专利名称：监测形成磁盘润滑涂层的润滑剂蒸气流动的方法和设备的制作方法
技术领域：
本发明一般涉及用于监测经蒸气体(vapor volume)流向真空腔室的润滑 剂蒸气质量流速的方法和设备。其中，由润滑剂蒸气涂覆的硬磁盘放置在该真 空腔室中。
背景技术：
Hughes等人在美国专利6,183,831 (这里引用其作为参考)中公开了一种 通过向真空腔室中盘上的磁层提供蒸气润滑剂，即是气态的，(优选为美国专 利5,776,577中公开的全氟聚醚(PFPE))用润滑剂膜涂覆硬磁盘的方法和设 备。随后通过运输片(carrying blade)将该磁盘装在蒸气的流动道中，该运输 片将盘从传输进出真空腔室的盒子中升起。该蒸气是通过向位于真空腔室中源 头的液态润滑剂提供充足的热量获得的。生成的蒸气在导入到磁盘上前流经气 体扩散板。测量仪器中包括单石英晶体微天平(QCM)，用于监测从液体润 滑剂源蒸发的润滑剂蒸气的流速，以控制提供给液体润滑剂源的热量，并从而 控制液体润滑剂的温度以及从液体润滑剂源蒸发的蒸气润滑剂的质量流速。石 英晶体微天平是连接到振荡器的非常敏感的压电晶体。晶体的谐振频率确定振 荡器的频率。探测振荡器的频率以提供蒸气润滑剂质量流速的测量。
上述的在Hughes等人的专利中描述的配置己可以很好的完成任务，但是， 还是可以得到改善。压电晶体的寿命有限，其由于压电晶体持续的，甚至在不 进行硬磁盘处理的延长的空转或等待时间里，依然暴露在蒸气中，而縮短。在 这种空转时间中，由于与开始润滑剂蒸气流相关的不稳定性，蒸气连续不断的 从液体润滑剂源流入在处理时放置硬磁盘的真空腔室中。由于压电晶体的有限 寿命，必须比较频繁地更换晶体，将导致所述晶体分离的制造安排的运行中断。 这种中断是低效和浪费的。
因此，本发明的一个方案为提供一种用于监测在硬磁盘上形成润滑剂涂层 的润滑剂蒸气的质量流速的新的改善了的方法和设备。
本发明的另一个方案为提供用于监测在硬磁盘上形成润滑剂涂层的润滑 剂蒸气的质量流速的新的改善了的方法和设备，其中更换质量流速监测器的时 间长度相比典型现有技术安排是有所延长的。
本发明附加方案是为提供用于监测在硬磁盘上形成润滑剂涂层的润滑剂 蒸气的质量流速的新的改善了的方法和设备，其中质量流速监测器的配置促进 了用于将润滑剂涂层提供给硬磁盘的制造设备的廉价且高效运行。
发明内容
根据本发明的一个方案，设备用于选择性地将润滑剂涂覆位于真空腔室中 的支架上的硬磁盘，同时，当该盘位于支架中时，将可形成润滑剂涂层的蒸气 提供给其中一个盘。该设备包括存储能够蒸发以形成蒸气的液体的贮液器和用 于将贮液器液体加热为润滑剂蒸气的加热器。提供当盘位于支架上时润滑剂蒸 气从贮液器向盘流动的流动道。流动道包括(O当盘位于流动道中时，贮 液器和支架之间的有孔扩散器，以及(2)贮液器和有孔扩散器之间的蒸气腔 室。当将贮液器中的液体加热成润滑剂蒸气时，将流动道设置在真空条件下。 多个监测器探测流入流动道的润滑剂的质量流速。
优选情况下，闸板配置控制润滑剂蒸气向监测器的流动。闸板设置引起 (a)在第一特定时间间隔中，第一监测器响应润滑剂蒸气流入蒸气腔室的流 速，同时，其余的(多个)监测器不响应润滑剂蒸气流入蒸气腔室的流速，以 及(b)在第二特定时间间隔中，第二监测器响应液体蒸气流入蒸气腔室的流 速，同时，其余的(多个)监测器不响应液体蒸气流入蒸气腔室的流速。
闸板配置也优选设置为在特定时间，使全部监测器不响应液体蒸气流入蒸 气腔室的流速。
蒸气腔室包括沿从贮液器到有孔分布器的流动道的直线相同方向延伸的 壁。优选情况下，壁包括多个孔，每个孔对应每个监测器，用于为蒸气腔室和 每个监测器之间的润滑剂蒸气提供单独流动道。闸板配置位于蒸气腔室的壁中 的多个孔和监测器之间。
闸板配置优选为设置为在第三特定时间间隔内，使全部监测器不响应液体 蒸气流入蒸气腔室的流速。
在优选实施方式中，每个监测器包括压电晶体，其谐振频率受流动道中的
蒸气的流动影响。监测器和变频振荡器以及闸板之间的开关配置设置为使工作 的监测器连接到振荡器，从而改变振荡器的频率，其中工作的监测器响应于流 动道中蒸气的流动，振荡器不包括其余监测器的的压变晶体。
我们已经观察到，在监测器工作一段时间之后，振荡器的输出频率不呈现 出对质量流速的精确跟踪。我们己经发现，这种不精确的发生是由于在监测器 运行一段时间之后，压电晶体温度的增加。晶体温度的变化影响由振荡器产生 的频率。晶体谐振频率作为晶体温度函数的变化趋势是通过探测晶体温度并通 过提供响应于探测温度的控制器克服的。该控制器优选地包括用于维持晶体温 度恒定的温度控制反馈配置。作为另一种选择，控制器可包括相关晶体温度和 晶体谐振频率的査询表。这样的査询表具有第一和第二输入，分别响应于已检 测的晶体温度和振荡器运行频率的检频器输出。从而，本发明的进一步方案是 提供用于监测在硬磁盘上形成润滑剂涂层的润滑剂蒸气的质量流速的新的改 善了的方法和设备，其中，在该设备应用一段时间后，质量流速的测量误差可 以被克服。
下面，将根据特定实施方式的详细描述，特别是当联系
时，呈现 本发明的上述和其他目的、特征和优点。
图1为根据本发明的蒸气源的优选实施方式的部分顶视图，其与固定将要
涂覆的硬磁盘的腔体的示意图相结合；
图2为沿图1中的2—2线的结构的部分侧视图3为沿图1中的3—3线的结构的部分侧视图4为沿图1中的4一4线的结构的正视图；以及
图5为图1-4中的蒸气源表面温度的反馈控制电路的框图。
具体实施例方式
现对包含润滑剂(通常称为润滑油)源10和外壳12的附图给出参考， 外壳12包含真空腔室14，其由适合的真空泵(未示出)维持在一适合的真空 压。硬磁盘18的固定器16位于腔室14中，其中磁盘18包含由铬层和磁层交 替覆盖的基板，如在前述专利中公开的。随后，固定器16从移入移出真空腔
室14的盒子中提升不同的硬磁盘，以将磁盘移至如图1-3所示的位置，沉积在
盘上的润滑剂蒸气的通道中。该润滑剂优选为PFPE。
源10包含大气部分20以及真空部分22，大气部分20维持在大气压，真 空部分22通过经常存在于真空部分22和腔室14之间的气体流动道，维持使 其具有和腔室14中真空一样的真空压。由外壳25运载的液体润滑油贮液器 24，如同(1)蒸气体26， (2)选择性开启和关闭的扩散闸板28以及(3) 扩散板30—样，也位于蒸气真空部分22中。
蒸气体26为一具有圆柱形侧壁32的空腔，该侧壁以适当角度延伸至相互 平行，并且界定蒸气体边界的平坦表面34和36。贮液器24的一个表面占据 表面34的实体部分，而扩散闸板28 (图4)的第一平坦表面占据表面36的实 体部分。与扩散闸板的第一平坦表面平行，扩散闸板28的第二平坦表面比邻 扩散板30的第一平坦表面。
如图2和3中所示，将外壳25设置为使液体润滑油贮液器24包含三个 堆叠部分37、 38和39，每一个都包含由层41和凸缘或唇缘43、以及后壁45 形成的润滑油储液器。在将源连接到外壳12之前，当源10处于大气压时， 将液体润滑油加载到37、 38和39每个部分的储液器中。比邻的源IO与外壳 12的壁之间的真空密封物(即垫圈)48 (图1-4)协助维持源10的真空腔室 14和真空部分22中的真空。
由源10的大气压部分20中的电阻加热线圈50将贮液器24中的液体润滑 油加热至蒸气。蒸气化的润滑油从贮液器24流入蒸气体26，并自此通过开启 的扩散闸板28和扩散板30，流至硬盘18和固定器16，同时，固定器已经将 硬盘从盒中提升到如图l-3所示的位置，在润滑油蒸气流过扩散闸板28和扩 散板30的通道中。
如在源10运转中无硬磁盘正在处理的实质的空转或等待时段中发生的那 样，当扩散闸板28关闭时，扩散板30和扩散闸板中的狭缝均未重合，以使蒸 气化的润滑油迅速填充蒸气体26。当扩散闸板28关闭时，蒸气化的润滑油填 充蒸气体26导致蒸气体中的压强将增加到足以抑制附加蒸气从贮液器24中蒸 发，即使通过加热线圈50提供给贮液器24中液体润滑油的热量依然维持在大 约恒定。因此，在实质的空转或等待时段中，从贮液器24中蒸发了最少量的 浪费的润滑油。通过持续给贮液器24中液体供热，可避免由于开启和关闭对
贮液器24中液体润滑油的加热过程而可能发生的不稳定性。
扩散板30包含许多排紧密隔开，相对较小的圆形开口 (未示出)，当扩 散闸板关闭时，这些圆形开口对应于扩散闸板28中的开口 52 (图4)排列并 对齐。扩散板30的每个开口一一对应于扩散闸板28中的开口 52。当扩散闸 板28开启时，扩散闸板变换位置以使开口 52位于固定的扩散盘30的小圆形 开口的排之间，以通过扩散盘30的开口为从贮液器24蒸发的润滑油蒸气提供 流动道。由于发动机54驱动旋转链接56，可使扩散闸板28选择性的开启和 关闭从贮液器24到硬磁盘18的蒸气的流动道。发动机54通过变速箱58连接 链接56，由源10的外壳62上的凸缘60运载；链接56连接在扩散闸板28和 变速箱58之间，以使闸板根据发动机54的杆的旋转转动少许角度。扩散盘 30和其中的开口，和闸板28和其中的开口 52，以及链接56，使得当闸板28 开启和关闭时，通过闸板28和开口 52同时解除阻塞和同时阻塞扩散器30中 的全部开口。从而使涂覆到盘18的磁层具有均匀的厚度。
压电晶体70和72 (均位于外壳71中)选择性地检测流经蒸气体26的蒸 气润滑油的沉积速度，从而，在第一时间间隔内，晶体70与蒸气体26相耦接， 不包括晶体72，而在第二时间间隔内，晶体72与蒸气体相耦接，不包括晶体 70。在第三时间间隔内，无论晶体70或晶体72均不与蒸气体相耦接。第一和 第二时间间隔内，在蒸气体26中少量润滑油蒸气传入晶体70和72上。第三 时间间隔内，无润滑油蒸气传入晶体上。
闸板73有选择地插入体26和晶体70、 72之间的液体流道中以达到这些 结果。闸板73减少了晶体70和72在空转或等待时段暴露在润滑油蒸气中的 时间，从而通过延长晶体使用寿命减少了维修费用。使用多个沉积速度检测晶 体70和72，而不是使用单个沉积速度检测晶体，有助于实现相同的有利结果。
为了达到这些目的，真空体26的侧壁32包含沿贮液器24和扩散闸板28 之间的壁的长度排列的开口 74和76，其可彼此相互置换。开口 74和76分别 与圆柱形通道78和80具有液体流关系，其中圆柱形通道78和80分别具有与 压电晶体70和72接近的出口狭缝，优选的QCM型可从Maxteck Inc. of Beaverton Oregon获得。旋转闸板73为由杆84驱动的可旋转盘的形式，依次 由风动发动机86和链接88驱动，所以闸板73有选择的位于通道78和80的 出口狭缝与晶体70和72之间。发动机86在大气中并由连接至凸缘60的外壳
89运载。晶体70和72、闸板73、杆84和部分链接88位于腔室14的真空中， 而发动机86、外壳89和链接88的其余部分位于大气压下。
在腔室14已经运转一段时间以后，晶体70和72的外壳不断加热到处理 腔室14的温度。然而，通常是在生产周期的开始阶段完成沉积速度的初始校 准，其中沉积速度由晶体70和72检测，并由振荡器122 (图5)导出的频率 指示，如通过检频器124检测到的频率。如此，当图1-4的整个状态(toll) 处于动态热稳定状态时，晶体70和72的谐振频率在整个生产周期可能不表小-真实的沉积速度。
为了减轻这种在蒸气流速控制方面的潜在弱点，通过控制外壳71的温度 将晶体70和72的温度有效地控制在恒定值。为了达到这个目的，在外壳71 中包含冷却机制以将晶体70和72维持在一恒定温度，以使晶体70和72导出 的读数总是与流体冷却剂(适当的空气或水)的恒定温度相关。冷却剂流体通 过管75、 77和79流到和流自外壳71，这样，管77和79中的冷却剂流体分 别提供了对晶体70和72主要的冷却。加热后的冷却剂流经管79流回到热交 换器81，在其中将冷却剂冷却并再流回到管77和79。热交换器81给予再循 环的冷却剂的冷却量由温度检测器83控制，其中温度检测器83嵌入外壳71， 以有效检测晶体70和72的温度。检测器83通过合适的电缆(未示出)电连 接至热交换器。
蒸气体26的圆柱形侧壁32是加热区域卯的一部分，其具有较高的热传 导性，优选为铜质，或其他相对便宜的、具有高热传导性的金属，以有助于减 少蒸气润滑油在区域90的冷凝。由于区域90由高热传导性的材料制成，区域 卯的各壁的整个长度均处于基本一致的温度，因此，在相同壁表面的不同蒸 气冷凝将降到最小。
区域90包含提供用于从电阻加热线圈50到贮液器24中加热的较高热传 导性通道的圆形底部92。区域90包含热阻气门94。热阻气门94是相比区域 90的其他部分具有较高的热阻性的区域的一部分。热阻气门94是底部92和 圆形凸缘96之间的圆形凹槽102，其内部边缘形成蒸气体26的圆柱形侧壁32 以使区域90具有两个热区域， 一个由底部形成，第二个由凸缘96形成。结合 电阻加热元件和温度检测电路，区域90可使蒸气体26的侧壁32处于预定的 高于区域90的底部92的温度，如5°C，以为从电阻加热线圈50到贮液器24
的热量提供高热传导性通道。因此，蒸气体26中的润滑油蒸气最小冷凝到侧
壁32上，以提供源10的高效运转。
圆形底部92具有位于源10的真空部分22中的平坦圆形表面98，并比邻 贮液器24的外壳25平坦的圆形表面。表面98位于与从贮液器24到扩散闸板 28表面36的直线通道成适当角度的平面内，从该扩散闸板28延伸出环状凸 缘或环96。底部92包含与表面98平行的平坦的圆形表面100。电阻加热线圈 50包含与表面100邻近的平坦的圆形表面，以协助提供电阻加热线圈与贮液 器24之间的高热传导性通道。
底部90包含位于源10的大气压部分20的表面100中的深环状凹槽104。 凹槽102从表面100几乎延长到表面102以在底部92和凸缘94之间形成窄颈 (其组成热阻气门94)。由于热阻气门94，通过应用有效温度控制，可将底 部92和凸缘94维持在不同的温度。特别是通过在接近壁32的凸缘94中放置 4个互相正交的电阻加热线圈111-114，提供有效温度控制。在图2中仅示出 了彼此完全相反的加热线圈111-113。
电阻温度检测器116和118分别嵌入区域卯的底部92和凸缘94中，以 分别检测底部和凸缘的温度。从而，温度检测器116和118有效的得到(1) 贮液器24中的液体润滑油和(2)蒸气体26的壁32的温度响应指数。图5 中示意性说明的类型的反馈控制器响应电阻温度检测器116和118，以及由压 电晶体70或72中运转的那一个检测的蒸气体26中润滑油蒸气流速的指数， 从而控制底部92和凸缘94的温度。
现在参照图5的反馈控制器示意框图，该反馈控制器响应由电阻温度检测 器116和118所检测到的温度的感应信号，以及由晶体70或72检测到的质量 流速，从而控制提供给比邻区域90的底部92的电阻加热线圈50和区域卯 的凸缘94中串连的电阻加热线圈111-114中的电流。每次晶体78或80之一 运转，这样，运转的晶体通过开关120连接到振荡器122，以控制振荡器频率。 开关120的连接位置与闸板73的位置对准，从而(1)响应闸板73阻塞晶 体72，开关120将晶体70连接到振荡器122的输入，(2)响应闸板73阻 塞晶体70，开关120将晶体72连接到振荡器122的输入，以及(3)响应 闸板73阻塞晶体70和72，开关120的位置不变。
振荡器122的频率由通过开关120连接到振荡器的晶体70或72的谐振频
率确定。因此，振荡器122的频率通常指示由闸板73位置所确定的晶体70 或72中活动的 一个检测的润滑油蒸气质量流速。检频器124响应由振荡器122 产生的频率，从而导出表示由振荡器122导出的频率的DC电压。函数发生器 126响应由检测器124导出的DC电压，从而导出指示由晶体70或72中活跃 的一个探测的润滑油蒸气的质量流速的电压。
在减法器130中，比较函数发生器126的输出信号与质量流速调定点信号 源128的输出信号的大小，得到指示蒸汽蒸气体26中蒸气润滑油的期望质量 流速与蒸气体26中蒸气润滑油的实际流速偏离的误差信号。将减法器130的 误差输出信号提供到函数发生器132，函数发生器132将质量流速度误差信号 转变为贮液器24的温度误差信号，即影响控制施加到电阻加热线圈50的电流 值的误差信号。
控制施加到电阻加热线圈50的电流的幅度的温度控制器134，响应(1 ) 函数发生器132的输出信号，(2)由贮液器温度调定点源136导出的信号以 及(3)由电阻温度检测器116感应出的温度。其实，温度控制器134响应 由电阻温度检测器116和调定点源136产生的信号，以比较区域90的底部92 的实际与期望温度的差异，以得出温度误差信号。由函数发生器132的信号修 正温度误差信号，以补偿流经体22的蒸气润滑油质量流速中的误差。温度控 制器134响应修正误差信号，以控制流经电阻加热线圈50的电流幅度，电阻 加热线圈50轮流控制底部92的温度。
凸缘94中，流经串联电阻加热线圈111-114的电流幅度的温度控制器138， 响应由分别位于区域90的底部92和凸缘94中的电阻温度检测器116和118 检测出的温度产生的信号。另夕卜，温度控制器138响应(1)源136由贮液器 24的温度得到的调定点信号，以及(2)源140由凸缘94和底部92的温度 差异得到的调定点信号。其实，温度控制器138，通过响应由电阻温度检测器 116和118的阻抗的改变响应产生的信号，确定底部92和凸缘94的温度差异。 将底部92和凸缘94的温度差异与底部和凸缘的期望温度差异相比较，如由调 定点源140得出的，以得出指示由温度控制器138传输到电阻加热线圈111 -114 的电流的幅度变化的误差信号。结合误差信号与贮液器温度调定点源136的输 出信号，以控制由温度控制器138传输到电阻加热线圈111-114的实际电流的 幅度。虽然这里描述并说明了本发明的特定实施方式，很明显，在不脱离本发明 附加权利要求中限定的精神和范围内，可对上面描述并说明的实施方式的细节 作各种的修改。
权利要求
1.一种用于选择性地向位于真空腔室中的支架中的硬磁盘提供润滑剂涂层的设备，同时，当该盘位于所述支架中时，将可形成所述润滑剂涂层的蒸气提供给所述盘中的一个，其特征在于，所述设备包含贮液器，用于储存可蒸发形成所述蒸气的液体；加热器，用于将所述贮液器中的所述液体加热为润滑剂蒸气；流动道，用于当所述盘位于所述支架中时，所述润滑剂蒸气从所述贮液器到所述盘的流动；所述流动道包括(a)当所述盘位于所述流动道中时，所述贮液器和所述支架之间的有孔扩散器，以及(b)所述贮液器和所述有孔扩散器之间的蒸气腔室；当所述贮液器中的液体加热为润滑剂蒸气时，将所述流动道设置为在真空状态中；以及多个监测器，用于监测在所述流动道中流动的润滑剂蒸气的流速。
2、 根据权利要求1所述的设备，其特征在于，进一步包括用于控制润滑 剂蒸气向所述监测器流动的闸板配置，设置所述闸板配置，从而促使(a) 在第一特定时间内，第一所述监测器响应流入所述蒸气腔室的润滑剂蒸气的流 速，同时，其余(多个)监测器不响应流入所述蒸气腔室的润滑剂蒸气的流速， 以及(b)在第二特定时间间隔内，第二所述监测器响应流入蒸气腔室中的液 体蒸气的流速，同时，其余(多个)监测器不响应流入所述蒸气腔室的液体蒸 气的流速。
3、 根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述闸板配置设置为，在 第三特定时间间隔内，所有所述监测器不响应流入所述蒸气腔室的液体蒸气的 流速。
4、 根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述蒸气腔室包括沿从所 述贮液器到所述有孔分布器的流动道的直线相同方向延伸的壁，所述壁包括多 个孔，每个孔对应每个所述监测器，用于为所述蒸气腔室和每个所述监测器之 间的所述润滑剂蒸气提供单独流动道。闸板配置是在所述蒸气腔室的壁中的多 个孔和监测器之间。设置所述闸板配置是为了促使(a)在一个特定时间间 隔，打开到第一所述监测器的所述单独流动道，以及(b)关闭到(多个)其 余监测器的所述单独流动道，并且，在第二特定时间间隔内，打开到所述第二 监测器的所述单独流动道，而且关闭到其余(多个)监测器的单独流动道。
5、 根据权利要求4所述的设备，其特征在于，将所述闸板配置设置为在 第三特定时间间隔内，使得全部监测器不响应流入所述蒸气腔室的液体蒸气的 流速。
6、 根据权利要求1所述的设备，其特征在于，每个所述监测器包括压电 晶体，其具有受所述流动道中的蒸气的流动影响的谐振频率，而且，所述设备 进一步包括变频振荡器，和所述监测器和所述振荡器之间的开关配置，设置所 述开关配置和所述闸板，从而响应所述流动道中的蒸气的流动的工作监测器的 所述压电晶体连接到所述振荡器，其不包括所述其余(多个)监测器的(多个) 压电晶体，从而所述工作的监测器的所述谐振频率影响所述振荡器的频率。
7、 根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述晶体具有按照温度的 函数改变谐振频率的倾向，用于所述晶体温度的探测器配置，以及设置为响应 所述探测器配置以克服所述倾向的控制配置。
8、 根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述控制配置包括连接响 应所述温度探测器以保持所述晶体的温度充分恒定的反馈配置。
9、 一种操作权利要求1所述的设备的方法，包括控制所述润滑剂蒸气 向所述监测器的流动，从而，在第一特定时间间隔内，第一所述监测器响应流 入所述流动道的润滑剂蒸气的流速，同时，(多个)其余监测器不响应流入所 述流动道的润滑剂蒸气的流速，以及，在第二特定时间间隔内，所述第二监测 器响应流入所述流动道的润滑剂蒸气的流速，同时，(多个)其余监测器不响 应流入所述流动道的润滑剂蒸气的流速。
10、 根据权利要求9所述的方法，其特征在于，进一步包括，在第三特 定时间间隔内，防止润滑剂蒸气流动到全部所述多个监测器。
11、 根据权利要求IO所述的方法，其特征在于，通过在所述流动道和所 述监测器之间放置关闭的闸板，在第一、第二以及第三特定时间间隔内，防止 润滑剂流动。
12、 根据权利要求9所述的方法，其特征在于，通过在所述流动道和所 述监测器之间放置关闭的闸板，在第一和第二特定时间间隔内，防止润滑剂流 动。
13、 根据权利要求9所述的方法，其特征在于，每个所述监测器包括压 电晶体，其具有受所述流动道中的蒸气的流动影响的谐振频率，而且，所述设 备进一步包括变频振荡器，和所述监测器和所述振荡器之间的开关配置，所述 方法进一步包括控制所述开关配置和所述闸板，从而响应所述流动道中的蒸气 的流动的工作监测器的所述压电晶体连接到所述振荡器，其不包括所述其余 (多个)监测器的(多个)压电晶体，从而所述工作的监测器的所述谐振频率 影响所述振荡器的频率。
14、 根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述晶体具有按照温度 的函数改变谐振频率的倾向，所述方法进一步包括探测所述晶体温度，以及通 过响应所述探测到的晶体温度克服所述倾向。
15、 根据权利要求14所述的方法，其特征在于，通过将所述晶体的温度保持在充分恒定克服所述倾向。
16、 一种用于选择性地向位于真空腔室中的支架中的磁盘提供润滑剂涂 层的设备，同时，当该盘位于所述支架中时，将可形成所述润滑剂涂层的蒸气提供给所述盘中的一个，其特征在于，所述设备包含 贮液器，用于储存可蒸发形成所述蒸气的液体； 加热器，用于将所述贮液器中的所述液体加热为润滑剂蒸气； 流动道，用于当所述盘位于所述支架中时，所述润滑剂蒸气从所述贮液器 到所述盘的流动；所述流动道包括(a)当所述盘位于所述流动道中时，所 述贮液器和所述支架之间的有孔扩散器，以及(b)所述贮液器和所述有孔扩 散器之间的蒸气腔室；当所述贮液器中的液体加热为润滑剂蒸气时，将所述流 动道设置为在真空状态，所述监测器包括具有受所述流动道中的蒸气的流动影 响的谐振频率的压电晶体，所述晶体连接到变频振荡器，从而，所述晶体谐振 频率影响振荡器的频率，所述晶体具有按照温度的函数改变谐振频率的倾向， 用于所述晶体温度的探测器配置，以及设置为响应所述探测器配置以克服所述 趋势的控制配置。
17、 根据权利要求16所述的设备，其特征在于，所述控制配置包括连接 响应所述温度探测器以保持所述晶体的温度充分恒定的反馈配置。
18、 一种选择性地向位于真空腔室中的支架中的磁盘提供润滑剂涂层的 方法，同时，当该盘位于所述支架中时，将可形成所述润滑剂涂层的蒸气提供 给所述盘中的一个，其特征在于，所述设备包含 贮液器，用于储存可蒸发形成所述蒸气的液体； 加热器，用于将所述贮液器中的所述液体加热为润滑剂蒸气； 流动道，用于当所述盘位于所述支架中时，所述润滑剂蒸气从所述贮液器 到所述盘的流动；所述流动道包括(a)当所述盘位于所述流动道中时，所 述贮液器和所述支架之间的有孔扩散器，以及(b)所述贮液器和所述有孔扩 散器之间的蒸气腔室；当所述贮液器中的液体加热为润滑剂蒸气时，所述流动 道在真空状态中，所述监测器包括具有受所述流动道中的蒸气的流动影响的谐 振频率的压电晶体，所述压电晶体连接到其频率受所述晶体谐振频率影响的变 频振荡器，所述晶体具有按照温度的函数改变谐振频率的倾向，所述方法包括 探测所述晶体温度，并且通过响应所述以探测的晶体温度，克服所述倾向。
19、根据权利要求18所述的方法，其特征在于，通过将所述晶体的温度 保持在充分恒定克服所述倾向。
全文摘要
本发明提供了一种用于监测在硬磁盘上形成润滑剂涂层的润滑剂蒸气的质量流速的方法和设备。其中，润滑剂涂层作为润滑剂蒸气提供给位于盘和用于加热成蒸气的液体润滑剂贮液器之间的润滑剂蒸气流动道中的磁盘。该流动道包括贮液器和有孔扩散器之间的蒸气腔室。多个压电晶体在不同时间选择地监测流入蒸气腔室中的润滑剂蒸气的流速，这是由选择性地在蒸汽流入蒸气腔室的蒸气和晶体之间选择打开或关闭闸板达到的结果。可由用于维持晶体温度恒定的反馈设置补偿晶体的温度变化。
文档编号G11B5/84GK101373602SQ20081008970
公开日2009年2月25日 申请日期2008年3月26日 优先权日2007年3月29日
发明者卡尔·彼得森, 肯尼思·埃姆斯 申请人:英特维公司