技术编号:6782208
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及用于监测经蒸气体(vapor volume)流向真空腔室的润滑 剂蒸气质量流速的方法和设备。其中,由润滑剂蒸气涂覆的硬磁盘放置在该真 空腔室中。背景技术Hughes等人在美国专利6,183,831 (这里引用其作为参考)中公开了一种 通过向真空腔室中盘上的磁层提供蒸气润滑剂,即是气态的,(优选为美国专 利5,776,577中公开的全氟聚醚(PFPE))用润滑剂膜涂覆硬磁盘的方法和设 备。随后通过运输片(carrying blade)将该磁盘装...
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