专利名称：集成电路用真空机组控制装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及集成电路设备真空获得领域，具体地说是一种集成电路用真空机 组控制装置。
背景技术：
在集成电路(IC)设备真空获得领域，真空机组的控制系统必不可少。传统的真空 机组缺乏必要的控制功能，如自身保护功能、通讯及远程遥控接口等。在IC生产线上，主控 系统需要依据真空机组的抽速、真空度及机组温度、压力等各种参数设定、调整工艺流程， 而现有技术中，上述参数无法获取，没有对真空机组在运行过程中的安全监控措施。
实用新型内容针对现有技术中存在的参数无法获取，没有对真空机组在运行过程中的安全监控 措施的缺陷，本实用新型要解决的技术问题是提供一种具备多种参数监控的、在通讯及远 程控制方面提供多种上位机接口的集成电路用真空机组控制装置。为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是本实用新型集成电路用真空机组控制装置具有控制单元、人机界面、开关量输入 输出接口、通讯模块以及模拟量输入接口，其中控制单元为控制核心，其数字量输入/输出 端通过开关量输入/输出接口分别连接真空机组的工作状态信号和真空机组的控制信号， 控制单元的模拟量输入端通过模拟量输入接口连接各类模拟量传感器；控制单元通过通讯 模块与上位机或本地控制盒进行通讯连接。所述通讯模块包括第1通讯模块及第2通讯模块，其中第1通讯模块采用RS485 串口，用于一对多远程控制；第2通讯模块采用RS232串口，用于一对一近距离控制。所述各类模拟量传感器包括变送器、气体流量变送器、温度传感器、水流量传感 器、功率变送器。还具有PLC兼容继电器接口，控制单元的控制输出端通过PLC兼容继电器接口选 择性的连接PLC或继电器。本实用新型具有以下有益效果及优点1.接口丰富。本实用新型配置RS-232、RS-485、PLC兼容继电器接口三种接口方 式使，真空机组在IC生产线上任意位置的远程控制得以方便实现。2.真实反应真空机组实时状态。真空机组的排气口压力、氮气吹扫的气体流量、真 空机组的泵体温度、真空机组的冷却水流量、真空机组功率(变送器)等各类传感器信号的 采集使真空机组本身自成体系，对真空机组的各种参数实时监控，对故障发生可能的预见 性大大提高，保证真空机组在健康的条件下正常运行。3.符合IC生产设备控制系统要求。真空机组的工作情况可及时反应到上位机，便 于上位机操作人员掌握整条生产线的工作状况。
图1为本实用新型系统结构图。
具体实施方式
本实用新型集成电路用真空机组控制装置具有控制单元、人机界面、开关量输入 输出接口、通讯模块以及模拟量输入接口，其中控制单元为控制核心，其数字量输入/输出 端通过开关量输入/输出接口分别连接真空机组的工作状态信号和真空机组的控制信号， 控制单元的模拟量输入端通过模拟量输入接口连接各类模拟量传感器；控制单元通过通讯 模块与上位机或本地控制盒进行通讯连接。所述通讯模块包括第1通讯模块及第2通讯模块，其中第1通讯模块采用RS485 串口，用于一对多远程控制 ’第2通讯模块采用RS232串口，用于一对一近距离控制；所述 各类模拟量传感器包括变送器、气体流量变送器、温度传感器、水流量传感器、功率变送器； 还具有PLC兼容继电器接口，控制单元的控制输出端通过PLC兼容继电器接口选择性的连 接PLC或继电器。，本实施例中，控制单元采用微控制器(MCU)，压力变送器、气体流量变送器、温度传 感器、水流量传感器、功率变送器分别为MCU提供真空机组的排气口压力、氮气吹扫的气体 流量、真空机组的泵体温度、真空机组的冷却水流量、真空机组功率标准信号(0 5V)的采 样数据；通讯模块的RS-232、RS-485接口、PLC兼容继电器接口与MCU进行双向通讯，一方 面上位机通过其中一种接口协议对MCU下达控制执行指令，同时MCU也通过该接口向上位 机返回各种状态参数；MCU对各种开关量执行器件的控制及各种开关量信号数据采集通过 开关量输入输出接口完成；人机界面与MCU的双向通讯实现机组的本地控制。
权利要求1.一种集成电路用真空机组控制装置，其特征在于具有控制单元、人机界面、开关量 输入输出接口、通讯模块以及模拟量输入接口，其中控制单元为控制核心，其数字量输入/ 输出端通过开关量输入/输出接口分别连接真空机组的工作状态信号和真空机组的控制 信号，控制单元的模拟量输入端通过模拟量输入接口连接各类模拟量传感器；控制单元通 过通讯模块与上位机或本地控制盒进行通讯连接。
2.按权利要求1所述的集成电路用真空机组控制装置，其特征在于所述通讯模块包括第1通讯模块及第2通讯模块，其中第1通讯模块采用RS485串口 ； 第2通讯模块采用RS232串口。
3.按权利要求1所述的集成电路用真空机组控制装置，其特征在于所述各类模拟量 传感器包括变送器、气体流量变送器、温度传感器、水流量传感器、功率变送器。
4.按权利要求1所述的集成电路用真空机组控制装置，其特征在于还具有PLC兼容 继电器接口，控制单元的控制输出端通过PLC兼容继电器接口连接PLC或继电器。
专利摘要本实用新型涉及一种集成电路用真空机组控制装置，具有控制单元、人机界面、开关量输入输出接口、通讯模块以及模拟量输入接口，其中控制单元为控制核心，其数字量输入/输出端通过开关量输入/输出接口分别连接真空机组的工作状态信号和真空机组的控制信号，控制单元的模拟量输入端通过模拟量输入接口连接各类模拟量传感器；控制单元通过通讯模块与上位机或本地控制盒进行通讯连接。本实用新型配置RS-232、RS-485、PLC兼容继电器接口三种接口方式使，真空机组在IC生产线上任意位置的远程控制得以方便实现，对真空机组的各种参数实时监控，对故障发生可能的预见性大大提高，保证真空机组在健康的条件下正常运行。
文档编号G05B19/418GK201845216SQ20102021553
公开日2011年5月25日 申请日期2010年6月4日 优先权日2010年6月4日
发明者张利国, 张振厚, 王光玉, 薛玉茹, 郭丽娟 申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司