技术编号：6773339
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明系涉及一种半导体组件及制造技术，其特别与一种铁电电容(Ferroelectric capacitor)的制造有关。随着半导体工业持续的进展，铁电内存组件已广泛的应用于集成电路中。一般而言，一随机存取铁电内存具有许多存储单元(memorycell)，且其存储单元通常由一铁电电容与晶体管所构成，用以储存一位(bit)的讯号。其中，晶体管的漏极或源极与铁电电容的一端连接，而铁电电容的另一端则与参考电位连接，至于晶体管的另一端与栅极则分别与位线(bit li...
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