技术编号：6799439
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种用于腐蚀硅片的装置，属于半导体。硅片腐蚀是研制各种传感器、执行器和加工SOI材料的关键工艺之一。在现有的腐蚀装置中，硅片要通过粘合剂固定在样品架上，因而硅片装卸不便，且容易受粘合剂的沾污。另外，由于样品架转动与搅拌腐蚀液的搅拌子之间为同轴转动，既容易产生涡流，且因硅片各处线速度不同而导致硅片各处的腐蚀速率不同。因此，现有装置很难保证硅片大面积腐蚀的均匀性。本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，提供一种硅片装卸方便，可获得大面积均匀腐蚀的硅...
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