碳化硅上的锇整流肖特基和欧姆连接以及W/WC/TiC欧姆接触的制作方法技术资料下载

技术编号:6816694

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本发明总体上涉及SiC基半导体器件上的电接触,更具体地说,涉及硅的碳化物的半导体上的欧姆与整流接触。SiC在高温与高功率的固态电子元器件上有着极大的优点。此外,在高频与逻辑电路的应用上,它还提供潜在的优点,例如,功率转换(混合器二极管,MESFETs)、单片计算机(n-MOS、CMOS、双极晶体管)、永久性随机存取存储器SiCCCD可以保持电荷超过一千年,因此,就可以使硬盘成为过时之物。SiC电子元器件潜在的最大平均功率、最大操作温度、热稳定性、以及可靠性...
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