专利名称：一种用于蚀刻的废气处理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及废气处理技术领域，特别涉及一种用于蚀刻的废气处理装置，可 用于触摸屏线路及面板等蚀刻加工排放出来的废气处理。
背景技术：
在触摸屏等产品的加工过程中，一般需对触摸屏线路及面板通过蚀刻进行蚀刻线 作业，而目前，现有技术中，蚀刻装置一般都直接外露与空气中，直接与外部空气接通，蚀刻 时直接将废气排放到空气当中，并没有专门的废气处理装置对蚀刻产生的废气进行处理， 因此现有的技术存在着以下缺陷(1)在蚀刻工艺中，酸性蚀刻工序和酸洗工序均使用了 硫酸及盐酸溶液，加工时会有盐酸等酸性气体挥发出来，而碱性蚀刻工序中，主要使用了碱 性氯化铜蚀刻液，其基本成分为氯化铜、氯化铵、氨水，加工时会有氨气等碱性气体挥发出 来，因此，蚀刻线排放出来的废气成分包含有酸性气体、碱性气体等，若直接排放到空气当 中，则会对地球的环境造成很大的空气污染；(2)蚀刻线产生的废气直接排放到空气中，酸 性气体对人体皮肤有直接的伤害；(3)蚀刻线属于室里操作设备，触摸屏等产品生产中的 原材料对蚀刻线排放出来废气中的酸性气体非常敏感，原材料导电层容易被氧化，造成原 材料报废，从而影响触摸屏等产品的生产质量及大大提高原料成本。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点与不足，提供一种结构简单、合理，可 有效对蚀刻产生的废气进行处理，从而保持保护周围环境空气清新的用于蚀刻的废气处理
直ο本实用新型的目的通过下述技术方案实现一种用于蚀刻的废气处理装置，包括 蚀刻装置、废气抽取机构和废气过滤箱，所述蚀刻装置和废气过滤箱均为封闭的箱体，蚀刻 装置通过废气管与废气抽取机构连接，废气抽取机构通过废气管与废气过滤箱连接，废气 过滤箱外部还连接有排出管，所述排出管的管口外露于空气中；所述废气抽取机构还连接 有驱动机构，所述废气过滤箱内装有废气处理液。所述废气处理液为碱水。所述碱水优选为氢氧化钠溶液。所述碱水的质量浓度为6 8 %。所述废气抽取机构为一真空泵，所述废气管包括废气抽出管和废气排入管，所述 废气抽出管连接蚀刻装置和真空泵，所述废气排入管连接废气过滤箱和真空泵。所述废气排入管的一端管口置于废气过滤箱的废气处理液内。所述驱动机构为一电机，所述电机与真空泵连接。所述蚀刻装置包括传送机构、酸槽、碱槽、水洗装置和烘干装置，所述传送机构、酸 槽、碱槽、水洗装置和烘干装置均放置于密封的箱体内；所述酸槽、碱槽、水洗装置和烘干装 置依次与传送机构连接，且均分别与所述废气抽出管连通。传送机构、酸槽、碱槽、水洗装置和烘干装置的结构可采用传统技术的结构。酸槽中装有用于蚀刻的酸性蚀刻液，酸性蚀刻液采用传统技术的溶液，如硫酸及 盐酸溶液、三氯化铁蚀刻液或酸性氯化铜蚀刻液等；碱槽中装有用于蚀刻的碱性蚀刻液，碱 性蚀刻液采用传统技术的溶液，如碱性氯化铜溶液等。本实用新型的作用过程将产品放置于传送机构上，经传送机构的传送，产品依次 经酸槽、碱槽、水洗装置和烘干装置进行蚀刻加工；同时，电机启动，使得真空泵形成负压， 从而通过废气抽出管抽取蚀刻装置中酸槽、碱槽、水洗装置和烘干装置加工时排放的废气； 废气经废气抽出管流经真空泵，再由废气排入管流入废气过滤箱，废气过滤箱里的碱水对 废气里的酸性气体、碱性气体等进行中和处理，并通过排出管排放到外面。本实用新型与现有技术相比，具有如下优点和有益效果1、本实用新型设有废气过滤箱，可有效地通过碱水的中和作用，将蚀刻产生的废 气进行有效处理，从而保持保护周围环境空气清新，大大减低了环境污染的程度。2、本实用新型对于蚀刻线产生的废气不会直接排放到空气中，需废气过滤箱过滤 处理后再排出，使得人体皮肤不会受酸性气体等气体的伤害，可有效保证人体身体健康。3、本实用新型的蚀刻装置和废气过滤箱均为封闭的结构，使得蚀刻线排放出来的 废气不会对触摸屏等产品生产中的原材料造成影响，触摸屏等产品生产中的原材料不会被 氧化，大大减低了其原材料成本、减少原材料的报废数量，从而大大提高了触摸屏等产品的 生产质量。4、本实用新型的构件较少，维护比较方便。
图1是本实用新型的具体结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施 方式不限于此。实施例1如图1所示，本用于蚀刻的废气处理装置，包括蚀刻装置、废气抽取机构和废气过 滤箱12，所述蚀刻装置和废气过滤箱12均为封闭的箱体，蚀刻装置通过废气管与废气抽取 机构连接，废气抽取机构通过废气管与废气过滤箱12连接，废气过滤箱12外部还连接有排 出管14，所述排出管14的管口外露于空气中；所述废气抽取机构还连接有驱动机构，所述 废气过滤箱12内装有废气处理液13。所述废气处理液13为氢氧化钠溶液，其质量浓度为6%。所述废气抽取机构为一真空泵9，所述废气管包括废气抽出管8和废气排入管10， 所述废气抽出管8连接蚀刻装置和真空泵9，废气排入管10连接废气过滤箱12和真空泵 9，且废气排入管10的一端管口 11置于废气过滤箱12的废气处理液13内。所述驱动机构为一电机7，所述电机7与真空泵9连接。所述蚀刻装置包括传送机构2、酸槽3、碱槽4、水洗装置5和烘干装置6，所述传送 机构1、酸槽2、碱槽3、水洗装置4和烘干装置5均放置于密封的箱体1内；所述酸槽2、碱
4槽3、水洗装置4和烘干装置5依次与传送机构1连接，且均分别与废气抽出管8连通。酸槽3中装有用于蚀刻的酸性蚀刻液，酸性蚀刻液采用传统技术的溶液，如硫酸 及盐酸溶液、三氯化铁蚀刻液或酸性氯化铜蚀刻液等；碱槽4中装有用于蚀刻的碱性蚀刻 液，碱性蚀刻液采用传统技术的溶液，如碱性氯化铜溶液等；水洗装置5中装有纯水，用于 清洗蚀刻的产品；烘干装置6对蚀刻的产品进行加温烘干。蚀刻装置在蚀刻加工时排放的废气主要成分包括硫酸、盐酸、硝酸、硫氧化物等挥 发出来的酸性气体以及氨气等碱性气体。本实施例的作用过程将产品放置于传送机构2上，经传送机构2的传送，产品依 次经酸槽3、碱槽4、水洗装置5和烘干装置6进行蚀刻加工；同时，电机7启动，使得真空泵 9形成负压，从而通过废气抽出管8抽取蚀刻装置中酸槽3、碱槽4、水洗装置5和烘干装置 6加工时排放的废气；废气经废气抽出管8流经真空泵9，再由废气排入管10流入废气过滤 箱12，废气过滤箱12里的碱水对废气里的酸性气体、碱性气体等进行中和处理，并通过排 出管14排放到外面。实施例2本实施例除下述特征外其他结构同实施例1 所述废气处理液13为氢氧化钠溶 液，其质量浓度为8%。实施例3本实施例除下述特征外其他结构同实施例1 所述废气处理液13为氢氧化钠溶 液，其质量浓度为。上述各实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上 述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替 代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求一种用于蚀刻的废气处理装置，其特征在于包括蚀刻装置、废气抽取机构和废气过滤箱，所述蚀刻装置和废气过滤箱均为封闭的箱体，蚀刻装置通过废气管与废气抽取机构连接，废气抽取机构通过废气管与废气过滤箱连接，废气过滤箱外部还连接有排出管，所述排出管的管口外露于空气中；所述废气抽取机构还连接有驱动机构，所述废气过滤箱内装有废气处理液。
2.根据权利要求1所述的用于蚀刻的废气处理装置，其特征在于所述废气处理液为 碱水。
3.根据权利要求2所述的用于蚀刻的废气处理装置，其特征在于所述碱水为氢氧化 钠溶液。
4.根据权利要求1所述的用于蚀刻的废气处理装置，其特征在于所述废气抽取机构 为一真空泵，所述废气管包括废气抽出管和废气排入管，所述废气抽出管连接蚀刻装置和 真空泵，所述废气排入管连接废气过滤箱和真空泵。
5.根据权利要求4所述的用于蚀刻的废气处理装置，其特征在于所述废气排入管的 一端管口置于废气过滤箱的废气处理液内。
6.根据权利要求4所述的用于蚀刻的废气处理装置，其特征在于所述驱动机构为一 电机，所述电机与真空泵连接。
7.根据权利要求4所述的用于蚀刻的废气处理装置，其特征在于所述蚀刻装置包括 传送机构、酸槽、碱槽、水洗装置和烘干装置，所述传送机构、酸槽、碱槽、水洗装置和烘干装 置均放置于密封的箱体内；所述酸槽、碱槽、水洗装置和烘干装置依次与传送机构连接，且 均分别与所述废气抽出管连通。
专利摘要本实用新型提供了一种用于蚀刻的废气处理装置，包括蚀刻装置、废气抽取机构和废气过滤箱，所述蚀刻装置和废气过滤箱均为封闭的箱体，蚀刻装置通过废气管与废气抽取机构连接，废气抽取机构通过废气管与废气过滤箱连接，废气过滤箱外部还连接有排出管，所述排出管的管口外露于空气中；所述废气抽取机构还连接有驱动机构，所述废气过滤箱内装有废气处理液。本实用新型可对蚀刻产生的废气进行有效处理，从而保持保护周围环境空气清新，具有废气处理效果好、环境污染小、维护方便等优点。
文档编号G06F3/041GK201768485SQ20102013914
公开日2011年3月23日 申请日期2010年3月19日 优先权日2010年3月19日
发明者李林波 申请人:东莞市平波电子有限公司