4f平方自对准鳍底电极场效应晶体管驱动相变化存储器的制作方法技术资料下载

技术编号:6781690

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本发明涉及以相变化基础存储材料为主的高密度存储装置,包含 硫属化物基础材料与其它可编程电阻材料,以及制造此类装置的方法。背景技术以相变化为基础的存储材料被广泛地运用于读写光盘片中。而这 些材料包含有至少两种固态相,包含如一大部分为非晶态的固态相, 以及一大体上为结晶态的固态相。激光脉冲用于读写光盘片中,以在 二种相中切换,并读取此种材料在相变化之后的光学性质。以相变化材料为基础的存储器材料,如硫属化物材料及其类似材 料,也可以通过施加合适于集成电路操作的电...
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