感光性树脂组合物的制作方法

感光性树脂组合物的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有(A)、(B)、(C)及(D)，其中，(A)为具有具酚性羟基的结构单元，且不具有含碳数4～6的全氟烷基的结构单元的聚合物，(B)为含有含碳数4～6的全氟烷基的结构单元的聚合物，(C)为聚合性化合物，(D)为聚合引发剂。
【专利说明】
感光性树脂组合物
技术领域
[0001 ]本发明设及感光性树脂组合物。
【背景技术】
[0002] 在近年的显示设备等中，滤色器、液晶显示元件的口 0电极、有机化显示元件、电路 布线基板等通过喷墨法来制作。另外，喷墨法中，利用使用感光性树脂组合物形成的隔壁。
[0003] 作为运样的感光性树脂组合物，例如作为树脂已知含有甲基丙締酸与3,4-环氧Ξ 环[5.2.1.02'6]癸基丙締酸醋的共聚物的感光性树脂组合物(专利文献1)。
[0004] 现有技术文献
[0005] 专利文献
[0006] 专利文献1:日本特开2012-73603号公报

【发明内容】

[0007] 在W形成于基板上的隔壁和基板所共同区划的凹部中，使用喷墨印刷装置涂布含 有有机功能性材料的墨液时，优选基盘表面的润湿性高W使得凹部基盘表面完全被墨液被 覆，并且为了防止墨液漏出至目的领域W外而优选隔壁的上表面的润湿性低(疏液性高）。 然而，使用W往提出的感光性树脂组合物所形成的隔壁与基板所区划出的凹部基盘表面的 润湿性有时无法满足要求。
[000引本发明提供W下的[1]~[7]的技术方案。
[0009] [ 1 ]含有(A)、(B)、（C)及(D)的感光性树脂组合物。
[0010] (A)具有具酪性径基的结构单元，且不具有含碳数4~6的全氣烷基的结构单元的 聚合物
[0011] (B)含有含碳数4~6的全氣烷基的结构单元的聚合物
[0012] (C)聚合性化合物 [001引（D)聚合引发剂。
[0014] [2]根据[1]所述的感光性树脂组合物，其中（B)为进一步具有来自选自由不饱和 簇酸及不饱和簇酸酢所组成的组中至少1种单体的结构单元的聚合物。
[001引[3]根据聚合引发剂的山或[2]所述的感光性树脂组合物，其中，（D)为含有选自 由联咪挫化合物、烷基苯基酬化合物及0-酷基朽化合物所组成的组中的至少1种的聚合引 发剂。
[0016] [4]由[1]~[3]中任一项所述的感光性树脂组合物所形成的图案。
[0017] [引由[1]~[3]中任一项所述的感光性树脂组合物所形成的喷墨印刷用隔壁。
[0018] [6]含有[4]记载的图案的显示设备。
[0019] [7]含有[引记载的喷墨印刷用隔壁的显示设备。
[0020] 根据本发明的感光性树脂组合物，可得到润湿性优异的图案、即能够得到隔壁与 基板所区划出的凹部基盘表面的润湿性高且隔壁上表面的疏液性高的图案。
【附图说明】
[0021] 图1为将显示设备1的一部分放大的示意截面图。
[0022] 图2为将本发明的一实施方式的显示设备1的一部分放大的示意俯视图。
【具体实施方式】
[0023] 本发明的感光性树脂组合物为含有(A)、(B)、（C)及(D)的感光性树脂组合物。
[0024] (A)为具有具酪性径基的结构单元，且不具有含碳数4~6的全氣烷基的结构单元 的聚合物下有时称"树脂(ΑΓ)
[0025] (B)为含有含碳数4~6的全氣烷基的结构单元的聚合物下有时称为"树脂 (ΒΓ)
[0026] (C)为聚合性化合物
[0027] (D)为聚合引发剂
[0028] 进而，本发明的感光性树脂组合物可含有选自由树脂(A)及树脂(B)W外的树脂 (W下有时称"树脂(Air)、聚合引发助剂(D1)、多官能硫醇化合物(T)、溶剂巧)及表面活性 剂(巧所组成的组中的至少1种。
[0029] 另外，本说明书中，作为各成分而例示的化合物在不特别限定时，可单独或组合使 用。
[0030] 树脂(A)为含有具有酪性径基的结构单元的树脂，且该结构单元衍生自具有酪性 径基的单体(a) (W下有时称"(a)")。
[0031] 树脂(A)进一步可含有来自（a) W外的单体(x)(但，不具有碳数4~6的全氣烷基） (W下有时称"(χΓ)的结构单元。
[0032] (a)优选为具有酪性径基与締属不饱和双键的单体。
[0033] 具有酪性径基与締属不饱和双键的单体，具体上例如可举出邻径基苯乙締、间径 基苯乙締、对径基苯乙締、径基苯基（甲基)丙締酸醋、径基苯基（甲基)丙締酷胺、径基苯基 马来酷亚胺等。
[0034] 本说明书中，"(甲基)丙締酸"是指选自由丙締酸及甲基丙締酸所组成的组中的至 少1种。"(甲基俩締酷基"及"(甲基俩締酸醋"等表示也有相同意义。
[0035] 若(X)为(a) W外的单体，且为不具有碳数4~6的全氣烷基的单体，则不特别限定， 例如可举出具有碳数2~4的环状酸结构的单体(b)(W下有时称为"(b)")、由不饱和簇酸及 不饱和簇酸酢所组成的组中选择的至少一种的单体(e)(W下有时称为"(e)")、其他的单体 ((3)(^下有时称为"((3)")。优选为化)和/或((3)。
[0036] (b)为具有碳数2~4的环状酸结构(例如从环氧乙烧、氧杂环下烧环及四氨巧喃环 所组成的组中选择的至少巧巾）的单体，优选为具有碳数2~4的环状酸结构与締属不饱和双 键的单体，更优选为具有碳数2~4的环状酸结构与（甲基)丙締酷基氧基的单体。
[0037] 作为化），例如可举出具有环氧乙基的单体(bl)(W下有时称"(bin、具有氧杂环 下基的单体(b2)(W下有时称"(b2)")、具有四氨巧喃基的单体(b3)(W下有时称"(b3)") 等。
[0038] 作为(bl)，可举出具有不饱和脂肪族控被环氧化的结构的单体(bl-l)(W下有时 称"(bl-ir)、具有不饱和脂环式控被环氧化的结构的单体(bl-2)(w下有时称"(bl-2)")。
[0039] 作为(bl)，优选具有环氧乙基与（甲基)丙締酷基氧基的单体，更优选具有不饱和 脂环式控被环氧化的结构与（甲基)丙締酷基氧基的单体。若为运些更优选的单体，则感光 性树脂组合物的保存稳定性优异。
[0040] 作为(bl-1)，具体可举出缩水甘油基（甲基)丙締酸醋、β-甲基缩水甘油基（甲基） 丙締酸醋、0-乙基缩水甘油基（甲基)丙締酸醋、缩水甘油基乙締基酸、邻乙締基苄基缩水甘 油基酸、间乙締基苄基缩水甘油基酸、对乙締基苄基缩水甘油基酸、α-甲基-邻乙締基苄基 缩水甘油基酸、曰-甲基-间乙締基苄基缩水甘油基酸、曰-甲基-对乙締基苄基缩水甘油基酸、 2,3-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙締、2,4-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙締、2,5-双(缩水 甘油基氧基甲基)苯乙締、2,6-双(缩水甘油基氧基甲基）苯乙締、2,3,4-Ξ(缩水甘油基氧 基甲基)苯乙締、2,3,5-Ξ(缩水甘油基氧基甲基)苯乙締、2,3,6-Ξ(缩水甘油基氧基甲基） 苯乙締、3,4,5-Ξ(缩水甘油基氧基甲基)苯乙締、2,4,6-Ξ(缩水甘油基氧基甲基)苯乙締、 日本特开平7-248625号公报记载的化合物等。
[0041 ] 作为（bl-2)，可举出乙締基环己締单氧化物、1,2-环氧-4-乙締基环己烧（例如 Celloxide(注册商标)2000;大赛踰化学工业株式会社制）、丙締酸3,4-环氧环己基甲醋(例 如切clomer(注册商标)A400;大赛踰化学工业株式会社制）、甲基丙締酸3,4-环氧环己基甲 醋（例如切clomer(注册商标)M100;大赛踰化学工业株式会社制）、式（I)所表示的化合物、 式(II)所表示的化合物等。
[0042]
[0043] [式（I)及式（II)中，Ri及R2各自独立地表示氨原子、或碳数1~4的烷基，该烷基所 包含的氨原子可W径基取代。
[0044] χ?及χ2各自独立地表示单键、*-r3-、*-r3-〇-、*-r3-s-、或 *-r3-nh-。
[0045] R3表示碳数1~6的烧控二基。
[0046] *表示与0的键合端。]
[0047] 作为Ri及R2所表示的碳数1~4的烷基，例如可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正 下基、仲下基、叔下基等。
[004引作为被径基取代的烷基，例如可举出径基甲基、1-径基乙基、2-径基乙基、1-径基 丙基、2-径基丙基、3-径基丙基、1-径基-1-甲基乙基、2-径基-1-甲基乙基、1-径基下基、2- 径基下基、3-径基下基、4-径基下基等。
[0049] 作为Ri及R2,优选可举出氨原子、甲基、径基甲基、1-径基乙基、2-径基乙基，更优选 可举出氨原子、甲基。
[0050] 作为R3所表示的碳数1~6的烧控二基，例如可举出亚甲基、亚乙基、丙烷-1,2-二 基、丙烷-1,3-二基、下烧-1,4-二基、戊烧-1,5-二基、己烧-1,6-二基等。
[0051 ] 作为χ?及X2,优选可举出单键、亚甲基、亚乙基、*-畑2-0-( *为与0的键合端） 基、* -c出c出-ο-基，更优选可举出单键、* -c出c出-ο-基。
[0052]作为式（I)所表示的化合物，例如可举出式（1-1)~式（1-15)所表示的化合物等。 其中优选式(1-1)、式(1-3)、式(1-5)、式(1-7)、式(1-9)或式(1-11)~式(1-15)所表示的化 合物，更优选式(1-1)、式(1-7)、式(1-9)或式(1-15)所表示的化合物。
[0化3]
[0054]作为式(II)所表示的化合物，可举出式（ΙΙ-1)~式(11-15)所表示的化合物等。其 中优选式（11-1)、式（11-3)、式(11-5)、式(11-7)、式（ΙΙ-9)或式（11-11)~式(11-15)所表 示的化合物，更优选式(11-1)、式(11-7)、式(ΙΙ-9)或式(11-15)所表示的化合物。
[ο化5]
[0056] 式(I)所表示的化合物及式(II)所表示的化合物可各自单独使用或巧巾W上并用。 并用式（I)所表示的化合物及式（II)所表示的化合物时，它们的含有比率〔式（I)所表示的 化合物:式（II)所表示的化合物）W摩尔基准计，优选为5:95~95:5、更优选为20:80~80: 20 〇
[0057] 作为化2)，优选具有氧杂环下基与（甲基)丙締酷基氧基的单体。作为化2)，例如可 举出3-甲基-3-(甲基)丙締酷基氧基甲基氧杂环下烧、3-乙基-3-(甲基)丙締酷基氧基甲基 氧杂环下烧、3-甲基-3-(甲基）丙締酷基氧基乙基氧杂环下烧、3-乙基-3-(甲基)丙締酷基 氧基乙基氧杂环下烧等。
[0058] 作为化3)，优选具有四氨巧喃基与（甲基)丙締酷基氧基的单体。
[0059] 作为化3)，具体可举出四氨慷基丙締酸醋(例如VISC0ATV#150、大阪有机化学工业 株式会社制）、四氨慷基甲基丙締酸醋等。
[0060] 作为(e)，可举出不饱和簇酸类、不饱和簇酸酢类。
[0061] 作为不饱和簇酸类，可举出丙締酸、甲基丙締酸、己豆酸、乙締基苯甲酸、马来酸、 富马酸、巧康酸、甲基延胡索酸、衣康酸、乙締基邻苯二甲酸、3,4,5,6-四氨邻苯二甲酸、1， 2,3,6-四氨邻苯二甲酸、二甲基四氨邻苯二甲酸、1、4-环己締二簇酸、甲基-5-降冰片締-2， 3-二簇酸、5-簇基双环[2.2.1 ]庚-2-締、5，6-二簇基双环[2.2.1 ]庚-2-締、5-簇基-5-甲基 双环[2.2.1]庚-2-締、5-簇基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-締、5-簇基-6-甲基双环[2.2.1] 庚-2-締、5-簇基-6-乙基双环[2.2.1]庚-2-締、班巧酸单〔2-(甲基)丙締酷基氧基乙基)醋、 邻苯二甲酸单〔2-(甲基)丙締酷基氧基乙基)醋、α-巧圣基甲基)丙締酸等。
[0062] 作为不饱和簇酸酢类，可举出马来酸酢、巧康酸酢、衣康酸酢、3-乙締基邻苯二甲 酸酢、4-乙締基邻苯二甲酸酢、3，4,5,6-四氨邻苯二甲酸酢、1，2,3,6-四氨邻苯二甲酸酢、 二甲基四氨邻苯二甲酸酢、5,6-二簇基双环[2.2.1]庚-2-締酸酢等不饱和二簇酸类酸酢 等。
[0063] 作为(C)，可举出（甲基)丙締酸醋类、N-取代马来酷亚胺类不饱和二簇酸二醋类、 脂环式不饱和化合物类、苯乙締类、其他的乙締基化合物等。其中优选（甲基)丙締酸醋类、 苯乙締类。
[0064] 作为（甲基)丙締酸醋类，可举出甲基丙締酸甲基醋、（甲基)丙締酸甲基醋、（甲基） 丙締酸乙基醋、（甲基)丙締酸正下基醋、（甲基)丙締酸仲下基醋、（甲基)丙締酸叔下基醋等 烷基醋类；
[0065] 环己基（甲基）丙締酸醋、2-甲基环己基（甲基）丙締酸醋、Ξ环[5.2.1.02'6]癸烧- 8-基（甲基)丙締酸醋(在该技术领域，惯用名为二环戊烷基（甲基)丙締酸醋。）、二环戊烷基 氧基乙基（甲基)丙締酸醋、Ξ环[5.2.1.02'6]癸締-8-基（甲基)丙締酸醋(在该技术领域，惯 用名为"二环戊締（甲基)丙締酸醋"。）、异冰片基（甲基)丙締酸醋等环烷基醋类；
[0066] 2-径基乙基（甲基)丙締酸醋、2-径基丙基（甲基)丙締酸醋等径基烷基醋类；
[0067] 苯基（甲基)丙締酸醋、苄基（甲基)丙締酸醋等芳基及芳烷基醋类等。
[0068] (甲基)丙締酸醋类中，优选烷基醋类。
[0069] 作为不饱和二簇酸二醋类，可举出马来酸二乙基醋、富马酸二乙基醋、衣康酸二乙 基酯等。
[0070] 作为N-取代马来酷亚胺类，可举出N-苯基马来酷亚胺、N-环己基马来酷亚胺、N-节 基马来酷亚胺、N-班巧酷亚胺-3-马来酷亚胺苯甲酸醋、N-班巧酷亚胺-4-马来酷亚胺下酸 醋、N-班巧酷亚胺-6-马来酷亚胺己酸醋、N-班巧酷亚胺-3-马来酷亚胺丙酸醋、N-(9-日丫晚 基)马来酷亚胺等。
[0071] 作为脂环式不饱和化合物类，可举出双环[2.2.1]庚-2-締、5-甲基双环[2.2.1] 庚-2-締、5-乙基双环[2.2.1]庚-2-締、5-径基双环[2.2.1]庚-2-締、5-径基甲基双环
[2.2.1] 庚-2-締、5-(2'-径基乙基)双环[2.2.1]庚-2-締、5-甲氧基双环[2.2.1]庚-2-締、 5-乙氧基双环[2.2.1]庚-2-締、5,6-二径基双环[2.2.1]庚-2-締、5,6-二巧圣基甲基)双环 [2.2.^庚-2-締、5,6-二（2'-径基乙基)双环[2.2.。庚-2-締、5,6-二甲氧基双环[2.2.1] 庚-2-締、5,6-二乙氧基双环[2.2.1 ]庚-2-締、5-径基-5-甲基双环[2.2.1 ]庚-2-締、5-美圣 基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-締、5-径基甲基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-締、5-叔下氧基幾 基双环[2.2.1]庚-2-締、5-环己基氧基幾基双环[2.2.1]庚-2-締、5-苯氧基幾基双环
[2.2.1] 庚-2-締、5,6-双(叔下氧基幾基)双环[2.2.1]庚-2-締、5,6-双(环己基氧基幾基） 双环[2.2.1 ]庚-2-締等双环不饱和化合物类等。
[00巧作为苯乙締类，可举出苯乙締、α-甲基苯乙締、间甲基苯乙締、对甲基苯乙締、乙締 基甲苯、对甲氧基苯乙締等。其中优选苯乙締、乙締基甲苯。
[0073] 作为其他的乙締基化合物，可举出（甲基）丙締腊、氯代乙締、偏氯乙締、（甲基）丙 締酷胺、乙酸乙締醋、1,3-下二締、异戊二締及2,3-二甲基-1,3-下二締等。
[0074] 树脂(Α)可为仅由来自（a)的结构单元所构成的树脂，但优选为包含来自（a)的结 构单元与来自（X)的结构单元的树脂。
[0075] 树脂(A)为包含来自（a)的结构单元与来自（X)的结构单元的树脂时，来自各单体 的结构单元的比率，相对构成树脂(A)的结构单元的合计摩尔数，优选W处于W下范围。
[0076] 来自（a)的结构单元;5~70摩尔％ (更优选为10~60摩尔％ )
[0077] 来自（X)的结构单元;30~95摩尔％ (更优选为40~90摩尔％ )
[0078] 若上述树脂(A)的结构单元的比率处于上述范围内，则感光性树脂组合物的保存 稳定性、由感光性树脂组合物形成图案时的显影性、W及得到的涂膜及图案的耐溶剂性、耐 热性及机械强度有变得良好的倾向。
[0079] 树脂(A)可参考例如文献《高分子合成的实验法》(大津隆行著发行所(株)化学同 人第1版第1次印刷1972年3月1日发行)记载的方法及该文献记载的引用文献来制造。
[0080] 具体而言，例如将(a)及根据需要使用的（X)的特定量、聚合引发剂W及溶剂等投 入反应容器中，例如W氮将大气中的氧取代，由此设定脱氧环境，并边揽拌边加热及保溫的 方法。另外，在此对使用的聚合引发剂及溶剂等不特别限定，在该领域通常使用的物质皆可 使用。例如作为聚合引发剂，例如可举出偶氮化合物(2,2'-偶氮双异下腊、2,2'-偶氮双(2， 4-二甲基戊腊)等)或有机过氧化物(苯甲酯基过氧化物等），溶剂只要为溶解各单体的溶剂 即可，作为感光性树脂组合物的溶剂化)可使用后述溶剂等。为了调整得到的树脂的分子 量，聚合反应时，可添加链转移剂。作为链转移剂，可举出正下烧硫醇、叔下烧硫醇、正十二 烧硫醇、2-琉基乙醇、乙硫醇酸、乙硫醇酸乙基醋、乙硫醇酸2-乙基己基醋、乙硫醇酸甲氧基 下基醋、3-琉基丙酸、含琉基娃酬化F-2001:信越化学制)等硫醇类;氯仿、四氯化碳、四漠化 碳等面素代烷基醋类等。
[0081] 聚合时，可使用将(a)所具有的酪性径基预先W保护基保护的单体。作为保护基， 可举出叔下基等叔烷基；乙酷基等酷基。使用运样的预先W保护基保护的单体进行聚合后， 通过使该保护基脱保护，由此可得到树脂(A)。
[0082] 另外，得到的聚合物，可直接使用反应后的溶液、也可使用浓缩或者经稀释的溶 液、也可使用W再沉淀等方法取出为固体(粉体）的物质。尤其，该聚合时，作为溶剂通过使 用与后述溶剂化)相同溶剂，反应后的溶液可直接使用，可简化制造工序。
[0083] 树脂(A)的聚苯乙締换算的重均分子量，优选为3，000~100，000、更优选为5，000 ~50,000。若树脂(A)的重均分子量在上述范围内，则有涂布性优异的倾向，且显影时不易 产生曝光部的膜减少，进一步非曝光部易在显影中除去。
[0084] 树脂(A)的分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Μη)]优选为1.1~6.0、更优 选为1.2~4.0。若分子量分布在上述范围，则有显影性优异的倾向。
[0085] 树脂(Α)的酸值，通常为20~150m排OH/g、优选为40~135m巧OH/g、更优选为50~ 135mgK0H/g。在此酸值为W中和树脂Ig所需要氨氧化钟的量(mg)测定的值，可通过使用氨 氧化钟水溶液进行滴定求出。
[0086] 树脂(A)的含量，相对树脂(A)、树脂(B)、树脂(A1)及聚合性化合物(C)的合计量， 优选为5~95质量％、更优选为20~80质量％、特佳为40~60质量％。若树脂(A)的含量在上 述范围内，则感光性树脂组合物的显影性、得到的图案的密合性、耐溶剂性及机械特性有变 得良好的倾向。
[0087] 本发明的感光性树脂组合物含有树脂(B)。树脂(B)为含有含碳数4~6的全氣烷基 的结构单元、来自单体(d)(w下有时称为"(d)")的结构单元的聚合物。
[0088] 作为(d)，可举出式(d-0)所表示的化合物。
[0089]
[0090] [式(d-0)中，Rf表示碳数4~6的全氣烷基。
[0091] Rd表示氨原子、面素原子、氯基、苯基、苄基或碳数1~21的烷基，该烷基所包含的 氨原子可被面素原子或径基取代。
[0092] Xd表示单键、碳数1~10的2价脂肪族控基、碳数3~10的2价脂环式控基或碳数6~ 12的2价芳香族控基，该脂肪族控基及该脂环式控基所包含的-C也-可被-0-、-C0-、-NR6-、- 5- 或-SO厂所置换。]
[0093] Rf为碳数4~6的全氣烷基，优选全氣下基及全氣己基。
[0094] Rd中的碳数1~21的烷基，可举出甲基、乙基、正丙基、正下基、正戊基、正己基、正 庚基、正辛基、正壬基、正癸基等直链状烷基;异丙基、异下基、仲下基、异戊基、1-甲基戊基、 2- 甲基戊基、3-甲基戊基、4-甲基戊基、1-乙基下基、2-乙基下基、1-甲基己基、2-甲基己基、 3- 甲基己基、4-甲基己基、5-甲基己基、1-乙基戊基、2-乙基戊基、3-乙基戊基、1-丙基了基、 1- 甲基庚基、2-甲基庚基、3-甲基庚基、4-甲基庚基、5-甲基庚基、6-甲基庚基、1-乙基己基、 2- 乙基己基、3-乙基己基、4-乙基己基、2-丙基戊基、1-下基下基、1-下基-2-甲基下基、1-下 基-3-甲基下基、叔下基、1,1-二甲基丙基、1,1-二甲基下基、1,2-二甲基下基、1,3-二甲基 下基、2,3-二甲基下基、1-乙基-2-甲基丙基、1,1-二甲基戊基、1,2-二甲基戊基、1,3-二甲 基戊基、1,4-二甲基戊基、2,2-二甲基戊基、2,3-二甲基戊基、2,4-二甲基戊基、3,3-二甲基 戊基、3,4-二甲基戊基、1-乙基-1-甲基下基、2-乙基-3-甲基下基等支链状烷基等。
[00M]作为Rd优选为氨原子、面素原子及甲基。
[0096] 作为Xd中的碳数1~10的2价脂肪族控基，可举出亚甲基、亚乙基、丙烷-1,3-二基、 丙烷-1,2-^基、了烧-1,4-^基、了烧-1,3-^基、了烧-1,2-^基、戊烧-1,5-^基、己烧-1, 6- 二基、庚烧-1，7-二基、辛烧-1，8-二基等烧控二基。
[0097] 作为Xd中的碳数3~10的2价脂环式控基，可举出环丙烷二基、环下烧二基、环戊烧 二基、环己烧二基、环庚烧二基、环癸烧二基等。
[009引作为Xd中的碳数6~12的2价芳香族控基，例如可举出亚苯基、糞二基等。
[0099]作为碳数1~10的2价脂肪族控基及碳数3~10的2价脂环式控基所包含的-(：出- 被-0-、-C0-、-NR6-、-S-或者S〇2-所置换而得的xd，例如可举出式(xd-1)~式(xd-10)所表示 的基团等。
[0100]
[0101] 作为xd优选碳数1~6的烧控二基、更优选亚乙基。
[0102] 作为(d)优选式(d-θ'）所表示的化合物。
[0103]
[0104] [式(d-θ'）中，Rh表示碳数4~6的全氣烷基。
[0105] Rg表示氨原子、面素原子或甲基。]
[0106] 作为式(d-0)所表示的化合物，例如可举出化合物(d-1)~化合物(d-94)等。表中， xd栏所示的式编号为上述例示基团的式编号。另外，例如化合物(d-1)为下述式(d-1)所表 示的化合物。
[0107]
[010 引[表 1]
[0109]
[0110]
[0113]
[0114] 作为树脂(B)优选含有来自含碳数4~6的全氣烷基的单体(d)的结构单元、与来自 由不饱和簇酸及不饱和簇酸酢所组成的组中选出的至少1种的单体(e)的结构单元的聚合 物，更优选含有来自（d)的结构单元与来自（e)的结构单元与来自（b)的结构单元的树脂。通 过树脂(B)含有来自（e)的结构单元，显影性优异，因此有抑制来自残渣或显影的不均的倾 向。
[0115] 通过树脂(B)含有来自（b)的结构单元，有耐溶剂性优异的倾向，因而优选。另外， 树脂(B)也可含有来自（C)的结构单元。作为(e)、（b)及（C)，例如可举出与上述相同的结构 单元。
[0116] 树脂(B)为（e)与（d)的聚合物时，来自各单体的结构单元的比率，相对构成树脂 (B)的结构单元的合计摩尔数，优选处于W下范围。
[0117]来自（e)的结构单元;5~50质量％ (更优选为10~40质量％)
[0118] 来自（d)的结构单元;50~95质量％(更优选为70~90质量％)
[0119] 树脂(B)为(e)、（b)及(d)的聚合物时，来自各单体的结构单元的比率，相对构成树 月旨(B)的结构单元的合计摩尔数，优选处于W下范围。
[0120] 来自（e)的结构单元;5~40质量％ (更优选为10~30质量％ )
[0121] 来自（b)的结构单元;5~80质量％ (更优选为10~70质量％ )
[0122] 来自（d)的结构单元;10~80质量％ (更优选为20~70质量％ )
[0123] 树脂(B)为(e)、（b)、（c)及(d)的聚合物时，来自各单体的结构单元的比率，相对构 成树脂(B)的结构单元的合计摩尔数，优选处于W下范围。
[0124] 来自（e)的结构单元;5~40质量％ (更优选为10~30质量％ )
[0125] 来自（b)的结构单元;5~70质量％ (更优选为10~60质量％ )
[01%]来自（C)的结构单元;10~50质量％ (更优选为20~40质量％ )
[0127] 来自（d)的结构单元;10~80质量％ (更优选为20~70质量％ )
[0128] 各结构单元的比率处于上述范围时，有疏液性、显影性优异的倾向。
[01巧]树脂（B)的聚苯乙締换算的重均分子量，优选为3000~20000,更优选为5000~ 15000。若树脂(B)的重均分子量在上述优选范围，则有涂布性优异的倾向且显影时难W产 生曝光部的膜减少，进一步非曝光部易于在显影中除去。
[0130] 树脂(B)的酸值为20~200m巧OH/g、优选为40~150m巧OH/g。
[0131] 相对树脂(A)、树脂(A1)及聚合性化合物(C)的合计量100质量份，树脂(B)的含量 优选为0.001~10质量份、更优选为0.01~5质量份。若树脂(B)的含量在上述优选范围内， 则图案形成时显影性优，且得到的图案有疏液性优异的倾向。
[0132] 本发明的感光性树脂组合物只要为树脂(A)及树脂(B)W外的树脂、即不同时具有 酪性径基及碳数4~6的全氣烷基的树脂则没有特别的限制。作为树脂(A1)，例如可举出
[0133] 树脂(Al-l):(e)与(b)进行聚合而成的聚合物、
[0134] 树脂(Al-2):(e)与(b)与（C)进行聚合而成的聚合物、
[0135] 树脂(Al-3):(e)与（C)进行聚合而成的聚合物、
[0136] 树脂(Al-4):(e)与（C)进行聚合而成的聚合物与(b)反应而得到的树脂、
[0137] 树脂(Al-5):(b)与(C)进行聚合而成的共聚物与(e)反应而得到的树脂等。
[013引其中优选树脂(A1-1)、树脂(A1-2)。
[0139] 树脂(A1-1)中，来自各单体的结构单元的比率，相对构成树脂(A1-1)的全部结构 单元的合计摩尔数，优选处于W下范围。
[0140] 来自（e)的结构单元;5~60摩尔％ (更优选为10~50摩尔％ )
[0141 ] 来自（b)的结构单元;40~95摩尔％ (更优选为50~90摩尔％ )
[0142] 若树脂(A1-1)的结构单元的比率处于上述范围，则有感光性树脂组合物的保存稳 定性、由感光性树脂组合物形成图案时的显影性、W及得到的涂膜及图案的耐溶剂性变得 良好的倾向。
[0143] 树脂(A1-2)中，来自各单体的结构单元的比率，相对构成树脂(A1-2)的全部结构 单元的合计摩尔数优选处于W下范围。
[0144] 来自（e)的结构单元;2~45摩尔％ (更优选为5~40摩尔％ )
[0145] 来自（b)的结构单元;2~95摩尔％ (更优选为5~80摩尔％ )
[0146] 来自（C)的结构单元;1~65摩尔％ (更优选为5~60摩尔％ )
[0147] 若树脂(A1-2)的结构单元的比率处于上述范围，则有感光性树脂组合物的保存稳 定性、由感光性树脂组合物形成图案时的显影性、W及得到的涂膜及图案的耐溶剂性变得 良好的倾向。
[0148] 树脂(A1-3)中，来自各单体的结构单元的比率，相对构成树脂(A1-3)的全部结构 单元的合计摩尔数，优选处于W下范围。
[0149] 来自（e)的结构单元;2~40摩尔％ (更优选为5~35摩尔％ )
[0150] 来自（C)的结构单元;60~98摩尔％ (更优选为65~95摩尔％ )
[0151] 若树脂(A1-3)的结构单元的比率处于上述范围，则有感光性树脂组合物的保存稳 定性、由感光性树脂组合物形成图案时的显影性、W及得到的涂膜及图案的耐溶剂性变得 良好的倾向。
[0152] 树脂(A1-1)~(A1-3)可W与树脂(A)相同方法制造。
[0153] 树脂(A1-4)为(e)与(C)的共聚物与(b)反应而得到的树脂。
[0154] 树脂(A1-4)可经例如二阶段工序制造。此时也可参考上述文献《高分子合成的实 验法》(大津隆行著发行所(株)化学同人第1版第1次印刷1972年3月1日发行)记载的方法、 日本特开2001-89533号公报记载的方法等制造。
[0155] 首先，作为第一阶段，与上述树脂(A)的制造方法相同地，得到(e)与(C)的聚合物。
[0156] 此时，与上述同样地，得到的共聚物可直接使用反应后的溶液、也可使用经浓缩或 者稀释的溶液、也可使用W再沉淀等方法W固体(粉体)取出的物质。另外，优选与上述相同 的聚苯乙締换算的重均分子量及分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Μη)]。
[0157] 但是，来自（e)及(C)的结构单元的比率，相对构成上述聚合物的全部结构单元的 合计摩尔数，优选处于W下范围。
[0158] 来自（e)的结构单元;5~50摩尔％ (更优选为10~45摩尔％ )
[0159] 来自（C)的结构单元;50~95摩尔％ (更优选为55~90摩尔％ )
[0160] 接着，作为第二阶段，使来自得到的聚合物的（e)的簇酸或簇酸酢的一部分与上述 (b)的环状酸反应。由于环状酸的反应性高、未反应的(b)不易残存，因此作为树脂(A1-2)所 使用的(b)优选(bl)或化2)、更优选为(bl-1)。
[0161] 具体而言，接上述，将烧瓶内气氛由氮取代为空气，将相对(e)的摩尔数为580摩 尔％的（b)，相对(e)、（b)及(C)的合计量为0.001~5质量％的簇基与环状酸的反应催化剂 (例如Ξ(二甲基氨基甲基)酪等）、及相对(e)、（b)及(C)的合计量为0.001~5质量％的阻聚 剂(例如对苯二酪等)置入烧瓶内，在60~130°C进行1~10小时反应，能够得到树脂(A1-4)。 另外，与聚合条件同样地，可考虑制造设备或聚合所致的发热量等，适当调整添加方法或反 应溫度。
[0162] 另外，此时，相对(e)的摩尔数，（b)的摩尔数优选为10~75摩尔％、更优选为15~ 70摩尔％。通过在上述优选范围，感光性树脂组合物的保存稳定性、由感光性树脂组合物形 成图案时的显影性、W及得到的涂膜及图案的耐溶剂性、耐热性、机械强度及灵敏度的平衡 有变得良好的倾向。
[0163] 关于树脂(A1-5)，作为第一阶段，可与上述树脂(A)的制造方法相同地，得到(b)与 (c)的聚合物。
[0164] 此时，与上述同样地，得到的共聚物，可直接使用反应后的溶液、也可使用经浓缩 或者稀释的溶液、也可使用W再沉淀等方法W固体(粉体)取出的物质。
[0165] 来自（b)及(C)的结构单元的比率，相对构成上述聚合物的全部结构单元的合计摩 尔数，优选处于W下范围。
[0166] 来自（b)的结构单元;5~95摩尔％ (更优选为10~90摩尔％ )
[0167] 来自（C)的结构单元;5~95摩尔％ (更优选为10~90摩尔％ )
[0168] 进一步，与树脂(A1-4)的制造方法同样地，可通过使(b)与（C)的聚合物中来自（b) 的环状酸与（e)所具有的簇酸或簇酸酢反应而得到。可使环状酸与簇酸或簇酸酢的反应产 生的径基进一步与簇酸酢反应。
[0169] 与上述聚合物反应的（e)的使用量，相对(b)的摩尔数，W5~80摩尔％优选。因环 状酸的反应性高、未反应的(b)不易残存，故作为(b)W(bl)优选、进一步W(bl-l)优选。
[0170] 树脂(A1)的聚苯乙締换算的重均分子量，优选为3,000~100,000、更优选为5,000 ~50，000。若树脂(A1)的重均分子量在上述优选范围，则有涂布性优异的倾向，且显影时不 易产生曝光部的膜减少、进一步非曝光部易在显影中除去。
[0171] 树脂(A1)的分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Μη)]，优选为1.1~6.0、更 优选为1.2~4.0。若分子量分布在上述优选范围，则有显影性优异的倾向。
[0172] 树脂（Α1)的酸值为20~150m巧OH/g、优选为40~135mgK0H/g、更优选为50~ 135m巧OH/g。
[0173] 含有树脂（A1)时，其含量，相对树脂（A)及树脂（A1)的合计量，优选为1~80质 量％、更优选为1~50质量％。若树脂(A1)的含量在上述优选范围，则可使图案W高灵敏度 形成，且显影性优异。
[0174] 本发明的感光性树脂组合物含有聚合性化合物(C)。
[0175] 聚合性化合物(C)为可通过聚合引发剂(D)所产生的活性自由基而进行聚合的化 合物，例如为具有締属不饱和键的化合物等、优选为（甲基)丙締酸醋化合物。
[0176] 作为具有1个締属不饱和键的聚合性化合物(C)，例如可举出与上述(a)、化)及山） 所列举的化合物相同的化合物，其中优选（甲基)丙締酸醋类。
[0177] 作为具有2个締属不饱和键的聚合性化合物(C)，例如可举出1,3-下二醇二（甲基） 丙締酸醋、1,3-下二醇（甲基)丙締酸醋、1,6-已二醇二（甲基炳締酸醋、乙二醇二（甲基)丙 締酸醋、二乙二醇二（甲基)丙締酸醋、新戊基二醇二（甲基)丙締酸醋、Ξ乙二醇二（甲基)丙 締酸醋、四乙二醇二（甲基）丙締酸醋、聚乙二醇二丙締酸醋、双酪A的双（丙締酷氧基乙基） 酸、乙氧基化双酪A二（甲基)丙締酸醋、丙氧基化新戊基二醇二（甲基）丙締酸醋、乙氧基化 新戊基二醇二（甲基)丙締酸醋、3-甲基戊烧二醇二（甲基)丙締酸醋等。
[0178] 作为具有3个W上締属不饱和键的聚合性化合物(C)，例如可举出Ξ径甲基丙烷Ξ (甲基）丙締酸醋、季戊四醇Ξ(甲基)丙締酸醋、立(2-径基乙基)异氯脈酸醋Ξ(甲基）丙締 酸醋、乙氧基化Ξ径甲基丙烷Ξ(甲基）丙締酸醋、丙氧基化Ξ径甲基丙烷Ξ(甲基）丙締酸 醋、季戊四醇四（甲基)丙締酸醋、二季戊四醇五（甲基)丙締酸醋、二季戊四醇六（甲基)丙締 酸醋、Ξ季戊四醇四（甲基)丙締酸醋、Ξ季戊四醇五（甲基)丙締酸醋、Ξ季戊四醇六（甲基） 丙締酸醋、Ξ季戊四醇屯（甲基）丙締酸醋、Ξ季戊四醇八（甲基）丙締酸醋、季戊四醇Ξ(甲 基)丙締酸醋与酸酢的反应物、二季戊四醇五（甲基)丙締酸醋与酸酢的反应物、Ξ季戊四醇 屯（甲基)丙締酸醋与酸酢的反应物、己内醋改性Ξ径甲基丙烷Ξ(甲基）丙締酸醋、己内醋 改性季戊四醇Ξ(甲基)丙締酸醋、己内醋改性立(2-径基乙基)异氯脈酸醋Ξ(甲基)丙締酸 醋、己内醋改性季戊四醇四（甲基)丙締酸醋、己内醋改性二季戊四醇五（甲基)丙締酸醋、己 内醋改性二季戊四醇六（甲基）丙締酸醋、己内醋改性Ξ季戊四醇四（甲基）丙締酸醋、己内 醋改性Ξ季戊四醇五（甲基）丙締酸醋、己内醋改性Ξ季戊四醇六（甲基）丙締酸醋、己内醋 改性Ξ季戊四醇屯（甲基）丙締酸醋、己内醋改性Ξ季戊四醇八（甲基）丙締酸醋、己内醋改 性季戊四醇Ξ(甲基)丙締酸醋与酸酢的反应物、己内醋改性二季戊四醇五（甲基)丙締酸醋 与酸酢的反应物、己内醋改性Ξ季戊四醇屯（甲基)丙締酸醋与酸酢的反应物等。
[0179] 其中优选具有3个W上締属不饱和键的聚合性化合物(C)，更优选二季戊四醇六 (甲基)丙締酸醋、立径甲基丙烷立（甲基)丙締酸醋、季戊四醇立（甲基)丙締酸醋。
[0180] 聚合性化合物(C)的含量，相对树脂(Α)、树脂(Α1)及聚合性化合物(C)的合计量， 优选为5~95质量％、更优选为20~80质量％。
[0181] 若聚合性化合物(C)的含量在上述范围，则灵敏度或得到的图案的强度、平滑性、 可靠性有变得良好的倾向。
[0182] 本发明的感光性树脂组合物含有聚合引发剂(D)。作为聚合引发剂(D)只要为可因 光或热的作用开始聚合的化合物则不被特别限定，可使用公知的聚合引发剂。
[0183] 聚合引发剂(D)，例如可举出0-酷基朽化合物、烷基苯基酬化合物、联咪挫化合物、 Ξ嗦化合物及酷基麟氧化物化合物。另外，也可使用日本特开2008-181087号公报中记载的 光和/或热阳离子聚合引发剂（例如由鐵阳离子与来自路易斯酸的阴离子所构成的引发 剂）。其中优选选自由联咪挫化合物、烷基苯基酬化合物及0-酷基目亏化合物所组成的组中的 至少1种。若为含有运些化合物的聚合引发剂，则有成为特别的高灵敏度的倾向，因而优选。
[0184] 上述0-酷基目亏化合物为具有式(dl)所表示的局部结构的化合物。W下，*为键合 玉山 乂而。
[0185]
[0186] 作为上述0-酷基朽化合物，例如可举出N-苯甲酯基氧基-1-(4-苯基琉基苯基）下 烧-1-酬-2-亚胺、N-苯甲酯基氧基-1-( 4-苯基琉基苯基)辛烧-1-酬-2-亚胺、N-苯甲酯基氧 基-1-( 4-苯基琉基苯基)-3-环戊基丙烷-1-酬-2-亚胺、N-乙酷氧基-1-[ 9-乙基-6-( 2-甲基 苯甲酯基)-9H-R卡挫-3-基]乙烧-1-亚胺、N-乙酷氧基-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(3,3-二甲 基-2，4-二氧杂环戊烷基甲基氧基)苯甲酯基} -9H-巧挫-3-基]乙烧-1-亚胺、N-乙酷氧基- 1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酯基)-9H-巧挫-3-基]-3-环戊基丙烷-1-亚胺、N-苯甲酯基氧 基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酯基)-9H-巧挫-3-基]-3-环戊基丙烷-1-酬-2-亚胺等。也可 使用IRGACURE (注册商标)0XE01、0XE02 (W上、BASF公司制）、N-1919 (AD邸A公司制）等市售 品。
[0187] 上述烷基苯基酬化合物为具有式(d2)所表示的局部结构或式(d3)所表示的局部 结构的化合物。运些局部结构中，苯环可具有取代基。
[018 引
[0189] 作为具有式(d2)所表示的局部结构的化合物，例如可举出2-甲基-2-吗嘟代-1- (4-甲基琉基苯基)丙烷-1-酬、2-二甲基氨基-1-(4-吗嘟代苯基)-2-苄基下烧-1-酬、2-(二 甲基氨基）-2-[(4-甲基苯基）甲基]-1-[4-(4-吗嘟基）苯基]下烧-1-酬等。也可使用 IRGACURE(注册商标)369、907、379(^上、8八5尸公司制)等市售品。
[0190] 作为具有式(d3)所表示的局部结构的化合物，例如可举出2-径基-2-甲基-1-苯基 丙烷-1-酬、2-径基-2-甲基-1-〔4-(2-径基乙氧基)苯基)丙烷-1-酬、1-径基环己基苯基酬、 2-径基-2-甲基-1-(4-异丙締基苯基)丙烷-1-酬的低聚物、α，α-二乙氧基苯乙酬、苯偶酷二 甲基缩酬等。
[0191] 从灵敏度的观点出发，作为烷基苯基酬化合物，优选具有式(d2)所表示的局部结 构的化合物。
[0192] 作为上述联咪挫化合物，可举出2,2'-双（2-氯苯基)-4,4'，5,5'-四苯基联咪挫、 2,2'-双(2,3-二氯苯基)-4,4'，5,5'-四苯基联咪挫(例如参照日本特开平6-75372号公报、 日本特开平6-75373号公报等。）、2，2 ' -双(2-氯苯基)-4，4 '，5，5 ' -四苯基联咪挫、2，2 ' -双 (2-氯苯基)-4,4'，5,5'-四（烷氧基苯基)联咪挫、2,2'-双(2-氯苯基)-4,4'，5,5'-四（二烧 氧基苯基)联咪挫、2，2 双(2-氯苯基)-4，4 '，5，5 ' -四（Ξ烷氧基苯基)联咪挫(例如参照日 本特公昭48-38403号公报、日本特开昭62-174204号公报等。）、4,4'，5,5'-位的苯基被幾基 烷氧基所取代的咪挫化合物(例如参照日本特开平7-10913号公报等。）等。优选可举出2， 2'-双(2-氯苯基)-4,4'，5,5'-四苯基联咪挫、2,2'-双(2、3-二氯苯基)-4,4'，5,5'-四苯基 联咪挫、2,2'-双(2、4-二氯苯基)-4,4'，5,5'-四苯基联咪挫。
[0193] 作为上述Ξ嗦化合物，可举出2,4-双(Ξ氯甲基）-6-(4-甲氧基苯基）-1，3,5-Ξ 嗦、2,4-双(Ξ氯甲基)-6-(4-甲氧基糞基)-1，3,5-Ξ嗦、2,4-双(Ξ氯甲基)-6-胡椒基-1， 3,5-Ξ嗦、2,4-双(Ξ氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙締基)-1，3,5-Ξ嗦、2,4-双(Ξ氯甲基)-6- 〔2-(5-甲基巧喃-2-基）乙締基)-1，3,5-Ξ嗦、2,4-双(Ξ氯甲基)-6-〔2-(巧喃-2-基）乙締 基)-1，3,5-Ξ嗦、2,4-双(Ξ氯甲基)-6-〔2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基）乙締基)-1,3,5- Ξ嗦、2,4-双(Ξ氯甲基)-6-〔2-(3,4-二甲氧基苯基）乙締基)-1，3,5-Ξ嗦等。
[0194] 作为上述酷基麟氧化物化合物，例如可举出2,4,6-Ξ甲基苯甲酯基二苯基麟氧化 物等。
[01Μ]进一步，作为聚合引发剂(D)，可举出苯偶姻、苯偶姻甲基酸、苯偶姻乙基酸、苯偶 姻异丙基酸、苯偶姻异下基酸等苯偶姻化合物;二苯甲酬、邻苯甲酯基苯甲酸甲基醋、4-苯 基二苯甲酬、4-苯甲酯基-4'-甲基二苯基硫化物、3，3'，4,4'-四（叔下基过氧幾基)二苯甲 酬、2,4,6-Ξ甲基二苯甲酬等二苯甲酬化合物；9,10-菲酿、2-乙基蔥酿、精脑酿等酿化合 物；10-下基-2-氯叮晚酬、苯偶酷、苯基乙醒酸甲基醋、二茂铁化合物等。优选它们与后述聚 合引发助剂(D1)组合使用。
[0196]另外，具有可引起链转移的基团的聚合引发剂，可使用日本特表2002-544205号公 报记载的聚合引发剂。
[0197] 上述具有可引起链转移的基团的聚合引发剂，也可用作为构成树脂(A)的成分 (C)。
[0198] 在本发明的感光性树脂组合物中，可同时使用上述聚合引发剂(D)与聚合引发助 剂化1)。聚合引发助剂化1)与聚合引发剂(D)组合使用，是促进由于聚合引发剂而引发聚合 的聚合性化合物的聚合所使用的化合物、或者敏化剂。聚合引发助剂(D1)，例如可举出嚷吨 酬化合物、胺化合物、簇酸化合物、日本特开2008-65319号公报及日本特开2009-139932号 公报记载的化合物等。
[0199] 作为嚷吨酬化合物，例如可举出2-异丙基嚷吨酬、4-异丙基嚷吨酬、2,4-二乙基嚷 吨酬、2,4-二氯嚷吨酬、1-氯-4-丙氧基嚷吨酬等。
[0200] 作为胺化合物，可举出Ξ乙醇胺、甲基二乙醇胺、Ξ异丙醇胺等脂肪族胺化合物、 4-二甲基氨基苯甲酸甲基醋、4-二甲基氨基苯甲酸乙基醋、4-二甲基氨基苯甲酸异戊基醋、 4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己基醋、苯甲酸2-二甲基氨基乙基醋、N，N-二甲基对甲苯胺、4， 4'-双(二甲基氨基）二苯甲酬(通称;米氏酬）、4,4'-双(二乙基氨基)二苯甲酬运样的芳香 族胺化合物。
[0201] 作为簇酸化合物，可举出苯基琉基乙酸、甲基苯基琉基乙酸、乙基苯基琉基乙酸、 甲基乙基苯基琉基乙酸、二甲基苯基琉基乙酸、甲氧基苯基琉基乙酸、二甲氧基苯基琉基乙 酸、氯苯基琉基乙酸、二氯苯基琉基乙酸、N-苯基甘胺酸、苯氧基乙酸、糞基硫乙酸、N-糞基 甘胺酸、糞氧基乙酸等芳香族杂乙酸类。
[0202] 作为聚合引发剂(D)与聚合引发助剂(D1)的组合，可举出烷基苯基酬化合物与嚷 吨酬化合物、烷基苯基酬化合物与芳香族胺化合物，具体而言，可举出2-吗嘟代-1-(4-甲基 琉基苯基)-2-甲基丙烷-1-酬与2,4-二乙基嚷吨酬、2-二甲基氨基-2-苄基-1-(4-吗嘟代苯 基)下烧-1-酬与2,4-二乙基嚷吨酬、2-二甲基氨基-2-(4-甲基苄基)-1-(4-吗嘟代苯基)下 烧-1-酬与2,4-二乙基嚷吨酬、2-吗嘟代-1-(4-甲基琉基苯基)-2-甲基丙烷-1-酬与2-异丙 基嚷吨酬与4-异丙基嚷吨酬、2-吗嘟代-1-(4-甲基琉基苯基)-2-甲基丙烷-1-酬与4,4'-双 (二乙基氨基）二苯甲酬、2-二甲基氨基-2-苄基-1-(4-吗嘟代苯基）下烧-1-酬与4,4'-双 (二乙基氨基)二苯甲酬、2-二甲基氨基-2-(4-甲基苄基)-1-(4-吗嘟代苯基)下烧-1-酬与 4,4'-双(二乙基氨基)二苯甲酬等。
[0203] 其中，优选烷基苯基酬化合物与嚷吨酬化合物的组合，更优选2-甲基-2-吗嘟代- 1-(4-甲基琉基苯基)丙烷-1-酬与2,4-二乙基嚷吨酬、2-甲基-2-吗嘟代-1-(4-甲基琉基苯 基)丙烷-1-酬与2-异丙基嚷吨酬与4-异丙基嚷吨酬。若为运些组合，则可得到高灵敏度、且 可见光透射率高的图案。
[0204] 聚合引发剂(D)的含量，相对树脂(A)、树脂(A1)及聚合性化合物(C)的合计量100 质量份，优选为0.5~30质量份、更优选为1~20质量份、进一步优选为1~10质量份。若聚合 引发剂(D)的含量在上述优选范围，则可W高灵敏度得到图案。
[0205] 聚合引发助剂(D1)的使用量，相对树脂(A)、树脂(A1)及聚合性化合物(C)的合计 量100质量份，优选为0.1~10质量份、更优选为0.3~7质量份。若聚合引发助剂(D1)的量在 上述优选范围，则可W高灵敏度得到图案，得到的图案的形状良好。
[0206] 本发明的感光性树脂组合物可含有溶剂化）。
[0207] 作为本发明中可使用的溶剂，例如可由醋溶剂(分子内含-C00-，不含-0-的溶剂）、 酸溶剂(分子内含-〇-，不含-coo-的溶剂）、酸醋溶剂(分子内含-coo-与-ο-的溶剂）、酬溶剂 (分子内含-C0-，不含-C00-的溶剂）、醇溶剂、芳香族控溶剂、酷胺溶剂、二甲基亚讽等中选 择使用。
[0208] 作为醋溶剂，例如可举出乳酸甲基醋、乳酸乙基醋、乳酸下基醋、2-径基异下烧酸 甲基醋、乙酸乙基醋、乙酸正下基醋、乙酸异下基醋、甲酸戊基醋、乙酸异戊基醋、丙酸下基 醋、下酸异丙基醋、下酸乙基醋、下酸下基醋、丙酬酸甲基醋、丙酬酸乙基醋、丙酬酸丙基醋、 乙酷乙酸甲基醋、乙酷乙酸乙醋、环己醇乙酸醋、丫-下内醋等。
[0209] 作为酸溶剂，可举出乙二醇单甲基酸、乙二醇单乙基酸、乙二醇单丙基酸、乙二醇 单下基酸、二乙二醇单甲基酸、二乙二醇单乙基酸、二乙二醇单下基酸、丙二醇单甲基酸、丙 二醇单乙基酸、丙二醇单丙基酸、丙二醇单下基酸、3-甲氧基-1-下醇、3-甲氧基-3-甲基下 醇、四氨巧喃、四氨化喃、1，4-二嗯烧、二乙二醇二甲基酸、二乙二醇二乙基酸、二乙二醇甲 基乙基酸、二乙二醇二丙基酸、二乙二醇二下基酸、苯甲酸、苯乙酸、甲基苯甲酸等。
[0210] 作为酸醋溶剂，例如可举出甲氧基乙酸甲基醋、甲氧基乙酸乙基醋、甲氧基乙酸下 基醋、乙氧基乙酸甲基醋、乙氧基乙酸乙基醋、3-甲氧基丙酸甲基醋、3-甲氧基丙酸乙基醋、 3-乙氧基丙酸甲基醋、3-乙氧基丙酸乙基醋、2-甲氧基丙酸甲基醋、2-甲氧基丙酸乙基醋、 2-甲氧基丙酸丙基醋、2-乙氧基丙酸甲基醋、2-乙氧基丙酸乙基醋、2-甲氧基-2-甲基丙酸 甲基醋、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙基醋、3-甲氧基下基乙酸醋、3-甲基-3-甲氧基下基乙酸 醋、丙二醇单甲基酸乙酸醋、丙二醇单乙基酸乙酸醋、丙二醇单丙基酸乙酸醋、乙二醇单甲 基酸乙酸醋、乙二醇单乙基酸乙酸醋、二乙二醇单乙基酸乙酸醋、二乙二醇单下基酸乙酸醋 等。
[0211] 作为酬溶剂，可举出4-径基-4-甲基-2-戊酬、丙酬、2-下酬、2-庚酬、3-庚酬、4-庚 酬、4-甲基-2-戊酬、环戊酬、环己酬、异佛尔酬等。
[0212] 作为醇溶剂，例如可举出甲醇、乙醇、丙醇、下醇、己醇、环己醇、乙二醇、丙二醇、甘 油等。
[0213]作为芳香族控溶剂，例如可举出苯、甲苯、二甲苯、均立甲苯等。
[0214]作为酷胺溶剂，例如可举出Ν，Ν-二甲基甲酯胺、Ν，Ν-二甲基乙酷胺、Ν-甲基邮咯烧 酬等。
[0215] 运些溶剂可单独或巧巾W上组合使用。
[0216] 上述溶剂中，从涂布性、干燥性观点出发，优选latm的沸点为120°C W上180°C W下 的有机溶剂。其中优选丙二醇单甲基酸、丙二醇单甲基酸乙酸醋、3-乙氧基丙酸乙基醋、二 乙二醇甲基乙基酸、3-甲氧基下基乙酸醋、3-甲氧基-1-下醇等。若溶剂巧)为运些优选的溶 剂，则能够抑制涂布时的不均，可使涂膜的平坦性良好。
[0217] 本发明的感光性树脂组合物中的溶剂化)的含量，相对感光性树脂组合物的总量， 优选为60~95质量％、更优选为70~90质量％。
[0218] 换言之，感光性树脂组合物的固体成分优选为5~40质量％、更优选为10~30质 量％。若溶剂化)的含量在上述优选范围，则有涂布感光性树脂组合物而成的膜的平坦性提 高的倾向。在此，固体成分是指从感光性树脂组合物中除去溶剂化)的量。
[0219] 另外，本发明的感光性树脂组合物，可进一步含有多官能硫醇化合物(T)。多官能 硫醇化合物(T)是指分子内具有2个W上的琉基(-SH)的化合物。特别是若使用具有与来自 脂肪族控基的碳原子键合的2个W上的琉基的化合物，则有本发明的感光性树脂组合物的 灵敏度提局的倾向。
[0220] 多官能硫醇化合物(T)，具体上可举出己烧二硫醇、癸烧二硫醇、1,4-双（甲基硫 基)苯、下二醇双(3-硫基丙酸醋）、下二醇双(3-硫基乙酸醋）、乙二醇双(3-硫基乙酸醋）、Ξ 径甲基丙烷Ξ(3-硫基乙酸醋）、下二醇双（3-硫基丙酸醋）、Ξ径甲基丙烷Ξ(3-硫基丙酸 醋）、Ξ径甲基丙烷Ξ(3-硫基乙酸醋）、季戊四醇四（3-硫基丙酸醋）、季戊四醇四（3-硫基乙 酸醋）、Ξ径基乙基Ξ(3-硫基丙酸醋）、季戊四醇四（3-硫基下酸醋）、1，4-双(3-硫基下基氧 基)下烧等。
[0221] 多官能硫醇化合物(Τ)的含量，相对聚合引发剂(D)IOO质量份，优选为0.1~10质 量份、更优选为0.5~7质量份。若多官能硫醇化合物(T)的含量在上述优选范围，则有感光 性树脂组合物的灵敏度提高，且显影性变良好的倾向，因此优选。
[0222] 本发明的感光性树脂组合物，可含有表面活性剂(F)(但与树脂(B)不同。）。作为表 面活性剂，例如可举出娃酬系表面活性剂、氣系表面活性剂、具有氣原子的娃酬系表面活性 剂等。
[0223] 作为娃酬系表面活性剂，例如可举出具有硅氧烷键的表面活性剂。
[0224] 具体而言，可举出Toray Silicone DC3PA、Toray Silicone SH7PA、Toray Silicone DCllPA、Toray Silicone SH21PA、Toray Silicone SH28PA、Toray Silicone SH29PA、Toray Silicone SH30PA、聚酸改性娃酬油細8400(商品名：Dow Corning Toray Co.，Ltd制）、邸321、邸322、阳323、邸324、邸326、邸：340、邸：341(信越化学工业株式会社制）、 TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF4446、TSF4452、TSF4460 (Momentive Performance Materials Japan合同会社制）等。
[0225] 作为氣系表面活性剂，例如可举出具有氣碳链的表面活性剂。
[0。6]具体而言，可举出Fluorine!·!:(注册商标)FC430、Fluo;rine;rt FC431 (住友3M株式 会社制KMEGAFAC(注册商标)F142D、MEGAFAC F17UMEGAFAC F172、MEGAFAC F173、MEGAFAC F177、MEGAFAC F183、MEGAFAC R30(DIC株式会社制）、EFT0P(注册商标化F30UEFT0P EF303、EFT0P EF35UEFT0P EF352(S菱材料电子化成株式会社制）、Surflon(注册商标） S381、Surflon S382、Surflon SClOUSurflon SC105(旭硝子株式会社制）、E5844(株式会 社化化in Fine化emical研究所制）等。
[0227] 作为具有氣原子的娃酬系表面活性剂，可举出具有硅氧烷键及氣碳链的表面活性 剂。具体而言，可举出MEGAFAC(注册商标）R08、MEGAFAC BL20、MEGAFAC F475、MEGAFAC F477、MEGAFAC F443(Die株式会社制)等。优选可举出MEGAFAC(注册商标)F475。
[0228] 表面活性剂(F)的含量，相对感光性树脂组合物的总量，为0.001质量％ ^上0.2质 量％ W下，优选为0.002质量％ 1^上0.1质量％ ^下，更优选为0.01质量％ ^上0.05质量％ W下。通过含有表面活性剂在0.001质量％ ^上〇. 2质量％ ^下的范围，可使涂膜的平坦性 为良好。
[0229] 本发明的感光性树脂组合物，根据需要可含有充填剂、其他的高分子化合物、密合 促进剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、光稳定剂、链转移剂等各种添加剂。
[0230] 作为密合促进剂，例如可举出乙締基Ξ甲氧基硅烷、乙締基Ξ乙氧基硅烷、乙締基 二(2-甲氧基乙氧基)硅烷、3-氧化缩水甘油基丙基二甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基 二甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基娃 烧、2-( 3,4-环氧环己基）乙基二甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基^甲氧基硅烷、3-氯丙基二甲氧 基硅烷、3-甲基丙締酷氧基丙基二甲氧基硅烷、3-琉基丙基二甲氧基硅烷、3-琉基丙基二甲 氧基硅烷、3-异氛酸醋丙基二乙氧基硅烷、N-2-(氨基乙基）-3-氨基丙基甲基二甲氧基娃 烧、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二乙氧基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基二甲氧 基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基^乙氧基硅烷、3-氨基丙基二甲氧基硅烷、3-氨 基丙基Ξ乙氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基Ξ甲氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基Ξ乙氧基娃 烧等。
[0231] 本发明的感光性树脂组合物，实质上不含有颜料及染料等着色剂。即，本发明的感 光性树脂组合物中，相对组合物全体的着色剂含量，例如优选为小于1质量％、更优选小于 0.5质量％。
[0232] 本发明的感光性树脂组合物，充填于光路长为1cm的石英比色皿，使用分光光度 计，在测定波长400~700nm的条件下测定透射率时的平均透射率优选为70% W上、更优选 为80%W上。
[0233] 本发明的感光性树脂组合物，制成涂膜时，涂膜的平均透射率优选为90% W上、进 一步更优选95% W上。该平均透射率为将加热固化(例如100~250°C、5分钟~3小时的条件 固化)后的厚度为3WI1的涂膜，使用分光光度计，在测定波长400~700nm的条件下测定时的 平均值。由此可提供在可见光领域的透明性优异的涂膜。
[0234] 本发明的感光性树脂组合物，例如可涂布于玻璃、金属、塑料等基板、或者形成有 滤色器、各种绝缘或导电膜、驱动电路等的上述的基板上，图案化为期望的形状后再形成图 案。进而，也可使该图案形成为显示设备等的构成构件的一部分来使用。
[0235] 首先，将本发明的感光性树脂组合物涂布于基板上。
[0236] 涂布如上述，可使用旋转涂布机、狭缝&旋转涂布机、狭缝涂布机、喷墨印刷、漉涂 布机、浸溃涂布机等各种涂布装置进行。
[0237] 接着优选进行干燥或预烘烤，将溶剂等挥发成分除去后进行干燥。由此，可得到平 滑的未固化涂膜。
[0238] 此时的涂膜的膜厚没有特别限定，可根据使用的材料、用途等适当调整，例如为1 ~化m程度。
[0239] 进而，对得到的未固化涂膜，透过形成目的图案用的掩模照射光，例如从隶灯、发 光二极管所产生的紫外线等。此时的掩模形状没有特别限定，形状或大小根据图案的用途 需要选择即可。
[0240] 利用近年的曝光机可将未达350皿的光，使用截取该波长域的滤色器进行截取、或 将436nm附近、408nm附近、365nm附近的光，使用取出运些波长域的带通滤波器选择性取出 后，对曝光面全体均匀地照射大致平行光线。如果使用掩模对准曝光机、步进机等装置，贝U 此时可进行掩模与基材的正确的位置对准。
[0241] 使曝光后的涂膜接触显影液，将特定部分、例如非曝光部（即非图像部分)溶解，通 过显影，可得到目的图案形状。
[0242]显影方法可为液池法、浸溃法、喷雾法等任一方法。进一步显影时可使基材倾斜任 意角度。
[0243] 显影使用的显影液优选碱性化合物的水溶液。
[0244] 碱性化合物可为无机及有机的碱性化合物的任一种。
[0245] 作为无机的碱性化合物的具体例，例如可举出氨氧化钢、氨氧化钟、憐酸氨二钢、 憐酸二氨钢、憐酸氨二锭、憐酸二氨锭、憐酸二氨钟、娃酸钢、娃酸钟、碳酸钢、碳酸钟、碳酸 氨钢、碳酸氨钟、棚酸钢、棚酸钟、氨等。
[0246] 作为有机的碱性化合物，例如可举出四甲基氨氧化锭、2-径基乙基Ξ甲基氨氧化 锭、单甲基胺、二甲基胺、Ξ甲基胺、单乙基胺、二乙基胺、Ξ乙基胺、单异丙基胺、二异丙基 胺、乙醇胺等。
[0247] 运些无机及有机的碱性化合物的水溶液中的浓度，优选为0.01~10质量％、更优 选为0.03~5质量％。
[0248] 上述显影液可含有表面活性剂。
[0249] 作为表面活性剂，可为非离子系表面活性剂、阴离子系表面活性剂或阳离子系表 面活性剂的任一种。
[0250] 作为非离子系表面活性剂，例如可举出聚氧化乙締烷基酸、聚氧化乙締芳基酸、聚 氧化乙締烷基芳基酸、其他的聚氧化乙締衍生物、氧化乙締/氧化丙締嵌段共聚物、山梨糖 醇酢脂肪酸醋、聚氧化乙締山梨糖醇酢脂肪酸醋、聚氧化乙締山梨醋醇脂肪酸醋、甘油脂肪 酸醋、聚氧化乙締脂肪酸醋、聚氧化乙締烷基胺等。
[0251] 作为阴离子系表面活性剂，例如可举出月桂基醇硫酸醋钢或油醇硫酸醋钢运样的 高级醇硫酸醋盐类、月桂基硫酸钢或月桂基硫酸锭运样的烷基硫酸盐类、十二烷基苯横酸 钢或十二烷基糞横酸钢运样的烷基芳基横酸盐类等。
[0252] 作为阳离子系表面活性剂，例如可举出硬脂酷基胺盐酸盐或月桂基Ξ甲基氯化锭 运样的胺盐或季锭盐等。
[0253] 碱显影液中的表面活性剂的浓度，优选为0.01~10质量％的范围、更优选为0.05 ~8质量％、进一步优选为0.1~5质量％。
[0254] 显影后通过进行水洗，可得到图案。进一步根据需要也可进行曝光后烘烤。曝光后 烘烤，例如优选在150~240°C的溫度范围、10~180分钟进行。
[0255] 将未固化涂膜曝光时，通过不使用形成有图案的掩模，整面地进行光照射和/或省 略显影，可得到不具有图案的涂膜。
[0256] 作为作为本发明的显示设备的一例，对有机化（电致发光）显示设备进行W下说 明。
[0257] 图1为将本发明的显示设备一例的显示设备1的一部分扩大的示意显示的截面图。 图2为将本发明的显示设备一例的显示设备1的一部分扩大的示意显示的俯视图。显示设备 1主要由含有支承基板2、在该支承基板2上区划出预先设定的区域的隔壁3、设置于由隔壁3 所区划出的区域的多个有机化元件4而构成。隔壁3相当本发明的喷墨印刷用隔壁。
[0258] 隔壁3为在支承基板2上，例如形成为格子状或条纹状。另外在图2中，作为一个实 施方式，示出设置有格子状隔壁3的显示设备1。该图中在设置有隔壁3的区域，施W影线。
[0259] 于支承基板2上，设定W隔壁3与支承基板2所限定的多个凹部5。该凹部5相当由隔 壁3所区划出的区域。
[0260] 显示设备1中的隔壁3设置为格子状。因此由支承基板2的厚度方向Z的一方来看 (W下有时称"W俯视"。），多个凹部5配置为矩阵状。即设置为凹部5在行方向X隔开有特定 间隔，同时在列方向Y也隔开有特定间隔，从而进行整列。各凹部5的俯视中的形状没有特别 限定。例如凹部5W俯视形成大致矩形状、略楠圆状及楠圆形等形状。在本实施方式，W俯视 设置有大致矩形状的凹部5。此外，本说明书中上述行方向X及列方向Y为垂直支承基板的厚 度方向Z且相互垂直的方向。
[0261] 另外，作为其他的实施方式，在设置有条纹状的隔壁时，隔壁例如为在行方向X延 伸的多根的隔壁构件，W在列方向Y上隔开有特定间隔的方式而被配置而构成。在该方式 中，通过条纹状的隔壁与支承基板共同区划出条纹状的凹部。
[0262] 隔壁W越远离支承基板宽度越窄的方式形成。例如将在列方向Y上延伸的隔壁W 垂直于其延伸方向（列方向Y)的平面切断时的截面形状，W随着越远离支承基板而宽度越 窄的方式形成。在图1中，为等腰梯形形状的隔壁，比较上底与支承基板侧的下底，下底比上 底宽。另外实际形成的隔壁的截面不一定一定要梯形形状，梯形形状的直线部分及角有时 带有圆角。
[0263] 隔壁3优选其顶面具有疏液性。此外，顶面是指在隔壁3的表面中，存在于最远离支 承基板2的位置的平面。通过隔壁3的顶面具有疏液性，可防止供给至隔壁3所包围的区域 (凹部5)的墨液传递到隔壁3的顶面而溢出至相邻区域。
[0264] 有机元件4设置于隔壁3所区划出的区域（即凹部5)。设置显示设备1中的格子状 的隔壁3时，各有机化元件4分别设置于各凹部5。即有机化元件4与各凹部5同样地配置为矩 阵状，且在支承基板2上，在行方向X上隔开有特定间隔，同时在列方向Υ上也隔开有特定间 隔，从而进行整列而设置。
[0265] 隔壁3的形状及其配置根据像素数及解析度等显示设备的规格或制造的难易度等 适宜设定。例如隔壁3的行方向X或列方向Υ的宽为扣m~50皿左右、隔壁3的高度为0.5皿~5 皿左右、与行方向X或列方向Y相邻的隔壁3间的间隔、即凹部5的行方向X或列方向Y的宽为 10皿~200皿左右。此夕h第1电极6的行方向X或列方向Y的宽各自为10皿~200皿左右。
[0266] 隔壁3,可通过由本发明的感光性树脂组合物W上述图案的形成方法形成。
[0267] 此外，作为其他的实施方式，设置有条纹状的隔壁时，有机化元件4在行方向X延伸 的各凹部中，在行方向X各自隔开有特定间隔而配置。
[0268] 显示设备1设有巧巾有机化元件4。即设置有（1)发射红色的光的红色有机化元件 4R、（2)发射绿色的光的绿色有机化元件4G、及(3)发射蓝色的光的蓝色有机化元件4B。
[0269] 有机化元件4,由支承基板侧依次层叠第1电极、有机化层、第2电极而构成。在本说 明书，将设置于第1电极6与第2电极10间的一个或多个层分别称为有机化层。有机化元件4 具备作为有机化层的至少1层发光层。此外，有机化元件，除1层发光层外，根据需要也有还 具备与发光层不同的有机化层的情况。例如在第1电极6与第2电极10之间，作为有机化层， 设置空穴注入层、空穴输送层、电子阻隔层、电子输送层、及电子注入层等。此外，在第1电极 6与第2电极10间也有设置2层W上的发光层的情况。
[0270] 有机化元件4,作为由阳极及阴极所构成的一对电极，具备第1电极6与第2电极10。 第1电极6及第2电极10中的一个电极设置作为阳极，另一个电极设置作为阴极。在显示设备 1，按照在支承基板2上依次层叠作为阳极发挥功能的第1电极6、作为空穴注入层发挥功能 的第1有机化层7、作为发光层发挥功能的第2有机化层9、作为阴极发挥功能的第2电极10的 方式来构成。
[0271] 第1电极6分别设置有机化元件4。即有机EL元件4与同数目的第1电极6设置于支承 基板2上。第1电极6对应有机化元件4的配置而设置，与有机化元件4同样地配至为矩阵状。 此外，隔壁3,主要在不包括第1电极6的区域形成为格子状，但进一步W覆盖第1电极6的周 缘部的方式形成(参照图1)。
[0272] 与空穴注入层相当的第1有机化层7,在凹部5中分别设于第1电极6上。该第1有机 化层7,根据需要依照有机化元件的种类而其材料或膜厚按不同方式设置。此外，由第1有机 EL层7的形成工序的难易度的观点出发，也可W相同材料、相同膜厚形成全部的第1有机EL 层7。
[0273] 第1有机化层7,通过如下方法形成:使含有成为第1有机化层7的材料的墨液W喷 墨法供给至由隔壁3所包围的区域(凹部5)，接着进行干燥、加热和/或光照射，使墨液固化。
[0274] 作为发光层发挥功能的第2有机化层9,在凹部5中设置于第1有机化层7上。上述那 样的发光层根据有机化元件的种类而设置。因此红色发光层9R设置于设置红色有机化元件 4R的凹部5,绿色发光层9G设置于设置绿色有机化元件4G的凹部5,蓝色发光层9B设置于设 置蓝色有机化元件4B的凹部5。
[0275] 第2电极10全面形成于设置有机化元件4的显示区域中。即第2电极10不仅形成在 第2有机化层9上，也形成于隔壁3上，且遍及多个有机化元件连续地形成。
[0276] 如上所述，通过使形成于支承基板2上的多个有机化元件4被密封层及密封基板覆 盖(未图示），可制造有机化显示设备。
[0277] 由本发明的感光性树脂组合物所得到的图案，为W隔壁与基板所区划出的凹部基 板表面的润湿性高、隔壁上表面的疏液性高的图案，因此作为W喷墨法制作滤色器、液晶显 示元件的口 0电极、有机化显示元件及电路布线基板等所使用的隔壁而特别有用。进而作为 例如构成滤色器基板和/或阵列板的一部分的感光性间隔材(Photo Spacer)、可图案化的 保护膜、层间绝缘膜、液晶取向控制用突起、微透镜、膜厚调整用的涂布层等触控面板用的 构件而有用，上述那样得到的不具有图案的涂膜，可用作为构成滤色器基板和/或阵列板的 一部分的保护膜。上述滤色器基板及阵列基板适合用于液晶显示设备、有机化显示设备及 电子纸等。
[027引实施例
[0279] W下W实施例将本发明更详细说明。例中的及"份"在不特别说明的情况下， 为质量％及质量份。
[0280] (合成例1)
[0281] 在具备回流冷却器、滴液漏斗及揽拌机的烧瓶中，适量流入氮并替换为氮气氛，加 入丙二醇单甲基酸乙酸醋166份、甲氧基丙醇52份，边揽拌边加热至85°C。接着耗时4小时将 3,4-环氧Ξ环[5.2.1.02'6]癸烧-8或/和9-基丙締酸醋的混合物233份、对乙締基苯甲酸77 份、丙二醇单甲基酸乙酸醋125份、甲氧基丙醇115份的混合溶液滴下。另一方面，将2,2-偶 氮双(2,4-二甲基戊腊)32份溶解于丙二醇单甲基酸乙酸醋210份的混合溶液耗时5小时滴 下。滴下完毕后维持3小时该溫度后，冷却至室溫，得到B型粘度（23°C)46m化S、固体成分 33.7%、溶液酸值83m巧OH/g的共聚物(树脂Ala)溶液。
[0282] 得到的树脂Ala的重均分子量Mw为7.7 X103、分子量分布为1.90。树脂Ala具有W 下的结构单元。
[0283]
[0284] (合成例2)
[0285] 在具备回流冷却器、滴液漏斗及揽拌机的烧瓶中，使氮W0.02L/分钟流入，设定成 氮气氛，加入3-甲氧基-1-下醇200份及3-甲氧基下基乙酸醋105份，边揽拌边加热至70°C。 接着，溶解甲基丙締酸60质量份、3,4-环氧；环[5.2.1.02'6]癸基丙締酸醋(式(1-1)所表示 的化合物及式（Π -1)所表示的化合物W摩尔比计为50:50进行混合。）240份及、3-甲氧基下 基乙酸醋140份来调制溶液，使用滴液漏斗，耗时4小时，滴下该溶解液至保溫在70°C的烧瓶 内。
[0286]
[0287]另一方面，将聚合引发剂2,2'-偶氮双(2,4-二甲基戊腊)30份溶于3-甲氧基下基 乙酸醋225份的溶液，使用另外的滴液漏斗耗时4小时滴下至烧瓶内。聚合引发剂的溶液滴 下完毕后，4小时、维持于70°C，之后冷却至室溫，得到固体成分32.6%、酸值1 lOmgKOH/g(固 体成分换算）的共聚物(树脂Alb)的溶液。得到的树脂Mb的重均分子量Mw为1.3X104、分子 量分布为2.50。树脂Alb具有W下的结构单元。
[028引
[0289] (合成例3)
[0290] 在具备回流冷却管、氮导入管、溫度计及揽拌装置的四口烧瓶中，加入α-氯丙締酸 3,3,4,4,5,5,6,6,6-九氣己基醋78份、甲基丙締酸19.5份、甲基丙締酸异冰片基醋19.5份、 甲基丙締酸缩水甘油基醋13份、十二烧硫醇12.7份、丙二醇单甲基酸乙酸醋266份，加热至 70°C后，在氮气流下进行揽拌30分钟。在其中添加偶氮双异下腊1份，进行18小时聚合，得到 固体成分33%、酸值68mg-K0H/g(固体成分换算）的共聚物(树脂Ba)的溶液。得到的树脂Ba 的重均分子量为7.5X103。树脂Ba具有W下的结构单元。
[0291]
[0292] W合成例1~3得到的树脂的重均分子量(Mw)及数均分子量(Μη)的测定使用GPC 法，用W下的条件进行。
[0293] 装置;Κ2479((株)岛津制作所制）
[0294] 色谱柱；SHIMADZU Slim-pack GPC-80M
[0295] 柱溫;40°C
[0296] 溶剂;THF(四氨巧喃）
[0297] 流速；l.OmL/min [029引侦测器;RI
[0299] W上述得到的聚苯乙締换算的重均分子量及数均分子量的比(Mw/Mn)作为分子量 分布。
[0300] (实施例1~4W及比较例）
[0301 ] <感光性树脂组合物的调制〉
[0302] 各自混合表3的成分，得到感光性树脂组合物。
[0303] [表 3]
[0304]
[0305] 表3中各成分如下。树脂栏记载的份数为固体成分换算的质量份。
[0306] 树脂(A);Aa:对径基苯乙締与甲基丙締酸甲醋的共聚物〔共聚合比为50:50、重均 分子量;8,000~12,000)(1日1'址日1^7]1州1'(注册商标)〔11;丸善石油化学(株）制）
[0307] 树脂(A1) ;Ala:合成例1得到的树脂Ala
[0308] 树脂(A1);A化:合成例2得到的树脂A化
[0309] 树脂(B) ;Ba:合成例3得到的树脂Ba
[0310] 聚合性化合物(C);化:Ξ径甲基丙烷Ξ丙締酸醋(A-TMPT;新中村化学工业(株） 制）
[0311] 聚合性化合物(C);化:二季戊四醇六丙締酸醋化AYARAD(注册商标)DPHA;日本化 药(株)制）
[0312] 聚合引发剂(D);Da:2-甲基-2-吗嘟代-1-(4-甲基硫基苯基)丙烷-1-酬（IRGACURE (注册商标)907;BASF公司制）
[0313] 聚合引发剂(D);抓：乙酬，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酯基)-9H-巧挫-3-基]-，1- (0-乙酷基朽KIRGACURE (注册商标)0XE02;BASF公司制）
[0314]聚合引发助剂(D1);4,4'-双仁乙基氨基)二苯甲酬(EAB-F;保上谷化学工业(株） 制）
[0315]溶剂(E);Ea;丙二醇单甲基酸乙酸醋 [0316] 溶剂化）；化；二乙二醇乙基甲基酸 [0317] 溶剂(E);Ec;3-甲氧基1-T醇 [0318]溶剂(E);Ed;3-甲氧基T基乙酸醋
[0319] 溶剂化)为感光性树脂组合物的固体成分量W表3的"固体成分量（％)"那样混合， 溶剂化)中的溶剂成分化a)~化d)的值为溶剂化)中的质量比。
[0320] <组合物的平均透射率〉
[0321] 上述所得到的感光性树脂组合物，各自使用紫外可见近红外分光光度计(V-650; 日本分光(株)制）（石英比色皿、光路长；1cm)，测定400~700皿中的平均透射率（％)。结果 如表3。
[0；3剖 < 涂膜的制作〉
[0323] 将2英寸方形玻璃基板化AGLEXG;康宁公司制）依次W中性洗剂、水及醇洗涂后进 行干燥。在该玻璃基板上，使上述所得到的感光性树脂组合物各自W曝光后烘烤后的膜厚 成为3.Own的方式进行旋转涂布，利用减压干燥机(MICROTEK(株)制)使减压度设至66k化而 进行减压干燥后，W加热板在80°C进行2分钟预烘烤使其干燥。冷却后，使用曝光机(TME- 150RSK;拓普康(株)制、光源:超高压隶灯），大气环境下、照射曝光量50mJ/cm2(365nm基准） 的光。另外，此时对感光性树脂组合物的照射使用超高压隶灯。光照射后，在含有非离子系 表面活性剂0.12%与氨氧化钟0.04%的水系显影液中，使上述涂膜在23°C进行60秒钟浸 溃、摇动而使之接触，然后，在烘箱中23(TC进行20分加热(曝光后烘烤)后，得到涂膜。
[0324] <涂膜平均透射率〉
[0325] 对得到的涂膜，使用显微分光测光装置(0SP-SP200;0LYMPUS公司制），测定400~ 700nm中的平均透射率（％ )。透射率变高是指吸收变小。结果如表3。
[0326] <接触角〉
[0327] 对得到的涂膜，使用接触角计(DGDFast/60;GBX公司制），测定苯甲酸的接触角。
[0328] 接触角越高为疏液性越高。若涂膜中的接触角高，则使用相同感光性树脂组合物 形成的图案中接触角也高。W接触角高的感光性树脂组合物形成隔壁，在该隔壁包围中W 喷墨印刷装置印刷（印写）墨液时，易排斥墨液。因此，例如W喷墨法制作滤色器时，不易产 生相邻的图像区域间的墨液混色。结果如表5。
[0329] <图案形成〉
[0330] 将2英寸方形玻璃基板化AGLEXG;康宁公司制）依次W中性洗剂、水及醇洗涂后进 行干燥。在该玻璃基板上，使上述感光性树脂组合物分别W曝光后烘烤后的膜厚成为3.5μπι 的方式进行旋转涂布，利用减压干燥机(MICROTEK株式会社制）在减压度设为达到66kPa的 方式进行减压干燥后，W加热板在80°C进行2分钟预烘烤使其干燥。冷却后使涂布有该感光 性树脂组合物的基板与石英玻璃制光掩模的间隔为ΙΟμπι，使用曝光机(TME-150RSK;拓普康 (株）制、光源:超高压隶灯），大气环境下、照射曝光量50mJ/cm2(365nm基准）的光。另外，此 时对感光性树脂组合物的照射通过将来自超高压隶灯的放射光通过光学滤波器(UV-33;朝 日分光(株)制）来进行。另外，作为光掩模，使用同一平面上形成有图案(具有1边为13WI1的 正方形透光部，且该正方形间隔为100μπι)(即透光部）的光掩模。
[0331] 光照射后、在含有非离子系表面活性剂0.12%与氨氧化钟0.04%的水系显影液中 使上述涂膜在25Γ进行100秒钟浸溃、摇动而进行显影，并水洗，然后在烘箱中，在235Γ进 行15分钟曝光后烘烤，得到图案。
[0332] <润湿性〉
[0333] [润湿性评估用溶液制作]
[0334] 作为实施隔壁的润湿性评估的溶剂，选择Ν，Ν-二甲基乙酷胺（和光纯药股份公司 制、99.5 % W上）、1，3-二甲基-2-咪挫嘟酬(东京化成工业股份公司制、99.0 % W上）的巧中。 选择的巧巾溶剂，由于粘度低，因此为可利用喷墨印刷装置将液充填至隔壁，添加环己醇(和 光纯药股份公司制、98.0%?上)作为粘度调整材料，W混合溶剂形式使用。
[0335] 另外，关于溶剂单体，由于难W用显微镜观察到干燥后的涂布范围，因此使用罗丹 明B(东京化成工业股份公司制、纯度95 % W上)作为溶质。
[0336] 溶液制作下述表4的巧中。
[0337] [表 4]
[0：3：38]_
[0339] ~[润湿性评价] '
' ' '
[0340] 在隔壁内使用喷墨印刷装置化LVAC公司制Litlexl2化），将上述记载的溶液，W每 200化充填于1000处的隔壁的方式填充在各隔壁内，干燥后使用显微镜（0LIMPUS公司制 MX61L、镜片LCPFLN20XLCD)，进行30处溶质是否扩散至隔壁端部的观察。表4所示的全部的 溶液中，30处全部蔓延时，润湿性良好为〇,其W外为X。结果如表5。 幽][表5]
[0；342]

[0343] 由实施例结果可知，由本发明的感光性树脂组合物可得到在维持不产生墨液混色 的接触角的情况下润湿性优异的涂膜及图案。
[0344] 产业可利用性
[0345] 根据本发明的感光性树脂组合物，可得到润湿性优异的图案、即W隔壁与基板所 区划出的凹部基板表面的润湿性高、且隔壁上表面的疏液性高的图案。
[CX346] 符号说明
[0；347] 1 ...显示设备
[0；34引 2 · · ·支承基板
[0349] 3 ...隔壁
[0；350] 4· · ·有机EL元件
[0351] 5 · · ·凹部
[0；352] 6· · ·第1 电极
[0353] 7· · ·第1有机化层(空穴注入层）
[0354] 9. · ·第巧机EL层(发光层）
[0；355] 10 · · ·第2电极
【主权项】
1. 一种感光性树脂组合物，其含有(A)、（B)、（C)及(D)， (A) 具有具酚性羟基的结构单元、且不具有含碳数4~6的全氟烷基的结构单元的聚合 物， (B) 含有含碳数4~6的全氟烷基的结构单元的聚合物， (C) 聚合性化合物， (D) 聚合引发剂。2. 根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中， (B)为进一步具有来自选自由不饱和羧酸及不饱和羧酸酐所组成的组中的至少1种单 体的结构单元的聚合物。3. 如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中， (D)为含有选自由联咪唑化合物、烷基苯基酮化合物及0-酰基肟化合物所组成的组中 的至少1种的聚合引发剂。4. 一种图案，由权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物所形成。5. -种喷墨印刷用隔壁，由权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物所形成。6. -种显示设备，包含权利要求4所述的图案。7. -种显示设备，包含权利要求5所述的喷墨印刷用隔壁。
【文档编号】G03F7/033GK105992974SQ201480075564
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2014年6月6日
【发明人】河西裕, 井上裕康, 山下和贵
【申请人】住友化学株式会社