技术编号:6824893
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种正型感光性树脂组合物。具体涉及一种可通过光刻技术形成图案膜的感光性树脂组合物,及具有以该感光性树脂组合物形成层间绝缘膜或平坦化膜的平板显示器(FPD)及半导体器件。背景技术在制造LSI等半导体集成电路或FPD显示面、制造热敏头等电路基板等为首的广阔领域中,历来使用光刻技术制造精细原件或进行精细加工。在该光刻技术中,感光性树脂组合物用于形成抗蚀图案。近年来,作为感光性树脂组合物的新用途,半导体集成电路或 FPD等的层间绝缘膜或平坦化膜的形成技术...
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