技术编号:6768287
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及关于非易失性存储的技术。 背景技术半导体存储器已更普遍地应用于各种电子设备中。例如,在个人导航设备、蜂窝电话、数码相机、个人数字助理、移动计算设备、非移动计算设备和其它设备中使用了非易失性半导体存储器。电可擦除可编程只读存储器(EEPROM)和闪速存储器是其中最流行的非易失性半导体存储器。EEPROM和闪速存储器二者皆利用了位于半导体衬底的沟道区之上且与沟道区隔离的浮置栅极。浮置栅极和沟道区位于源区与漏区之间。在浮置栅极之上设有控制栅极, 且控制...
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