晶圆测试数据处理方法及其系统的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种晶圆测试数据处理方法及其系统，该方法包括：S1、机台对晶圆依次进行测试，获取类文本格式测试数据；S2、提取类文本格式测试数据，并转换成XML格式测试数据；S3、将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。本发明通过将系统得到的类文本测试数据进行数据整理和分类，转换成叠加嵌套的XML格式测试数据，可以实现多个信息进行分离提取，适用于国际化的工厂需求，无需在存储其它格式的数据，同时，XML格式数据的架构设计，格式保持一致，处理效率高，可使用于其它的系统和工具，数据分析更加的便利，更符合厂内生产需求及未来测试的可扩展性。
【专利说明】晶圆测试数据处理方法及其系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体测试【技术领域】，特别是涉及一种晶圆测试数据处理方法及其系统。
【背景技术】
[0002]现有技术中的晶圆测试数据是一行一行逐行进行排列的，只需要采用文本读取方式对下面格式来进行顺序的读取并存储数据。目前对数据的读取仅限在Lucent测试系统上，WINDOWS系统尚无高效的读取方式，数据量大时，读取很慢。就当前情形，对数据分析非常不利。现有的技术可以对上述的格式进行数据的读取，但是特殊格式还不能实现，所以改变现状刻不容缓。类文本格式的数据是由UNIX环境Lucent测试系统在测试时自动生成的，也是测试系统自带的功能，并不能满足日益增长的多系统多数据源共享的需要。
[0003]可扩展标记语言(Extensible Markup Language,XML),用于标记电子文件使其具有结构性的标记语言，可以用来标记数据、定义数据类型，是一种允许用户对自己的标记语言进行定义的源语言，XML是标准通用标记语言(SGML)的子集，非常适合Web传输，且XML可以提供统一的方法来描述和交换独立于应用程序或供应商的结构化数据。
[0004]因此，针对上述技术问题，有必要提供一种晶圆测试数据处理方法及其系统。
【发明内容】
[0005]有鉴于此，本发明的目的在于提供一种晶圆测试数据处理方法及其系统，其可以实现测试数据的格式转换。
[0006]为了实现上述目的，本发明实施例提供的技术方案如下:
[0007]—种晶圆测试数据处理方法，所述方法包括以下步骤:
[0008]S1、机台对晶圆依次进行测试，获取类文本格式测试数据；
[0009]S2、提取类文本格式测试数据，并转换成XML格式测试数据；
[0010]S3、将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。
[0011 ] 作为本发明的进一步改进，所述步骤S2中的XML格式测试数据包括测试得到类文本格式测试数据中的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
[0012]作为本发明的进一步改进，所述步骤S2具体为:
[0013]S21、提取类文本格式测试数据中的文档信息；
[0014]S22、提取类文本格式测试数据中的LOT信息，并嵌套在文档信息节点下；
[0015]S23、提取类文本格式测试数据中的WAFER信息，并嵌套在LOT信息节点下；
[0016]S24、提取类文本格式测试数据中的SITE信息，并嵌套在WAFER信息节点下；
[0017]S25、提取类文本格式测试数据中的测试数值，并嵌套在SITE信息节点下。
[0018]作为本发明的进一步改进，所述LOT信息包括批号信息，产品名信息，量测时间信息，厂名信息，规范文件信息，工艺名信息，设备名信息，操作人员信息；所述WAFER信息包括片数信息，点数信息，参数数目信息，开始时间信息，结束时间信息，测试时间信息，合格片信息，失效项号信息；所述SITE信息包括点号信息,点状态，X坐标信息，Y坐标信息。
[0019]作为本发明的进一步改进，所述步骤S2还包括:
[0020]忽略类文本格式测试数据中的无关信息，所述无关信息包括存储路径、数据上下限。
[0021]作为本发明的进一步改进，所述步骤S3中存储的XML格式测试数据包括用于备份的数据、用于系统内使用的数据和用于系统外使用的数据。
[0022]相应地，一种晶圆测试数据处理系统，所述系统包括:
[0023]测试模块，用于对晶圆依次进行测试，获取类文本格式测试数据；
[0024]转换模块，用于将提取类文本格式测试数据转换成XML格式测试数据；
[0025]存储模块，用于将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。
[0026]作为本发明的进一步改进，所述转换模块中获得的XML格式测试数据包括测试模块中类文本测试数据的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
[0027]作为本发明的进一步改进，所述转换模块中获得的XML格式测试数据包括:
[0028]文档信息；
[0029]嵌套在文档信息节点下的LOT信息；
[0030]嵌套在LOT信息节点下的WAFER信息；
[0031 ] 嵌套在WAFER信息节点下的SITE信息；
[0032]嵌套在SITE信息节点下的测试数值。
[0033]作为本发明的进一步改进，所述LOT信息包括批号信息，产品名信息，量测时间信息，厂名信息，规范文件信息，工艺名信息，设备名信息，操作人员信息；所述WAFER信息包括片数信息，点数信息，参数数目信息，开始时间信息，结束时间信息，测试时间信息，合格片信息，失效项号信息；所述SITE信息包括点号信息,点状态，X坐标信息，Y坐标信息。
[0034]本发明的有益效果是:本发明通过将系统得到的类文本测试数据进行数据整理和分类，转换成叠加嵌套的XML格式测试数据，可以实现多个信息进行分离提取，适用于国际化的工厂需求，无需在存储其它格式的数据，同时，XML格式数据的架构设计，格式保持一致，处理效率高，可使用于其它的系统和工具，数据分析更加的便利，更符合厂内生产需求及未来测试的可扩展性。
【专利附图】
【附图说明】
[0035]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0036]图1为本发明一实施方式中晶圆测试数据处理方法的具体流程图；
[0037]图2为本发明一实施方式中转换后的XML格式测试数据示意图；
[0038]图3为本发明一实施方式中晶圆测试数据处理系统的模块示意图。
【具体实施方式】
[0039]为了使本【技术领域】的人员更好地理解本发明中的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
[0040]参图1所示，本发明的一种晶圆测试数据处理方法，包括以下步骤:
[0041]S1、机台对晶圆依次进行测试，获取类文本格式测试数据:
[0042]参下述表1所示为本发明一实施方式中获取的类文本格式测试数据，类文本格式数据信量非常大，包括CODE、LOT、片数、机台、存储路径、温度、工艺大类、操作员名、SPEC上下限、每点值等信息，但是这些信息混合在一起，当需要处理测试数据中某一数据时，需要从整个类文本格式测试数据中进行搜索，提取出对应的数据，由于测试数据信息非常大，所以数据处理效率非常低。
[0043]表1:类文本格式测试数据
[0044]
【权利要求】
1.一种晶圆测试数据处理方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤: 51、机台对晶圆依次进行测试，获取类文本格式测试数据； 52、提取类文本格式测试数据，并转换成XML格式测试数据； 53、将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2中的XML格式测试数据包括测试得到类文本格式测试数据中的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述步骤S2具体为: 521、提取类文本格式测试数据中的文档信息； 522、提取类文本格式测试数据中的LOT信息，并嵌套在文档信息节点下； 523、提取类文本格式测试数据中的WAFER信息，并嵌套在LOT信息节点下； 524、提取类文本格式测试数据中的SITE信息，并嵌套在WAFER信息节点下； 525、提取类文本格式测试数据中的测试数值，并嵌套在SITE信息节点下。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述LOT信息包括批号信息，产品名信息，量测时间信息，厂名信息，规范文件信息，工艺名信息，设备名信息，操作人员信息；所述WAFER信息包括片数信息,点数信息，参数数目信息，开始时间信息，结束时间信息，测试时间信息，合格片信息，失效项号信息；所述SITE信息包括点号信息,点状态，X坐标信息，Y坐标信息。
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述步骤S2还包括: 忽略类文本格式测试数据中的无关信息，所述无关信息包括存储路径、数据上下限。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S3中存储的XML格式测试数据包括用于备份的数据、用于系统内使用的数据和用于系统外使用的数据。
7.—种如权利要求1所述的晶圆测试数据处理系统，其特征在于，所述系统包括: 测试模块，用于对晶圆依次进行测试，获取类文本格式测试数据； 转换模块，用于将提取类文本格式测试数据转换成XML格式测试数据； 存储模块，用于将转换后的XML格式测试数据进行多地址存储。
8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述转换模块中获得的XML格式测试数据包括测试模块中类文本测试数据的LOT信息、WAFER信息和SITE信息。
9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述转换模块中获得的XML格式测试数据包括: 文档信息； 嵌套在文档信息节点下的LOT信息； 嵌套在LOT信息节点下的WAFER信息； 嵌套在WAFER信息节点下的SITE信息； 嵌套在SITE信息节点下的测试数值。
10.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述LOT信息包括批号信息，产品名信息，量测时间信息，厂名信息，规范文件信息，工艺名信息，设备名信息，操作人员信息；所述WAFER信息包括片数信息，点数信息，参数数目信息，开始时间信息，结束时间信息，测试时间信息，合格片信息，失效项号信息；所述SITE信息包括点号信息,点状态，X坐标信息，Y坐标信息。
【文档编号】G06F17/30GK103793437SQ201210433640
【公开日】2014年5月14日 申请日期:2012年11月1日 优先权日:2012年11月1日
【发明者】许文慧, 连晓谦 申请人:无锡华润上华科技有限公司