技术编号:6808894
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用结晶半导体的。使用薄膜半导体的薄膜晶体管(TFT)是已知的。这些TFT是用在衬底上的半导体薄膜构成的。这些TFT用于各种集成电路中。实际上,在电光器件中它们以转换元件著称,并特别以设置在有源阵列液晶显示(LCD)器件中的每个像素中的转换元件,和外围电路部分中构成的驱动元件,而著称。TFT中用的半导体薄膜,通常可用非晶硅薄膜。然而,这种硅膜的缺点是电特性低。为改善TFT的特性,可以采用结晶硅薄膜。结晶硅膜称为多结晶硅,多晶硅,细结晶硅等。为获得...
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