自动扩展缺陷图形库的方法技术资料下载

技术编号:6537332

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本发明提供了一种,包括第一步骤,用于准备表示原始缺陷图形的缺陷图形原始数据;第二步骤,用于通过使得所述原始缺陷图形的一部分相对于所述原始缺陷图形的剩余部分移动,和/或通过使得所述原始缺陷图形的至少一部分的关键尺寸变化,对所述原始缺陷图形的关键尺寸进行分批演变,由此自动生成虚拟缺陷图形数据库;第三步骤,用于对虚拟缺陷图形进行工艺偏差模拟,并根据工艺偏差模拟的结果筛选出新的缺陷图形;第四步骤,用于将新的缺陷图形添加到缺陷图形库以形成新的缺陷图形数据,由此使缺陷...
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