技术编号:6324527
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及集成电路设备真空获得领域,具体地说是一种集成电路用真空机 组控制装置。背景技术在集成电路(IC)设备真空获得领域,真空机组的控制系统必不可少。传统的真空 机组缺乏必要的控制功能,如自身保护功能、通讯及远程遥控接口等。在IC生产线上,主控 系统需要依据真空机组的抽速、真空度及机组温度、压力等各种参数设定、调整工艺流程, 而现有技术中,上述参数无法获取,没有对真空机组在运行过程中的安全监控措施。实用新型内容针对现有技术中存在的参数无法获取,没有对...
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