技术编号：6754852
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型关于一种分离闸极快闪记忆晶胞(Split Gate Flash Memory Cell)的字符线(word Line)，且特别是关于一种利用化学机械研磨(CMP)技术所形成的分离闸极快闪记忆晶胞的方型(Box-shape)字符线。背景技术在闪存组件中，分离闸极闪存组件与堆栈闸极闪存组件相较之下，不仅体积较微小，且更省电。因此，目前分离闸极闪存已成为相当受欢迎的存储元件。在分离闸极闪存中，通常利用复晶硅间隙壁来做为字符线，来降低分离闸极闪存的尺寸。...
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