技术编号:6466616
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及伴随底板再利用的溅射靶极的生产工序中使用的有效系统;具体涉及在靶极制造厂与靶极用户之间通过数据通信使各种信息的发送和接收顺利进行,使溅射靶极的生产效率能够提高的溅射靶极的生产管理系统以及用于该系统的主机和程序。如图7所示,所述溅射靶极ST是在被称为底板的基底BP上粘贴由靶极的粉状原料成形、烧结而成的靶极材料TA而构成的。并且,用于溅射后其靶极材料TA被腐蚀到贴近底板BP表面附近的溅射靶极ST可被再次利用,其方法是除去底板BP上的残留靶极材料TA,...
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