技术编号:6747134
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体存储装置,特别是关于具备有用于补救不良存储单元的冗余存储单元且分割字线的分割字方式的半导体存储装置。半导体存储装置的扩散工序虽然是在洁净环境下进行的,但还会因为微米量级的灰尘导致不良存储单元的产生。因此,为了对在芯片内部产生的不良存储单元进行补救,在大多数半导体存储装置中都具备有冗余存储单元。为了向这样的冗余存储单元进行替换,当扩散工序完成后,用测定器进行存储测试,会检测出普通存储单元阵列内的不良单元。不良单元有位单元不良,还有沿着字线...
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