专利名称：生产管理系统及用于该系统的主机和记录媒体的制作方法
技术领域：
本发明涉及伴随底板再利用的溅射靶极的生产工序中使用的有效系统；具体涉及在靶极制造厂与靶极用户之间通过数据通信使各种信息的发送和接收顺利进行，使溅射靶极的生产效率能够提高的溅射靶极的生产管理系统以及用于该系统的主机和程序。
如图7所示，所述溅射靶极ST是在被称为底板的基底BP上粘贴由靶极的粉状原料成形、烧结而成的靶极材料TA而构成的。并且，用于溅射后其靶极材料TA被腐蚀到贴近底板BP表面附近的溅射靶极ST可被再次利用，其方法是除去底板BP上的残留靶极材料TA，然后在经再生的底板BP上粘贴新的靶极材料TA。
一般，底板采用纯铜或铜合金制成，偶尔也有用不锈钢的。
一直以来，溅射靶极是由靶极制造厂(以下简称制造厂)接受使用它的靶极用户(以下简称用户)的定单后生产的，只在用户向制造厂订货后才开始制造。并且，用户根据订购的溅射靶极的数量准备底板，发送给制造厂；制造厂根据定单制造靶极原料粉，在形成靶极材料后，在所述底板上粘贴上靶极材料，然后将制成品溅射靶极向用户发货。
另外，底板是可以反复再生利用的；用户用过的溅射靶极被送回制造厂家，在将靶极材料部分剥离后，将底板的粘贴面洗净(使底板再生)，将再生后的底板再次作为溅射靶极的基底使用。
图6(A)是表示一般的溅射靶极生产工序的说明图。
首先，将制造厂向用户供货的，比如100个制成品靶极装入用户的100台溅射装置。一般，装入装置的溅射靶极在4～5周内被完全消耗掉，用户在溅射靶极消耗掉之前或是消耗掉之后，向制造厂订购下一批溅射靶极。
接着，制造厂根据用户的定单开始准备靶极原料。在目前情况下，制造原料粉大约需要6周；成形、烧结靶极大约需要3周。在此期间，用户办理用过的溅射靶极的发送，配合制造厂所进行的靶极的成形、烧结工序，及时发送已用靶极。
将用户发送给制造厂的已用靶极的靶极材料部分剥离、洗净，使底板再生。检查再生后的底板是否可以再次利用，若可以再次利用，则粘贴上事先成形的新靶极材料，将制成的溅射靶极作为制成品发给用户。从制造厂将底板再生到粘贴上靶极主体约需2周。这样，传统的溅射靶极的生产工序中，从用户定购溅射靶极到制造厂交货至少需要约11周时间。
另一方面，检查经再生的底板，判断不可再次利用时，如图6(B)所示，要大约花费2周～1个月时间由用户或制造厂另外准备底板。即发送库存的底板备品，或是在无备品时，当时制造新的底板。这一部分产品的交货被推迟，这样从用户发出靶极定单到制造厂交货所需的时间变为约14～16周。
图5是表示制造厂的生产管理系统的系统构成的方框图。标号10指用以登记用户发来的溅射靶极定单的、例如设置在制造厂营业科等地的通信终端装置；标号20指设置在工厂各部门(生产管理科、加工/检查部门、成形部门、原料部门、物流部门等)的通信终端装置。这些通信终端装置10、20连接企业内部网服务器30以及企业内部LAN用的DNS服务器50，构成企业内部LAN。另外，在企业内部LAN上连接生产管理数据库服务器(例如SQL服务器)40，构成制造厂内的生产管理系统，利用各通信终端装置10、20可以阅读存储在SQL服务器40中的关于靶极生产管理的信息。如上所述，传统上只在制造厂内部通过电子数据发送和接收关于生产管理的信息，用户的定单处理以及让原料制造厂准备原料粉等安排均通过收发电话、FAX、信件等模拟数据方式进行。
按所述生产方法，从用户向制造厂定购溅射靶极到制造厂将作为制成品的溅射靶极发货不仅需要很长时间，而且，由于制造厂从向用户发送溅射靶极到接受下一定单期间无法有效利用制造靶极的设备，而用户从用完溅射靶极到接收下批溅射靶极期间无法有效利用溅射装置等，因此，使得供需双方的设备利用率低下，无法提高生产效率。
另外，也有这样的情况由于底板是否适合再次利用的判断，是在从用户发送的已用靶极中将底板再生并进行检查之后才做出的，因此在不将靶极材料部分从底板剥离就无法见到的翘曲、粘贴面缺陷等不良底板被发现的场合，处理周期就会很长，从而使交货日期推迟。
再有，用户预先备有多批靶极，在第一批靶极用完后再装入第二批靶极，与此同时将用过的第一批靶极发送给制造厂并重新定购靶极；在第二批靶极用完后装入第三批靶极，与此同时将用过的第二批靶极发送给制造厂并重新定购靶极。像这样，为依次向溅射装置中装入靶极而准备多批靶极，是可以有效利用溅射装置，但是在这种情况下用户始终要备有数量至少三倍于溅射装置台数的底板，并需将它们反复再生使用，如此就产生了制作大量底板的费用和管理运用成本增大的问题。
本发明的目的在于提供一种可使用户高效率利用溅射装置的、又能使制造厂大大缩短溅射靶极的交货日期的溅射靶极的生产管理系统与用于该系统的主机以及记录有生产管理系统用程序的媒体。
发明的公开为达成所述目的，本发明的溅射靶极生产管理系统中设有多个用以定购以溅射法使规定对象物上形成薄膜时使用的溅射靶极的用户侧通信终端装置，根据用户的定单生产溅射靶极的制造厂侧通信终端装置，以及管理全部系统的主机，它们各自经由规定的通信线路连接。所述主机包括存储部分和用户识别信息确认部分，其存储部分至少存有为识别所述多个用户而设的用户识别信息；为识别作为所述溅射靶极基底使用的、可以粘贴规定靶极材料的底板而设的识别信息；登记再生使用历史的历史信息，其中包括每个底板作为溅射靶极使用的次数以及当时粘贴上的靶极材料的质地、品种的种类和先前再生加工时底板和靶极材料粘贴面上的缺陷、翘曲等判定结果等；其用户识别信息确认部分对照所述用户识别信息，判断是否为满足规定条件的用户。所述用户侧信息终端装置，在根据所述用户识别信息确认功能，确认了所述用户是满足规定条件的用户时，可以访问存储在所述主机中的信息。所述历史信息，在底板作为溅射靶极被反复再生、加工时，根据从所述制造厂侧通信终端装置上输入的信息加以更新。
由此，用户可以根据底板的历史信息得知现有的底板还可以用多久。因此，由于用户在定购下批靶极时，在已用靶极中只挑选出可再次利用的底板发送，另一方面对不能再次利用的底板则事先准备替代的底板，因此，制造厂在从已用靶极中将底板再生，并进行检查时，发现不能再次利用的底板的可能性降低，不用担心由于要重新置备底板造成交货日期延长。
同时，所述存储部分中存储着表示所述制造厂接受用户定购后生产溅射靶极的状况的靶极生产信息。所述靶极生产信息，根据从所述制造厂侧通信终端装置输入的信息，每当生产工序转移到下一工序时被更新。
由此，由于用户能够实时确认定购靶极的生产状况，可以安心地等待成品靶极的交货。并且，在底板再次利用的判断中发现存在不能再次利用的底板时，只要在制造厂处的靶极成形工序结束前另外准备的底板就可以了，因此，可以根据制造厂的生产状况时间充分地进行准备。
另外，所述存储部分中存有靶极使用信息，它表示所述用户接受由所述制造厂交付的溅射靶极，装入溅射装置并已经开始使用。所述靶极使用信息，每当溅射靶极开始使用时，根据从所述用户侧通信终端装置输入的信息被更新。
由此，由于制造厂能够预测下批的定单，可以事先准备原料、制造原料粉等，以缩短交货日期。作为靶极使用信息，例如有装入溅射装置的日期、预计用完的日期以及用于靶极的底板的识别信息等。
并且，所述制造厂的通信终端装置由放置在与溅射靶极的生产相关的各个部门的多个通信终端装置构成，且最好经由各通信终端装置通过局域网等通信手段连接到所述主机。
并且，还设有防止无访问权的用户的通信终端装置非法访问所述主机的非法访问防止机构、机能。由此，可防止只有用户与制造厂可共享的信息被第三者非法访问，实现安全管理。
并且，所述主机上还可设有根据所述历史信息判断底板是否适合再次利用的再生判定部分。另外，也可在存储部分中预先存有用以根据所述历史信息来判断底板是否适合再次利用的程序，而在例如被要求进行关于再次利用的判断时执行该程序。
在用户侧也可以通过历史信息判断用于下批靶极的底板能否再次利用，制造厂也可以通过确认，而不必再接收无法再次利用的底板。同时，由于通过再利用判断机能可以自动判断底板是否适合再次利用，因此可以更准确地避免接收不能再次利用的底板。
另外，在自动判断底板是否适合再次利用时，对一直以来使用的底板，其使用次数、所粘贴靶极的种类，对底板与靶极材料的粘贴面的判断结果，以及与底板是否适合再次利用之间的关系都存入数据库，利用该数据库可以更准确地判断底板是否适合再次利用。
再有，还设有根据预约定购信息制定生产计划的生产计划制定部分；预约定购信息包括由所述用户发送的用于下批溅射靶极的靶极原料的种类和使用的底板的识别信息。将制定的生产计划存储在所述主机的存储部分中，同时向制造厂的通信终端装置发送。具体地说，也可以将用以根据所述预约定购信息制定溅射靶极生产计划的程序存储在存储部分中，例如在用户向溅射装置装入靶极后，一经发送预约定购信息后就立即执行该程序。
由此，由于一接受用户的预约定购，生产计划立即被发送到制造厂的各部门(例如生产管理科、加工/检查部门、成形部门、原料部门等)，各部门因此可以提前做好与靶极生产相关的准备，可以顺利生产靶极。再有，制定的生产计划也可以由各部门负责人进行调整。
图2是利用本发明的生产管理系统的生产工序的说明图。
图3是存储在本发明的生产管理系统的存储装置中的数据图的一个构成例。
图4是表示在本发明的生产管理系统中的信息流和物流的说明图。
图5是传统制造厂内部的生产管理系统。
图6是传统的靶极生产工序的说明图。
图7是溅射靶极简图。
发明的最佳实施例下面，根据附图对适合本发明的实施例进行说明。在本实施例中，制造厂的通信终端装置通过企业内LAN连接在主机上，用户的通信终端装置经由电话线接通的因特网连接到主机上，信息的发送与接收用一般的网络浏览器以主页的形式进行。
图1是表示与本发明相关的生产管理系统构成的方框图。图中，虚线100所围部分是利用企业内LAN等通信网络构成的制造厂内部的生产管理系统，与图5的构成相同。标号10是用以登记用户的靶极定单的、例如设置在总公司营业部等地的通信终端装置。标号20是设置在工厂各部门(生产管理科、加工/检查部门、成形部门、原料部门、物流部门、物资材料等)的通信终端装置。另外，通信终端装置10、20也可采用普通的个人计算机。
标号30指企业内部网服务器，标号40指存储与生产管理有关的信息(BP历史信息等)的生产管理数据库服务器(例如SQL服务器)，标号50指企业内部LAN用的DNS服务器。各个通信终端装置10、20与它们的服务器30、40、50通过LAN用电缆等连接起来，组成制造厂内部的生产管理系统100(企业内LAN)。
标号60指具有防止外部人员非法访问机能的计算机(即所谓的防火墙)，标号70指向制造厂和用户提供生产管理信息的用户用因特网服务器，该用户用因特网服务器70作为本发明的主机。该用户用因特网服务器70中至少设有磁盘等存储装置和CPU。所述磁盘等存储装置用来存储用户的识别信息(用户ID和密码)、底板的识别信息、底板的历史信息及实现本实施例的生产管理系统的生产管理用程序；所述CPU用来执行所述生产管理用程序，将各种信息以主页形式在显示器上显示，或是通过用户识别信息判断是否为正式用户。再有，作为存储媒体可为多种类型，可以采用由磁、光、光磁存储媒体或半导体存储器构成的固定存储装置，或采用可自由装拆的存储装置。
另外，在本实施例中，设置专用的计算机构成防火墙60，但也可以装入具备防止第三者非法访问主机之功能的软件、固件来构成防火墙。
制造厂内部的生产管理系统100及用户用因特网服务器70是通过防火墙60连接到因特网上的，可防止外部人员非法访问，从而提高安全性。
另一方面，用户的通信终端装置80是通过因特网服务器90连接到因特网上的普通的个人计算机，通过防火墙60连接到制造厂提供的用户用因特网服务器70上。
同时，用户在连接上用户用因特网服务器70后，要访问与本公司的溅射靶极相关的信息时，要输入用户识别信息(用户ID、密码)，输入的用户识别信息经核对确认是正式用户后，信息才被提供。此时，由于用户ID、密码的发送和接收是将公用密钥与加密密钥组合来实现保密的，可以进一步提高安全性。
一旦被确认为正式用户，便可获得与发送给用户的溅射靶极相关的靶极使用信息(包括靶极识别序号、开始使用日期等)、表示用户定购的下批靶极的生产状况等靶极生产信息以及用户拥有的底板信息等。由于对这些信息实行保密化后再发送或接收，可防止被因特网上的第三者看到。
这样，本实施例中的生产管理系统，是将制造厂的通信终端装置10、20及用户的通信终端装置80连接到用户用因特网服务器70(主机)上构成的。同时，用户用因特网服务器70中存储着与生产管理相关的各种信息，从制造厂的通信终端装置10、20及用户的通信终端装置80上，可以以主页的形式阅读这些生产管理信息，也可以根据信息内容进行写入(更新)。
例如，用户用因特网服务器70中存储的生产管理信息，包括用户识别信息、靶极使用信息、靶极生产信息、底板(BP)信息、底板(BP)再次利用的判断结果等。其中，用户识别信息、BP信息、靶极生产信息、BP再次利用的判断结果由制造厂的通信终端装置进行更新，靶极使用信息由用户的通信终端装置进行更新。
再有，也可以采用这样的结构，也就是将所述生产管理系统信息存储在生产管理数据库服务器40中，必要时，用户用因特网服务器70可从生产管理数据库服务器40中提取生产管理信息。
下面，根据图2～图4，对从用户装入溅射靶极(开始使用靶极)后，到接收下批溅射靶极的流程进行说明。图2是表示利用本发明的生产管理系统实现靶极生产工序的说明图，图3是存储在用户用因特网服务器70或生产管理数据库服务器40中的数据图的构成例。同时，图4是表示本发明的生产管理系统中信息流和物流(底板、靶极等)的简图，虚线表示信息流，实线表示物流。
首先，将来自制造厂的底板由用户80装入底板装置中。这些溅射靶极上附有制成品序号等识别信息，另外，用于靶极的底板上也刻印有识别序号，可以识别哪个底板被用于哪个溅射靶极。这些信息以例如图3(A)所示的形式存储在用户用因特网服务器70或生产管理数据库服务器40中。
用户80在向溅射装置中装入溅射靶极的同时，在用户用因特网服务器70中登记(装入通知)开始使用装入的溅射靶极的日期及预计用完的日期。并且，根据用户的登记信息来更新图3(A)的靶极使用信息数据库。此时，用户侧通信终端装置80通过防火墙60连接到用户用因特网服务器上。而且，在访问与本公司的溅射靶极相关的信息时，要求输入用户识别信息(用户ID、密码)，输入的用户识别信息经核对确认为是正式用户后，信息才被提供，同时可进行溅射靶极开始使用日期等信息的登录。
由此，制造厂可以把握当前用户装入的溅射靶极用完的时间，可以开始准备下批的靶极原料粉等。
另外，伴随着用户的装入通知，制造厂判断用于装入的溅射靶极上使用的底板可否再次利用，将判断结果用如○、△、×等符号登记在靶极使用信息(图3(A))的判断栏中。
具体的说，在图4中，生产管理科①27根据生产管理数据库服务器40中存储的BP信息，判断装入的溅射靶极中使用的底板可否再次利用。并且，生产管理科①27登记是否适合再生的判断结果，更新生产管理数据库服务器40内部的靶极使用信息数据库的信息。
在此，BP信息由可以识别各个底板的BP识别信息、表示它们被怎样使用的BP历史信息组成；具体地说，表示用图3(C)所示的形式存储的信息。在本实施例中，对应各个底板(BP识别信息)存储BP历史信息(使用次数)(图3(C)左侧)，并且将详细的BP历史信息存储在各个底板上(图3(C)右侧)。另外，BP历史信息的内容包括例如靶极的种类、使用次数、与底板材料的粘贴面上的缺陷及翘曲、上次的关于再利用是否适合的判断等。
同时，本实施例中，伴随着用户的溅射靶极的装入通知，判断装入的溅射靶极所用的底板是否适合再次利用，也可以在例如制造厂生产溅射靶极时，判断用于该溅射靶极的底板能否再次利用。另外，也可以在用户用因特网服务器上，存储根据BP信息进行底板再次利用判断的程序，以实现自动判断。
由此，用户通过访问用户用因特网服务器70，阅读靶极使用信息，便可获知哪个溅射靶极上使用的底板能再次利用。
一般，由于经2周到1个月准备就可以拿到底板，如果用户根据判断结果马上准备底板，在制造厂制造原料粉以及成形、烧结靶极的大约9周时间内，可以准备其它的底板。
另外，关于底板是否适合再次利用的判断结果，被从生产管理数据库服务器40经由例如总公司营业部10发送到用户，这样用户就可以迅速得知底板再次利用的判断结果，同时可迅速准备新的底板。
并且，本实施例中，在装入通知被发送的同时，用户80将预约定购信息(靶极的种类、数量、交货日期等)发送到用户用因特网服务器70中，根据发送的信息，存储在生产管理数据库中的信息被更新。特别是在下批生产的靶极的种类与此次溅射靶极中使用的靶极不同时，由于用户将靶极种类、品种等预约定购信息通知了制造厂，就不会出现错误准备原料粉的情况。
所述预约定购信息一被发送到用户用因特网服务器，此预约定购信息就会通过生产管理数据库服务器40被发送到制造厂地生产管理科②26的通信终端装置中。生产管理科②26根据此预约定购信息，制定靶极生产计划，向各个部门的通信终端装置发送生产计划。
再有，也可以在用户用因特网服务器70中根据预约定购信息自动地制定生产计划。此时，用户用因特网服务器70制定的生产计划发送到制造厂的各个通信终端装置后，可由各个部门的负责人进行修改。因此，各个部门可以提前做好与溅射靶极生产相关的准备，可以使溅射靶极的生产顺利进行。
根据所述靶极生产计划，制造厂开始制造下批溅射靶极所使用的原料粉。
具体地说，首先，根据生产管理数据库服务器40发送的生产计划，在物资材料部门21向原料制造厂110发出制造靶极原料的定单的同时，在生产管理数据库服务器40中登记靶极原料的定购完毕的情况。另外，物资材料21与原料制造厂110之间的往来也可以通过电话等模拟数据进行。
接下来，靶极原料在原料制造厂110制造出来后，物流部门①22在领取制造的靶极原料的同时，在生产管理数据库服务器40中登记原料粉已经领取的情况。
并且，领取的靶极原料被提供给原料部门23，原料部门23在利用靶极原料制造原料粉的同时，在生产管理数据库服务器40中登记原料粉的生产状况。
制造的原料粉被提供给成形部门24，成形部门24在成形、烧结原料粉而制作成形板的同时，在生产管理数据库服务器40中登记成形板的生产状况。并且，将制造的靶极成形板提供给加工/检查部门25。
这样，制造厂在进行溅射靶极的生产的过程中，根据每次在生产工序转换时，由各个部门的通信终端装置21～24登记的信息，更新生产管理数据库服务器40的靶极生产信息。用户通过连接到用户用因特网服务器70上，可以实时掌握例如图3(B)所示的靶极生产信息。由此，用户可以知道当前靶极生产处在哪一过程中(图中为原料粉制造过程)，何时能结束该过程等信息。
并且，在开始准备将下批溅射靶极的底板所用的用过靶极发送给制造厂的同时；发现有不能再次利用的底板时，准备另外的底板，使得在靶极成形工序之后，能够不停滞地转换到靶极粘贴工序，从而推进生产作业。
一般，由于装入溅射装置的溅射靶极经4～5周就被完全消耗掉，所以在装入的溅射靶极被消耗掉之前或是被消耗掉之后，将正式向制造厂的例如总公司的营业部10定购下批的溅射靶极。
如上所述，由于制造厂根据用户的预约定购信息已经开始制造原料粉，所以可在接受用户的正式定单后约2周内结束靶极原料粉的制造，并在其后约3周时间内进行靶极的成形、烧结。
此间，用户对已用靶极进行发送处理，配合制造厂进行的靶极成形、烧结，发送已用靶极。由用户发送的已用靶极，如图4所示，由物流部门②28领取。并且，物流部门②28在生产管理数据库服务器40上登记领取已用靶极，同时将领取的已用靶极提供给加工/检查部门25。
另外，在已用靶极所用的底板中发现有不能再次利用的时，用户请求制造厂例如总公司营业部10准备新的底板，由制造厂制造或是准备新的底板提供给加工/检查部门25。或者，也可以由用户准备新的底板发送给制造厂。
并且，在加工/检查部门25处，从由物流部门②28提供的已用靶极中，将靶极部分剥离、洗净后，对底板进行再生加工，并检查是否可以再次利用。加工/检查部门25在将检查完毕的情况登记在生产管理数据库服务器40中，同时将可以再次利用的底板提供给粘贴工序。另外，由于由用户80发送的已用靶极上所用的底板，事先利用BP历史信息已被判断可再次利用，因此，在此检查中，判断出再生的底板不能再次使用的情况非常少，因不必重新准备底板，所以可按照生产计划发送制成的靶极。
并且，在加工/检查部门25处，在再生的底板或是新准备的底板上粘贴(粘合)上靶极的成形板，制造作为成品的溅射靶极。如图2所示，该底板与靶极成形板的粘贴工序需要大约2周。
并且，物流部门③29在向用户发送作为制成品的溅射靶极的同时，在生产管理数据库服务器40中登记已发送完毕的情况。
这样，每当制造厂的生产工序转移时，都详细更新存储在生产管理数据库服务器40中的生产管理信息，由此，用户可以把握定购的溅射靶极的生产状况，有计划地进行溅射装置的检查、准备等工作。
以上结合实施例就本发明作了具体说明，但本发明并不仅限于所述实施例。例如，用户侧通信终端装置与制造厂侧主机，不仅可以通过利用一般公共电话线等的因特网连接起来，也可以用生产管理系统专用线连接起来。
并且，也可以在溅射靶极及底板上附加如磁性ID、条形码等识别信息，通过专用装置将所述识别信息自动读取。
也就是说，可以在用户装入溅射装置之前，通过所述读取专用装置将使用的溅射靶极的识别信息读取出来，也可以使靶极的装入通知与所述溅射靶极的识别信息自动发送给主机。或者，在溅射装置主体上设置这样的功能在装入时自动读取靶极识别信息，然后将装入通知信息发送给规定的计算机。
另一方面，也可以在制造厂生产溅射靶极后，用读取专用装置将用于溅射靶极的底板的识别信息读取出来，自动地更新和读取的识别信息对应的BP历史信息。同样，也可以在生产工序转换到下一个工序前，用所述读取专用装置将底板识别信息读取出来，从而使得使用该底板的靶极生产信息自动更新。
工业利用的可能性本发明涉及利用伴随底板再利用的溅射靶极的生产工序的有效生产管理系统，但本发明也可适用于用户使用后由制造厂再生后再次利用的制成品的生产管理系统；在用户与制造厂之间通过共享各种信息使生产效率得以提高。
权利要求
1.一种溅射靶极生产管理系统，至少包括经由预定通信线路连接起来的如下各部分多个用以定购在通过溅射法在预定对象物上形成薄膜时使用的溅射靶极的靶极用户侧的通信终端装置，按照靶极用户的定单生产溅射靶极的靶极制造厂侧的通信终端装置，以及管理整个系统的主机；其特征在于所述主机包括至少存储如下信息的存储装置用以识别所述多个靶极用户的用户识别信息，用以识别各种作为所述溅射靶极的基底使用的、能够粘贴上预定靶极材料的底板的识别信息；登记了包含各底板作为溅射靶极使用的次数及当时粘贴的靶极材料的质地、种类等使用历史的历史信息；对照所述用户识别信息以判断是否为满足预定条件的用户的用户识别信息确认装置；所述靶极用户侧通信终端装置，在根据所述用户识别信息确认装置确认所述用户是满足预定条件的用户时，使访问所述主机中所存信息成为可能；在底板作为溅射靶极被反复再生、加工时，根据所述靶极制造厂的通信终端装置输入的信息更新补充所述历史信息。
2.如权利要求1所述的溅射靶极生产管理系统，其特征在于所述存储装置中存有表示包含所述靶极制造厂接受用户订购的溅射靶极底板的再生加工或准备重新制造等内容的生产状况的靶极生产信息；每当生产工序向下一工序转移时，根据由靶极制造厂的通信终端装置输入的信息更新所述靶极生产信息。
3.如权利要求1或权利要求2中任一项所述的溅射靶极生产管理系统，其特征在于所述存储装置中存有表示所述靶极制造厂提供的溅射靶极在所述靶极用户处的使用状况的靶极使用信息；每当溅射靶极装入溅射装置开始使用时，根据由靶极用户侧通信终端装置输入的信息更新所述靶极使用信息。
4.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的溅射靶极生产管理系统，其特征在于所述靶极制造厂的通信终端装置由在每个与溅射靶极的生产相关的部门中设置的多个通信终端装置组成，各通信终端装置通过局域网等通信手段连接到所述主机。
5.如权利要求1至权利要求4中任一项所述的溅射靶极生产管理系统，其特征在于设有用以防止无访问权的靶极用户的通信终端装置非法访问所述主机的非法访问防止机构与功能。
6.一种用于溅射靶极生产管理系统的主机，该主机管理经由预定通信线路连接而成的整个系统，其中设有多个用以定购在通过溅射法在预定对象物上形成薄膜时使用的溅射靶极的靶极用户侧的通信终端装置，以及按照靶极用户的定单生产溅射靶极的靶极制造厂侧的通信终端装置；其特征在于设有至少存有如下信息的存储装置用以识别所述多个靶极用户的用户识别信息，用以识别各种作为所述溅射靶极的基底使用的、能够粘贴上预定靶极材料的底板的识别信息，以及登记了包含各底板作为溅射靶极使用的次数及当时粘贴的靶极材料的质地、种类等使用历史的历史信息；对照所述用户识别信息判断是否为满足预定条件的用户的用户识别信息认证装置；所述靶极用户侧通信终端装置，在根据所述用户识别信息确认装置确认所述用户是满足预定条件的用户时，使访问存储在所述主机中的信息成为可能；在底板作为溅射靶极被反复再生、加工时，根据所述靶极制造厂的通信终端装置输入的信息更新所述历史信息。
7.如权利要求6所述的用于溅射靶极生产管理系统的主机，其特征在于设有根据所述历史信息，判断底板是否适合再次利用的再生判断功能。
8.如权利要求6或权利要求7所述的用于溅射靶极生产管理系统的主机，其特征在于设有根据包含由所述靶极用户发送的下批溅射靶极用的靶极材料的质地、种类及再生使用的底板的识别信息的预约定购信息，制定溅射靶极生产计划的生产计划制定功能；所制订的生产计划被存入所述存储装置，同时发送给靶极制造厂的通信终端装置。
9.一种用于记录溅射靶极生产管理系统用程序的媒体，该媒体记录了在管理经由预定通信线路连接而成的整个系统的主机上运行的程序，该系统中设有多个用以定购在通过溅射法在预定对象物上形成薄膜时使用的溅射靶极的靶极用户侧的通信终端装置，以及按照靶极用户的定单生产溅射靶极的靶极制造厂侧的通信终端装置；所记录的程序包括如下功能对至少包含如下信息的生产管理信息进行管理的管理功能用以识别所述多个靶极用户的用户识别信息，用以识别各种作为所述溅射靶极的基底使用的、能够粘贴上预定靶极材料的底板的识别信息，以及登记了包含各底板作为溅射靶极使用的次数以及当时粘贴的靶极材料的质地、种类等使用历史的历史信息；由所述用户识别信息认证机构与功能确认所述用户是满足预定条件的用户时，允许访问所述主机中所存信息的功能；支持从所述靶极制造厂或靶极用户的通信终端装置输入所述生产管理信息的功能；以及使得在所述通信终端装置上阅读所述主机中所存的生产管理信息和所述输入的生产管理信息成为可能的功能。
10.一种溅射靶极生产管理系统用程序，该程序在管理经由预定通信线路连接而成的整个系统的主机上运行，该系统中设有多个用以定购在通过溅射法在预定对象物上形成薄膜时使用的溅射靶极的靶极用户侧的通信终端装置，以及按照靶极用户的定单生产溅射靶极的靶极制造厂侧的通信终端装置；所述程序包括如下功能对至少包含如下信息的生产管理信息进行管理的管理功能用以识别所述多个靶极用户的用户识别信息，用以识别各种作为所述溅射靶极的基底使用的、能够粘贴上预定靶极材料的底板的识别信息，以及登记了包含各底板作为溅射靶极使用的次数以及当时粘贴的靶极材料的质地、种类等使用历史的历史信息；由所述用户识别信息认证机构与功能确认所述用户是满足预定条件的用户时，允许访问所述主机中所存信息的功能；支持从所述靶极制造厂或靶极用户的通信终端装置输入所述生产管理信息的功能；以及使得在所述通信终端装置上阅读所述主机中所存的生产管理信息和所述输入的生产管理信息成为可能的功能。
全文摘要
在靶极制造厂与靶极用户之间构筑利用计算机网络的溅射靶极的生产管理系统，共享底板的历史信息、溅射靶极的生产信息、溅射靶极的使用信息等有关生产管理的各种信息。
文档编号G06Q50/00GK1416553SQ01806352
公开日2003年5月7日 申请日期2001年9月13日 优先权日2000年11月16日
发明者中岛光一, 矢岛则行, 绵谷健一 申请人:株式会社日矿材料