技术编号:6771770
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。此处描述的实施例涉及磁盘处理系统的领域,具体地涉及磁盘处理系统的具有加热器的角腔(comer chamber)。背景技术在磁记录盘的制造中使用各种处理系统。一个这种处理系统是可从日本的Canon ANELVA公司得到的ANELVA C-3050磁盘溅射系统。ANELVA C-3050磁盘溅射系统具有溅射台、加热台、冷却台、加载和卸载台和角台。角台连接彼此处于不同取向(例如直角)的线状排列的台的两个部分。ANELVA C-3050系统上的角台包括安装在腔体的...
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