技术编号：6578926
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术，具体地说，涉及光学微缩技术节点中的集成电路 设计。背景技术半导体制造服务机构(例如，代工厂)提供标准技术节点的光学(或者光 刻)微缩工艺，所谓的"半节点"工艺。光学微缩技术节点("半节点")工艺可包括具有在国际半导体技术路线图(International Technology Roadmap for Semiconductors)上的技术节点之间尺寸的工艺。典型光学微缩工艺的例子包 括40, 55， 80，和110纳米节点工艺，然而任...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。