专利名称：一种感光性树脂组合物及其应用的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种正型感光性树脂组合物。具体涉及一种可通过光刻技术形成图案膜的感光性树脂组合物，及具有以该感光性树脂组合物形成层间绝缘膜或平坦化膜的平板显示器(FPD)及半导体器件。
背景技术：
在制造LSI等半导体集成电路或FPD显示面、制造热敏头等电路基板等为首的广阔领域中，历来使用光刻技术制造精细原件或进行精细加工。在该光刻技术中，感光性树脂组合物用于形成抗蚀图案。近年来，作为感光性树脂组合物的新用途，半导体集成电路或 FPD等的层间绝缘膜或平坦化膜的形成技术倍受关注。尤其是，市场对于FPD显示面的高精细化或缩短以TFT(薄膜晶体管)等为代表的半导体原件的制造工序的需求较强。为了达到FPD显示面的高精细化，抑制电路内的传送损失非常重要，因此具有低介电性优异的精细图案的层间绝缘膜或平坦化膜被视作必要的材料。另外，对于缩短半导体原件的制造工序，出于保护源或门电极的目的，不希望通过真空蒸镀法形成氮化硅 (SiNx)等无机层间绝缘膜，而是希望以可通过湿法容易形成的有机绝缘膜替代。因此，有机绝缘膜必须具有与SiNx同等的绝缘性，需要介电常数低于3. 0的低介电性层间绝缘膜。为了得到所述的具有低介电性的层间绝缘膜或平坦化膜，感光性树脂组合物中碱可溶性树脂的比例极大，涉及此种用途中所用的感光性树脂组合物的研究较多。例如，专利文献1公开了如下技术，其将不饱和羧酸和具有环氧基的自由基聚合物用作制备层间绝缘膜或平坦化膜的感光性树脂组合物的碱可溶性树脂，可以形成具有良好的显影性并且解像度较高的图案膜。但是，众所周知，由于所述的碱可溶性树脂所含有的结构单元是由(甲基)丙烯酰基所构成，因此难以得到充分的低介电性。另一方面，专利文献2公开了以下内容，将以苯乙烯类、(甲基)丙烯酸及羟烷基酯为结构单元的共聚体用作制备层间绝缘膜或平坦化膜的感光性树脂组合物的碱可溶性树脂。但是，当树脂中导入大量的苯乙烯类时，树脂的疏水性较高，因此虽然能够维持显影时较高的残膜率，但是显影残渣较多，难以得到充分的显影性。为了解决上述问题，在可用作FPD或半导体器件等的层间绝缘膜或平坦化膜的感光性树脂组合物中，寻求一种能形成可以维持高残膜率、无显影残渣、显影性好、低介电性优异的高解像度图案膜的组合物。现有技术文献专利文献1 日本特开平74486 号公报专利文献2 日本特开2004-4233号公报
发明内容
本发明要解决的技术问题鉴于上述事实，本发明的目的是提供一种感光性树脂组合物，其在形成图案膜的显影工序中，可维持较高的残膜率，无显影残渣，即使在高温焙烧后也不会损伤光透射率、 耐溶剂性等的涂膜物性，能够形成低介电性优异的图案膜。此外，本发明的第二个目的是提供一种FPD或半导体器件，其具有以上述优异的感光性树脂组合物形成的平坦化膜或层间绝缘膜。并且，本发明的第三个目的是提供一种FPD或半导体器件，不形成SiNx等无机层间绝缘膜，而是具有可通过湿法工序以上述优异的感光性树脂组合物容易地形成的有机层间绝缘膜。解决上述问题的技术手段为了达到上述目的，本发明的一个实施方式的感光性树脂组合物具有成分(A)、成分⑶及成分(C)，相对于100质量份的成分(A)，成分⑶的组成比例为5 50质量份， 成分(C)的组成比例为1 50质量份。所述成分(A)是共聚体，其具有下述式(1)所示的由衣康酸二酯单体衍生的结构单元(al)、下述式(2)所示的由乙烯基芳香族单体衍生的结构单元(a2)及下述式(3)所示的由α，β -不饱和羧酸单体衍生的结构单元(a3)，相对于结构单元(al)与结构单元(a2)的总量，结构单元(al)为15 95质量％，结构单元(a2) 为5 85质量％，同时相对于100质量份的结构单元(al)与结构单元(a2)的总量，结构单元(a3)为5 150质量份。[化学式1]
权利要求
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述感光性树脂组合物具有成分(A)、成分(B)及成分(C)，相对于100质量份的成分(A)，成分(B)的组成比例为5 50质量份，成分(C)的组成比例为1 50质量份；所述成分(A)是共聚体，其具有下述式(1)所示的由衣康酸二酯单体衍生的结构单元 (al)、下述式(2)所示的由乙烯基芳香族单体衍生的结构单元(a2)及下述式(3)所示的由 α，不饱和羧酸单体衍生的结构单元(a3)；相对于结构单元(al)与结构单元(a2)的总量，结构单元(al)为15 95质量％，结构单元(a2)为5 85质量％，同时相对于100质量份的结构单元(al)与结构单元(a2)的总量，结构单元(a3)为5 150质量份； [化学式1]
2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述共聚体成分(A)除了具有结构单元(al)、结构单元(a2)及结构单元(a3)之外，还具有如下述式(4)所示的由(甲基)丙烯酸酯单体衍生的结构单元(a4)，相对于100质量份的结构单元(al)与结构单元 (a2)的总量，结构单元(a4)为5 140质量份；[化学式4]
3.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，具有由所述成分(A)、所述成分(B)及所述成分(C)构成的必要成分。
4.一种平板显示器，其特征在于，具有由权利要求1 3任一项所述感光性树脂组合物制得的图案膜。
5.一种半导体器件，其特征在于，具有由权利要求1 3任一项所述感光性树脂组合物制得的图案膜。
全文摘要
本发明涉及一种感光性树脂组合物，其具有成分(A)、(B)及(C)，相对于100质量份的成分(A)，成分(B)的组成比例为5～50质量份，成分(C)的组成比例为1～50质量份。成分(A)是共聚体，其具有由特定的衣康酸二酯单体衍生的结构单元(a1)、由特定的乙烯基芳香族单体衍生的结构单元(a2)及由特定的α，β-不饱和羧酸单体衍生的结构单元(a3)。成分(B)为具有醌二叠氮基的酯化合物，成分(C)为具有环氧基的交联性化合物。
文档编号H01L21/027GK102576191SQ20108001604
公开日2012年7月11日 申请日期2010年10月5日 优先权日2009年10月9日
发明者二户吉德, 加藤行浩, 田口宽之 申请人:日油株式会社