技术编号:6816850
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻投影装置,其包括至少一个可在其上夹紧物体的支撑结构,支撑结构和夹紧在该支撑结构上的物体形成了隔腔;以及与所述隔腔相通的供给装置,所述供给装置构造并设置成可为所述隔腔提供流体。背景技术 通常在光刻投影装置中,至关重要的是能够检测物体是否已被正确地放置在支撑结构上。例如晶片台上的晶片或掩模台上的掩模均是这种情况。为此,支撑结构和/或物体设计成使得能与放置于该支撑结构上的物体一起形成一个封闭的空间。在大气状况下工作的光刻装置中,物体通常通过抽空...
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