技术编号：6477366
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一般而言，本发明关于电子器件的制造方法及系统，尤其关于组装及操作 这种系统的方法与设备。背景技术电子器件制造系统(诸如工艺工具及治理工具等等)可以是子系统或组件 的复杂组合，且每个组件本身可以是复杂系统。通常，电子器件制造系统的组 装可能非常耗时。此外，在投入使用之前，必须单独测试组装系统及众多子系 统，以决定每个系统是否符合行业标准。该认证过程增加了交付电子器件制造 系统所需的时间量。此外，这种系统所生产的产品价格昂贵。当系统由于该系统或支撑子系统 的组...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。