专利名称：具有加热器的角腔的制作方法
技术领域：
此处描述的实施例涉及磁盘处理系统的领域，具体地涉及磁盘处理系统的具有加热器的角腔(comer chamber)。
背景技术：
在磁记录盘的制造中使用各种处理系统。一个这种处理系统是可从日本的Canon ANELVA公司得到的ANELVA C-3050磁盘溅射系统。ANELVA C-3050磁盘溅射系统具有溅射台、加热台、冷却台、加载和卸载台和角台。角台连接彼此处于不同取向(例如直角)的线状排列的台的两个部分。ANELVA C-3050系统上的角台包括安装在腔体的顶棚中的烘烤加热器。烘烤加热器在系统维护期间使用以从腔体中的机械部件祛除潮湿从而获得系统的真空中提高的基底压力。烘烤加热器在介质处理期间在生产操作中不被利用。ANELVAC-3050系统利用专用加热台来加热磁盘。专用加热台占据与其它台(例如溅射台)相同的空间，使用专用加热台增加磁盘溅射系统的整体占位面积，并且由此增加溅射系统的成本。
发明内容
本发明在附图中通过示例方式图示说明而不限制，其中图1图示说明根据本发明的一个实施例的具有含有加热器组件的角腔的磁盘处
理系统。图2A是图示说明具有加热器组件的角腔的一个实施例的剖开立体图；图2B是根据一个实施例的磁盘载体的一部分的平面图；图3A是立体图且图:3B是截面图，图示说明根据本发明的一个实施例的加热器组件；图4是图示说明具有加热器组件的角腔的替换实施例的剖开立体图；图5A是立体图且图5B是截面图，图示说明根据本发明的替换实施例的加热器组件。
具体实施例方式下面参照附图在此描述方法的实施例。然而，具体实施例可以不用一个或者更多个这些具体细节实施，或者与其它已知方法、材料和设备组合实施。在以下描述中，阐述多个具体细节(诸如具体材料、尺寸和处理参数等)以提供充分理解。在其它示例中，没有特别详细描述已知的制造处理和设备以避免混淆要求保护的主题。在本说明书中“实施例” 意味着结合实施例描述的具体部件、结构、材料或者特征被包括在本发明的至少一个实施例中。由此，术语“在一个实施例中”在本说明书各个部分出现不一定指代相同实施例。此外，具体部件、结构、材料或者特征可以在一个或者更多个实施例中以任何合适方式组合。具有含有加热器组件的角腔的磁盘处理系统的实施例，该加热器组件用于在生产期间加热经过角腔的磁盘。在一个实施例中，角腔中的加热器组件与载体旋转组件耦合以绕着载体旋转组件的旋转轴线转动加热器组件同时固定磁盘的载体被旋转组件转动。先进介质的开发通常要求在常规介质的膜堆中添加层。这种额外层的沉积可以要求在磁盘处理系统中额外的台。传统的磁盘处理系统可以在线性台中的一个中进行加热操作。通过利用本发明的实施例在角台中进行磁盘加热，先前用于加热操作的线性台可以不再被占用以用作溅射台或者其它类型的操作。应注意尽管本发明的实施例可以在此涉及介质或者磁记录盘讨论，但是此处讨论的设备和方法还可以用于其它类型的盘，例如，诸如压缩磁盘(CD) 和数字多用盘(DVD)的光学记录盘。磁盘溅射系统在本领域中已知，因此，在此不提供进一步的细节。图1图示说明根据本发明的一个实施例的具有含有加热器组件的角腔的磁盘处理系统。磁盘处理系统100包括位于不同线性部分的多个处理腔。各种类型的处理腔可以设置在任何台，例如但不限于化学气相沉积(CVD)、蚀刻、冷却、加热、加载、卸载、蚀刻等。图 1图示说明的示例实施例包括处理台P1-P20、角台C1-C4、蚀刻腔P0、加载腔101和卸载腔 102。处理台P1-P3位于第一线性部分。处理台P4-P12在与第一线性部分垂直的第二线性部分中。处理台P13-P15在与第二线性部分垂直的第三线性部分中。处理台P16-P20在与第三线性部分垂直的第四线性部分中。磁盘更换系统105用于将磁盘传输到和传输出磁盘处理系统100。磁盘传输系统在各个台之间传输在处理流111中在磁盘载体上(贮存在载体贮存器119中)的一个或者更多个磁盘(例如磁盘120)。在一个实施例中，每个磁盘载体保持两个磁盘(例如磁盘120和121)使得两个磁盘在具体台内被处理。可替换地，磁盘载体可以固定超过或者少于两个磁盘。应注意在替代实施例中，磁盘处理系统100可以具有超过或者少于图1所示的台的数量。在一个实施例中，磁盘溅射系统100是具有一个或多个角腔的ANELVA磁盘溅射系统(例如C-3010、C-3040、C-3050等)，根据在此描述的实施例，该角腔被修改为具有在生产模式中将磁盘传输通过角腔时使用的一个或者更多个加热器。在替换实施例中，系统100 可以是另一类型的溅射系统或者磁盘处理系统。角台C1-C4工作以连接处理系统的不同取向的线性部分。更具体地，角台C1-C4 连接其出口相对于处理流111内的随后台的入口成角度(例如垂直)的前一台。例如，加载台101的出口 131相对于台Pl的入口 141垂直取向。角台Cl包括旋转组件，其将在一个方向上从加载腔101接收的磁盘载体重新取向为垂直方向以便传输到台P1。下面讨论角腔的进一步细节。应注意相对于图2A-图5B的实施例讨论的角腔可以代表角腔C1-C4中的任意一个或者更多个。图2A是图示说明具有加热组件的角腔的一个实施例的剖开立体图。在本实施例中，磁盘载体210通过角腔200的侧壁中的入口槽207进入角腔200。载体210通过磁盘传输机构213上的入口槽207并且固定到旋转组件250。在一个实施例中，磁盘载体210具有磁性传输底座211，其使得载体能够使用磁力耦合在磁盘载体旋转组件250上。可替换地， 磁盘载体210可以使用其它机构耦合到磁盘载体旋转组件250。用于在台之间传输磁盘载体的磁盘传输机构在本领域中已知，因此，此处将不提供其描述。载体210的磁盘载体出口方向202垂直于入口方向201。因此，磁盘载体210被旋转组件250绕着旋转轴线256转动255大约90度以使得磁盘载体210能够通过出口槽 208离开角腔200。载体旋转组件在本领域中已知，因此，不提供进一步描述。在一个实施例中，可以使用如ANELVA C-3040磁盘溅射系统中使用的载体旋转组件。可替换地，可以使用其它类型的载体旋转组件。加热器组件260也耦合到载体旋转组件250使得磁盘载体旋转组件250被利用来与磁盘载体210的旋转结合旋转加热器组件沈0。因此，在载体从入口方向201旋转到出口方向202的同时，在载体210内固定的磁盘可以在角腔中被加热。应注意当磁盘载体210 通过入口槽207开始进入角腔时，加热可以通过启动对加热器元件的电源开始。在磁盘载体210的旋转255期间当载体210被固定在旋转组件250 (在相同或者不同温度)时，加热处理继续。加热处理还可以继续直至磁盘载体210通过出口槽208离开角腔200。在本实施例中，加热器组件260通过安装到载体旋转组件的顶部而被从下方支撑。在替换实施例中，加热器组件可以在其它配置中安装到旋转载体组件，例如以下参照图 4描述的。加热器组件260可以包括加热元件防护罩261和沈2，加热元件防护罩261和 262安装在加热器组件中以防护部件免受与固定于磁盘载体中的磁盘相邻设置的加热元件 (例如参见图3A和图3B)产生的热。角腔200还包括电源连通器259以向加热元件提供电源连接。电源连通器可以布置在不同于图2A图示说明的角腔上。在图2A图示说明的实施例中，加热器防护罩261和262至少与加热元件和在载体210内固定的磁盘大小相同。因此，加热元件和在载体210内固定的磁盘在图2A提供的视图中被遮挡。图2B提供磁盘载体210的一部分的平面图，示出磁盘120通过夹持器(也可以称为棘爪)203固定在载体的磁盘接收器190内。尽管图2B中图示说明3个夹持器，但是可以使用更多或者更少的夹持器。可替换地，磁盘载体210可以使用其它类型的磁盘固定机构。在一个实施例中，磁盘载体的每个接收器保持单个磁盘(例如其可以是单面磁盘或者双面磁盘)。可替换地，每个接收器(例如接收器190)可以保持在磁盘载体210中背靠背固定的两个单面磁盘(即每个面都朝外被处理)。图3A是立体图并且图:3B是截面图，图示说明根据本发明的一个实施例的加热器组件。在本实施例中，加热器组件260包括4个加热元件沈1、沈2、263和沈4。加热器组件 260配置为将加热元件261和262设置在磁盘载体210的一侧并且将加热元件263和264 设置在磁盘载体210的相对侧。因此，在相对的加热元件之间的间隙267至少足够大以将磁盘载体210适配在它们之间。在一个实施例中，间隙267可以大约在5毫米(mm)到20mm 的范围内。可替换地，间隙267可以具有其它尺寸。加热元件261和262耦合到加热器保持件330，并且加热元件263和264耦合到加热器保持件331。在一个实施例中，加热元件是热解氮化硼(PBN)加热元件。可替换地，加热器组件260可以具有其它类型的加热元件，例如红外、石英灯、电阻等。加热器防护罩341在加热元件261和保持件330之间耦合到加热器保持件330。 加热器防护罩342在加热元件262和保持件330之间耦合到加热器保持件330。类似地， 加热器防护罩343在加热元件263和保持件331之间耦合到加热器保持件331，并且加热器防护罩344在加热元件264和保持件331之间耦合到加热器保持件331。加热器防护罩 341-344工作用于保护其它组件部件免受加热元件沈1_264产生的热量的损害。在一个实施例中，用于构成加热器保持件330、331和加热器防护罩341-344的材料是钛，因为其能够经受高温度和真空环境。可替换地，加热器保持件330、331和加热器防护罩341-344可以由其它材料构成，例如，钼或者钽。在另一实施例中，加热器组件可以不包括加热器防护罩。加热器组件260还包括穿过各个加热器防护罩并且连接到各个加热元件的用于每个加热元件261-264的电源连接器(例如电源连接器360)。电源连接器用耦合到电源连接器的相应环形端子(例如环形端子361)的电导线连接到电源连通器259。每个电源连接器被套管(例如368)包围并且被绝缘器(例如369)终止，在此耦合到加热元件。在一个实施例中，套管和绝缘器可以由陶瓷构成。可替换地，可以使用其它电绝缘和阻热材料。加热器保持件330和331耦合到向组件提供支撑结构的安装架380。加热器保持件330和331分别使用安装柱320和321耦合到安装板310和311。安装柱320和321的高度设计为当加热器组件260安装到旋转组件250时将加热元件与磁盘载体210的磁盘相邻设置。安装板310和322用于将加热器组件260耦合到载体旋转组件250。应注意加热器组件沈0的结构部件，诸如安装板、安装柱和安装架和加热器保持件可以每个由单件或者多件构成。另外，加热器组件260的结构部件的一个或者更多个可以形成为整体件。加热器组件沈0的部件可以使用本领域已知技术耦合到一起，例如熔接、铆接、螺钉连接、焊接等。图4是图示说明具有加热器组件的角腔的替换实施例的剖开立体图。在本实施例中，磁盘载体210通过角腔400的侧壁中的入口槽407进入角腔400。载体210被磁盘传输结构(未示出)传输穿过入口槽407并且固定到旋转组件450。磁盘载体210按照以上参照图2A讨论的类似方式工作。在本实施例中，磁盘载体的磁盘载体出口方向402垂直于入口方向401。因此，磁盘载体410被旋转组件450绕着旋转轴线456旋转455大致90度以使得磁盘载体210能够通过出口槽408离开角腔400。在一个实施例中，可以使用如ANELVA C-3010磁盘溅射系统中使用的载体旋转组件。可替换地，可以使用其它类型的载体旋转组件。加热器组件460还使用安装柱420耦合到载体旋转组件450。由此，磁盘载体旋转组件450可以被利用以与磁盘载体210的旋转结合从而使加热器组件460旋转。在本实施例中，加热器组件260通过使用安装在载体旋转组件450的顶部的角度安装柱420从侧面被支撑。在替换实施例中，加热器组件460可以在其它配置中安装到旋转载体组件450。角腔400还包括电源连通器459以向加热器组件460的加热元件提供电源连接。 电源连通器可以布置在不同于图4图示说明的角腔的位置。在图4图示说明的实施例中， 加热器防护罩(例如462)至少与加热元件和固定在载体210内的磁盘相同大小。因此，加热元件和固定在载体210内的磁盘在图4提供的视图中被遮挡。图5A是立体图并且图5B是截面图，图示说明根据本发明的替换实施例的加热器组件。在本实施例中，加热器组件460包括4个加热元件461、462、463和464。加热器组件460配置为将加热元件461和462设置在磁盘载体210的一侧，并且将加热元件463和 464设置在磁盘载体210的相对侧。类似于以上讨论的加热器组件沈0，相对的加热元件之间的间隙至少足够大以使磁盘载体210适配在它们之间。
加热元件461和462耦合到加热器保持件430，并且加热元件463和464耦合到加热器保持件431。在一个实施例中，加热元件是热解氮化硼(PBN)加热元件。可替换地，加热器组件460可以具有其它类型的加热元件，例如红外、石英灯、电阻等。加热器防护罩441在加热元件461和保持件430之间耦合到加热器保持件430。 加热器防护罩442在加热元件462和保持件430之间耦合到加热器保持件430。类似地， 加热器防护罩443在加热元件463和保持件431之间耦合到加热器保持件431，并且加热器防护罩444在加热元件464和保持件431之间耦合到加热器保持件431。加热器防护罩 441-444工作用于保护其它组件部件免受加热元件461-464产生的热量的损害。在一个实施例中，用于构成加热器保持件430、431和加热器防护罩441-444的材料是钛，因为其能够经受高温度和真空环境。可替换地，加热器保持件430、431和加热器防护罩441-444可以由其它材料构成，例如，钼或者钽。加热器组件460还包括用于每个加热元件461-464的电源连接器(例如电源连接器460)，电源连接器穿过相应加热器防护罩并且连接到相应加热元件。电源连接器连接到电源连通器459。每个电源连接器被套管(例如468)包围并且被绝缘器(例如469)终止， 在此被耦合到加热元件。在一个实施例中，套管和绝缘器可以由陶瓷构成。可替换地，可以使用其它电绝缘和阻热材料。加热器保持件430和431耦合到向组件提供支撑结构的安装架480 (在图5A中图示说明)，并且在本实施例中，安装架480使得加热器保持件431能够耦合到安装柱420。加热器保持件430和431使用安装柱320、420耦合到安装板410。安装柱420的高度设计为当加热器组件460安装到旋转组件450时将加热元件与磁盘载体的磁盘相邻设置。安装板 420用于将加热器组件460耦合到载体旋转组件450。应注意加热器组件460的结构部件 (诸如安装板、安装柱和安装架和加热器保持件)可以每个由单件或者多件构成。另外，加热器组件460的结构部件的一个或者更多个可以形成为整体件。加热器组件460的部件可以使用本领域已知技术耦合到一起，例如熔接、铆接、螺钉连接、焊接等。应注意如果磁盘载体210的接收器均保持单个双面磁盘或者两个单面磁盘，则当载体210旋转时在角腔200和400中双面可以被加热。在替换实施例中，加热器组件260 和460可以被配置为具有图3A和5A图示说明的仅仅一半部件，以仅提供对磁盘载体的单面加热。在以上的说明书中，参照具体示例实施例描述了本发明。然而，明显地可以对其进行各种修改和变化而不背离按照所附的权利要求限定的本发明的实施例的宽广范围。例如，尽管按照具体顺序描述了本发明方法的实施例的步骤，但是本领域技术人员将理解所描述的一些步骤可以同时、在叠加的时间帧中和/或以与描述和要求保护的顺序不同的顺序发生并且落入本发明的实施例。说明书和附图因此认为是例示性的而不是限制性的。
权利要求
1.一种磁盘处理系统，包括 角腔，包括安装组件；耦合到所述安装组件的加热器组件；以及载体旋转组件，所述载体旋转组件耦合到所述安装组件以使所述加热器组件绕着所述载体旋转组件的旋转轴线旋转。
2.根据权利要求1所述的系统，其中所述加热器组件包括第一加热元件和第二加热元件。
3.根据权利要求2所述的系统，其中所述安装组件包括 耦合到所述载体旋转组件的安装板；耦合到所述安装板的安装柱；以及耦合到所述安装柱的第一加热器保持件，其中所述第一加热器元件和所述第二加热器元件耦合到所述第一加热器保持件。
4.根据权利要求3所述的系统，还包括布置在所述第一加热元件和所述第一加热器保持件之间的第一防护罩；以及布置在所述第二加热元件以及和所述第一加热器保持件之间的第二防护罩。
5.根据权利要求3所述的系统，其中所述第一加热元件和所述第二加热元件中的每一个均包括热解氮化硼加热元件。
6.根据权利要求3所述的系统，其中所述加热器组件还包括第三加热元件和第四加热元件，并且其中所述系统还包括耦合到所述第一加热器保持件的安装架；以及耦合到所述安装架的第二加热器保持件，其中所述第三加热元件和所述第四加热元件在与所述第一加热元件和所述第二加热元件相邻的位置分别耦合到所述第二加热器保持件，其间存在间隙。
7.根据权利要求6所述的系统，其中所述第一加热元件、所述第二加热元件、所述第三加热元件和所述第四加热元件均包括热解氮化硼加热元件。
8.根据权利要求7所述的系统，还包括布置在所述第三加热元件和所述第二加热器保持件之间的第三防护罩；以及布置在所述第四加热元件和所述第二加热器保持件之间的第四防护罩。
9.根据权利要求1所述的系统，还包括用于沿着第一方向将磁盘载体传输到所述角腔的磁盘传输系统，所述磁盘传输系统沿着第二方向将所述磁盘载体传输出所述角腔。
10.根据权利要求9所述的系统，其中所述第二方向与所述第一方向垂直。
11.根据权利要求1所述的系统，还包括 加载腔；多个处理腔；以及磁盘传输系统，所述磁盘传输系统耦合到所述加载腔、所述角腔和所述多个处理腔以在它们之间传输磁盘。
12.根据权利要求1所述的系统，其中所述磁盘传输系统配置为从所述加载腔向所述角腔然后向所述多个处理腔按顺序地传输磁盘。
13.根据权利要求8所述的系统，还包括通过对应的第一加热器防护罩、第二加热器防护罩、第三加热器防护罩和第四加热器防护罩分别耦合到所述第一加热元件、所述第二加热元件、所述第三加热元件和所述第四加热元件的第一电源连接器、第二电源连接器、第三电源连接器和第四电源连接器。
14.一种方法，包括将固定一个或者更多个磁盘的磁盘载体传输到角腔中；以及使用加热器组件在所述角腔中加热所述一个或者更多个磁盘。
15.根据权利要求14所述的方法，还包括在所述角腔中绕着同一旋转轴线旋转所述一个或者更多个磁盘和所述加热器组件，并且其中加热包括在旋转时加热所述一个或者更多个磁盘。
16.根据权利要求14所述的方法，其中所述加热器组件包括一个或者更多个加热元件。
17.根据权利要求16所述的方法，其中所述一个或者更多个加热元件中的每一个均包括热解氮化硼加热元件。
18.根据权利要求15所述的方法，其中所述一个或者更多个磁盘和所述一个或者更多个加热器绕着所述载体旋转组件的旋转轴线旋转。
19.一种磁盘处理系统，包括用于在角腔中旋转一个或者更多个磁盘和加热器组件的装置；以及用于在旋转时在所述角腔中使用所述加热器组件加热所述一个或者更多个磁盘的装置。
20.根据权利要求19所述的磁盘处理系统，其中所述用于旋转的装置包括用于绕着同一旋转轴线旋转所述一个或者更多个磁盘与所述加热器组件的装置。
全文摘要
本发明涉及一种具有角腔的磁盘处理系统，该角腔具有加热器组件和配置用于旋转加热器组件的载体旋转组件。
文档编号G11B5/84GK102385873SQ20111016613
公开日2012年3月21日 申请日期2011年6月14日 优先权日2010年6月30日
发明者J·陈, N·D·塔布拉扎 申请人:西部数据传媒公司