磁记录介质用硅衬底及其制造方法技术资料下载

技术编号:6782055

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本发明涉及制造磁记录介质用的硅衬底及其制造方法。 背景技术在信息记录的,作为磁性读取/写出文字、图像或乐曲等 信息的手段的硬盘装置,作为以个人电脑为代表的电子设备的一次外 部记录装置或内置型记录手段是必须的。这样的硬盘装置中内置有硬 盘作为磁记录介质,但是,现有的硬盘中,采用在盘表面水平地写入 磁信息的所谓"面内磁记录方式(水平磁记录方式)"。图1 (A)中是用于说明水平磁记录方式的硬盘的一般层压结构的 截面示意图,在非磁性衬底l上,依次层压通过溅射法成膜...
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