技术编号:6477366
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一般而言,本发明关于电子器件的制造方法及系统,尤其关于组装及操作 这种系统的方法与设备。背景技术电子器件制造系统(诸如工艺工具及治理工具等等)可以是子系统或组件 的复杂组合,且每个组件本身可以是复杂系统。通常,电子器件制造系统的组 装可能非常耗时。此外,在投入使用之前,必须单独测试组装系统及众多子系 统,以决定每个系统是否符合行业标准。该认证过程增加了交付电子器件制造 系统所需的时间量。此外,这种系统所生产的产品价格昂贵。当系统由于该系统或支撑子系统 的组...
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