技术编号：6490653
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种晶圆测试数据处理方法及其系统，该方法包括S1、机台对晶圆依次进行测试，获取类文本格式测试数据；S2、提取类文本格式测试数据，并转换成XML格式测试数据；S3、将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。本发明通过将系统得到的类文本测试数据进行数据整理和分类，转换成叠加嵌套的XML格式测试数据，可以实现多个信息进行分离提取，适用于国际化的工厂需求，无需在存储其它格式的数据，同时，XML格式数据的架构设计，格式保持一致，处理效率高，可使用于其它...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。