技术编号:6342475
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及废气处理,特别涉及一种用于蚀刻的废气处理装置,可 用于触摸屏线路及面板等蚀刻加工排放出来的废气处理。背景技术在触摸屏等产品的加工过程中,一般需对触摸屏线路及面板通过蚀刻进行蚀刻线 作业,而目前,现有技术中,蚀刻装置一般都直接外露与空气中,直接与外部空气接通,蚀刻 时直接将废气排放到空气当中,并没有专门的废气处理装置对蚀刻产生的废气进行处理, 因此现有的技术存在着以下缺陷(1)在蚀刻工艺中,酸性蚀刻工序和酸洗工序均使用了 硫酸及盐酸溶液,加工时...
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