果信号为第一温度传感器20工作正常信号时，该温度控制器40控制机台正常工作。
[0034]本实施例中，当第一温度传感器20获取的热卡盘10温度在25°C _300°C之内，温度控制器40判断比较器32发送的结果信号。当比较器32获取的第一温度传感器20与第二温度传感器31的比较温度值大于5°C时，比较器32发出“第一温度传感器工作异常”信号至温度控制器40 ;温度控制器40控制机台发出报警信号并停止机台工作。
[0035]当比较器32获取的第一温度传感器20与第二温度传感器31的比较温度值小于5°C时，比较器32发出第一温度传感器发出的温度信号至温度控制器40 ;温度控制器40控制机台控制机台正常工作。
[0036]尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。
【权利要求】
1.一种温度控制系统,其特征在于,该系统包含: 热卡盘(10)，设置在外部机台上； 第一温度传感器(20)，获取所述热卡盘(10)的实时温度； 温度比较装置(30 )，获取所述热卡盘(10 )的实时温度，并与所述第一温度传感器(20 )连接； 温度控制器(40)，设置在外部机台上；所述温度控制器(40)分别与所述第一温度传感器(20)输出端、温度比较装置(30)输出端连接；该温度控制器(40)控制外部机台工作状态。
2.如权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，所述温度比较装置(30)包含: 第二温度传感器(31)，获取所述热卡盘(10)的实时温度； 比较器(32)，分别与所述第一温度传感器(20)输出端、第二温度传感器(31)输出端连接，所述比较器(32)的输出端与所述温度控制器(40)连接；该比较器(32)计算所述第一温度传感器(20)获取温度信号与所述第二温度传感器(31)获取温度信号的差值。
3.一种具有温度控制功能的光阻机台，其特征在于，该光阻机台设有温度控制系统；所述温度控制系统包含: 热卡盘(10)，与所述光阻机台连接； 第一温度传感器(20)，获取所述热卡盘(10)的实时温度； 第二温度传感器(30)，获取所述热卡盘(10)的实时温度，并与所述第一温度传感器(20)连接； 温度控制器(40)，与所述光阻机台连接；所述温度控制器(40)分别与所述第一温度传感器(20)输出端、温度比较装置(30)输出端连接。
4.如权利要求3所述的具有温度控制功能的光阻机台，其特征在于，所述温度比较装置(30)包含: 第二温度传感器(31)，获取所述热卡盘(10)的实时温度； 比较器(32)，分别与所述第一温度传感器(20)输出端、第二温度传感器(31)输出端连接，所述比较器(32)的输出端与所述温度控制器(40)连接；该比较器(32)计算所述第一温度传感器(20)获取温度信号与所述第二温度传感器(31)获取温度信号的差值。
5.一种温度控制方法，其特征在于，该控制方法包含如下步骤: SI，第一温度传感器(20)获取热卡盘(10)温度信息，并将其发送至温度控制器(40)、温度比较装置(30); S2，温度比较装置(30)获取热卡盘(10)温度信息，并将其与所述第一温度传感器(20)获取热卡盘(10 )温度信息进行比较、计算，并将计算结果发送至温度控制器(40 ); S3，所述温度控制器(40)接收、处理并判断所述第一温度传感器(20)获取的温度信息及所述温度比较装置(30)发送的信息。
6.如权利要求5所述的温度控制方法，其特征在于，所述步骤S2包含: S2.1，所述比较器(32)根据所述热卡盘(10)的工作情况设置比较温度值； S2.2，所述比较器(32)将接收到的所述第一温度传感器(20)温度与第二温度传感器(31)温度计算二者差值的绝对值； S2.3，所述比较器(32)判断所述差值的绝对值是否高于比较温度值；当所述差值的绝对值高于比较温度值时，将发送第一温度传感器(20)工作异常信号至所述温度控制器(40);当差值的绝对值低于比较温度值时，将发送第一温度传感器(20)工作正常信号至所述温度控制器(40)。
7.如权利要求6所述的温度控制方法，其特征在于，所述步骤S3包含: S3.1，所述温度控制器(40)根据机台的工作情况设置机台正常工作温度值； S3.2,该温度控制器(40)接收所述第一温度传感器(20)的温度信号、所述比较器(32)发送的结果信号； S3.3，该温度控制器(40)判定接收第一温度传感器(20)的温度信号是否超过了机台正常工作温度值；该温度控制器(40)判定接收所述比较器(32)发送的结果信号是否为第一温度传感器(20)工作正常信号。
8.如权利要求7所述的温度控制方法，其特征在于，所述步骤S3.3包含: S3.3.1，所述温度控制器(40)判断所述第一温度传感器(20)的温度信号是否高于机台正常工作温度值时；当所述第一温度传感器(20)的温度信号高于机台正常工作温度值时，该温度控制器(40 )控制机台发出报警信号并停止机台工作；当所述温度控制器(40 )判断所述第一温度传感器(20)的温度信号低于机台正常工作温度值时，执行步骤S3.3.2 ； S3.3.2，所述温度控制器(40)判断接收所述比较器(32)发送的结果信号是否为第一温度传感器(20)工作正常信号； 当所述温度控制器(40)接收到所述比较器(32)发送的结果信号为第一温度传感器(20)工作异常信号时，该温度控制器(40)控制机台发出报警信号并停止机台工作； 当所述温度控制器(40)接收到所述比较器(32)发送的结果信号为第一温度传感器(20 )工作正常信号时，该温度控制器(40 )控制机台正常工作。
【文档编号】G05D23/19GK104360698SQ201410716335
【公开日】2015年2月18日 申请日期:2014年12月2日 优先权日:2014年12月2日
【发明者】巴文林, 包中诚 申请人:上海华虹宏力半导体制造有限公司