树脂组合物的制作方法

树脂组合物的制作方法
【专利摘要】本发明的课题是提供热固化性的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物。本发明的解决方法是一种平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，其含有(A)成分、(B)成分和溶剂。(A)成分：具有下述式(1)所表示的结构单元、且进一步具有下述式(2)或式(3)所表示的结构单元的共聚物(B)成分：热产酸剂(式中，R0分别独立地表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1～5的亚烷基，该亚烷基中可以具有醚键，R2表示环氧基或具有环氧环的碳原子数为5～12的有机基团，R3表示碳原子数为1～3的亚烷基，n表示0～5的整数)。
【专利说明】
树脂组合物
技术领域
[0001] 本发明涉及热固化性的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物、以及由该树脂组合物 形成的平坦化膜和微透镜。
【背景技术】
[0002] 在制造 CCD/CM0S图像传感器的工序中，利用溶剂、碱性溶液等药液进行浸渍处理， 为了防止这样的处理引起元件劣化或损伤，针对该处理，在元件表面设置具有耐性的保护 膜。对于这样的保护膜，要求具有透明性、耐热性和耐光性高、经过长时间而不引起着色等 变质、耐溶剂性、耐碱性优异等性能（专利文献1)。进而，近年来，随着CCD/CM0S图像传感器 的高精细化，需要提高传感器灵敏度，因此，为了从微透镜高效率地向受光部聚光，在将保 护膜形成于滤色器上等的情况下，还要求该保护膜能够使在底层基板上形成的高低差平坦 化(专利文献2和专利文献3)。另一方面，在CCD/CM0S图像传感器用的滤色器中，对于以往的 颜料分散体系而言进一步提高分辨率是困难的，存在由于颜料的粗大粒子而发生颜色不均 匀等问题，因此，不适合固体摄像元件这样要求微细图案的用途。因此，提出了使用染料代 替颜料分散体系的技术(专利文献4)。然而，由于以往的热固化性的保护膜在180°C以上的 温度下被烧成，因此难以应用于使用了通常在180°C左右开始分解的染料的滤色器上(专利 文献5)。
[0003] 现有技术文献 [0004] 专利文献
[0005] 专利文献1:日本特许第2921770号
[0006] 专利文献2:日本特开2008-208235号公报 [0007] 专利文献3:国际公开第2013/005619号 [0008] 专利文献4:日本特开平6-75375号公报 [0009] 专利文献5:日本特开2010-237374号公报

【发明内容】

[0010] 发明所要解决的课题
[0011] 本发明是基于前述情况而提出的，其所要解决的课题是提供透明性、耐溶剂性以 及平坦性优异的、能够在比l〇〇°C高的所期望的温度下固化的热固化性的树脂组合物。
[0012] 用于解决课题的方法
[0013] 本
【发明人】们为了解决前述课题而进行了深入研究，结果完成了本发明。
[0014] 即，作为第1观点，是一种平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，其含有(A)成分、（B) 成分和溶剂。
[0015] (A)成分:具有下述式（1)所表示的结构单元、且进一步具有下述式(2)或式(3)所 表示的结构单元的共聚物，
[0016] (B)成分:热产酸剂，
[0018] (式中，RQ分别独立地表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1~5的亚烷基， 该亚烷基中可以具有醚键，R 2表示环氧基、或具有环氧环的碳原子数为5~12的有机基团，R3 表示碳原子数为1~3的亚烷基，n表示0~5的整数。）
[0019] 作为第2观点，根据第1观点所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，前述式（1) 所表示的结构单元是下述式(1 -1)所表示的结构单元。
[0021] (式中，妒表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1~5的亚烷基。）
[0022] 作为第3观点，根据第1观点或第2观点所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物， 前述共聚物进一步具有下述式(4)所表示的结构单元。
[0024](式中，X表示环己基或苯基。）
[0025] 作为第4观点，根据第1观点~第3观点中任一项所述的平坦化膜用或微透镜用树 脂组合物，前述共聚物的重均分子量为1，〇〇〇~50,000。
[0026] 作为第5观点，根据第1观点~第4观点中任一项所述的平坦化膜用或微透镜用树 脂组合物，以从前述树脂组合物中除去前述溶剂而得的固体成分中的含量计，所述树脂组 合物包含0.1质量％~20质量％的前述热产酸剂。
[0027] 作为第6观点，是一种平坦化膜，其是由第1观点~第5观点中任一项所述的树脂组 合物制作的。
[0028] 作为第7观点，是一种微透镜，其是由第1观点~第5观点中任一项所述的树脂组合 物制作的。
[0029] 发明的效果
[0030] 本发明的树脂组合物含有作为(B)成分的热产酸剂，因此在比100 °C高的所期望的 温度下的固化性、和保存稳定性优异。进而，由本发明的树脂组合物形成的树脂膜具有优异 的透明性、耐溶剂性和平坦性。由上来看，通过由本发明的树脂组合物形成的树脂膜，能够 使在底层基板上形成的高低差平坦化。此外，在由本发明的树脂组合物形成树脂膜之后涂 布抗蚀剂的情况下，以及在形成平坦化膜或微透镜之后进行电极/配线形成工序的情况下， 前述树脂膜还能够显著减少与抗蚀剂的混合、有机溶剂所引起的平坦化膜或微透镜的变形 和剥离等问题。因此，本发明的树脂组合物适合作为形成平坦化膜和微透镜的材料。
【具体实施方式】
[0031] 以下说明本发明的各成分的详细内容。从本发明的树脂组合物除去溶剂而得的固 体成分通常为1质量％~50质量％。
[0032] 〈(A)成分〉
[0033] 本发明的(A)成分是具有前述下述式（1)所表示的结构单元、且进一步具有式(2) 或式(3)所表示的结构单元的共聚物。
[0035] (式中，RQ分别独立地表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1~5的亚烷基， 该亚烷基中可以具有醚键，R 2表示环氧基、或具有环氧环的碳原子数为5~12的有机基团，R3 表示碳原子数为1~3的亚烷基，n表示0~5的整数。）
[0036] 作为前述式(1)的例子，可举出下述式(1-1)所表示的结构单元。
[0038] (式中，妒表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1~5的亚烷基。）
[0039] 作为形成前述式(2)所表示的结构单元的化合物(单体）的具体例，可举出4-联苯 基（甲基）丙烯酸酯、2_(4_联苯氧基）乙基（甲基)丙烯酸酯、2_(2_联苯氧基）乙基（甲基）丙 烯酸酯、2-(4_联苯氧基)-2'_乙氧基乙基（甲基)丙烯酸酯、2-(2_联苯氧基)-2'_乙氧基乙 基（甲基)丙烯酸酯、疆工只亍少〔注册商标〕A-LEN-10(新中村化学工业(株)制）。另外，这些 化合物可以单独使用，也可以组合2种以上使用。
[0040] 作为形成前述式(3)所表示的结构单元的化合物(单体）的具体例，可举出3-乙烯 基联苯、4-乙烯基联苯。另外，这些化合物可以单独使用，也可以组合2种使用。
[0041] 作为形成前述式(4)所表示的结构单元的化合物(单体）的具体例，可举出N-环己 基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺。另外，这些化合物可以单独使用，也可以组合2种以上使 用。
[0042] 在前述共聚物中，上述(A)成分的共聚物中，上述式（1)所表示的结构单元的含量 为lOmol % ~90mol %，优选为20mol % ~70mol %。
[0043] 前述共聚物的重均分子量通常为1，000~50，000，优选为3，000~30，000。另外，重 均分子量是利用凝胶渗透色谱法(GPC)、使用聚苯乙烯作为标准样品而得的值。
[0044] 此外，本发明的树脂组合物中的前述共聚物的含量，以该树脂组合物的固体成分 中的含量计，通常为1质量％~99质量％，优选为5质量％~95质量％。
[0045] 在本发明中，对获得前述(A)成分的方法不特别限定，一般而言，可通过使包含用 于获得上述共聚物的单体种类的单体混合物在聚合溶剂中、通常在50°C~120°C的温度下 进行聚合反应而获得。这样操作获得的共聚物通常是溶解在溶剂中的溶液状态，也可以以 该状态、不进行分离而用于本发明的树脂组合物中。
[0046]此外，将如上所述获得的共聚物的溶液投入至搅拌了的己烷、乙醚、甲醇、水等不 良溶剂中而使该共聚物再沉淀，将生成的沉淀物进行过滤、洗涤，然后在常压或减压下进行 常温或加热干燥，从而能够使该共聚物为粉体。通过这样的操作，能够除去与前述共聚物共 存的聚合引发剂、未反应化合物。在本发明中，可以直接使用前述共聚物的粉体，或者也可 以将该粉体例如再溶解于后述的溶剂而以溶液的状态使用。
[0047] 〈(B)成分〉
[0048] 作为本发明的(B)成分的热产酸剂，是通过加热而产生酸，由于酸的作用而使前述 (A)成分中的环氧基进行阳离子聚合的催化剂。作为热产酸剂，通常可以使用阳离子成分与 阴离子成分成对而得的有机高貪盐化合物。
[0049]作为上述阳离子成分，可举出例如，有机锍、有机氧榻?、有机铵、有机鱗:、有机碘 鐵等有机阳离子。此外，作为上述阴离子成分，可举出例如，B(C6F5)4'SbF6_、AsF 6_、PF6_、 BF4-、CF3S〇3-〇
[0050] 作为热产酸剂，可举出例如，TA100、TA120、TA160(以上为。口（株)制），K-PURE〔注册商标〕TAG2689、K-PURE〔注册商标〕TAG2690、K-PURE〔注册商标〕CXC1614、K-PURE 〔注册商标〕CXC1738(以上为King Industries Inc?制），寸^工彳 KSI-lOOUf^工彳 K SI-180L(以上为三新化学工业(株）制）。这些热产酸剂可以单独使用，也可以组合2种以上 使用。
[0051] 本发明的树脂组合物中的（B)成分的含量，以该树脂组合物的固体成分中的含量 计，通常为0.1质量％~20质量％。
[0052] 对本发明的树脂组合物的调制方法不特别限定，可举出例如，将作为(A)成分的共 聚物溶解于溶剂中，向该溶液中以规定的比例混合作为(B)成分的热产酸剂，使其为均匀的 溶液的方法。进一步可举出，在该调制方法的适当的阶段，根据需要进一步添加其他添加剂 并混合的方法。
[0053]作为前述溶剂，只要是溶解上述(A)成分、（B)成分的溶剂就不特别限定。作为那样 的溶剂，可举出例如，乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙 酸酯、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、丙二醇、丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙 酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、丙二醇单丁基醚、丙二醇单丁基醚乙酸酯、甲苯、二甲苯、甲基 乙基酮、环戊酮、环己酮、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羟基 乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸 甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙酮酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-庚酮、 T _丁内酯。这些溶剂可以单独使用，也可以组合2种以上使用。
[0054]这些溶剂中，从提高将本发明的树脂组合物涂布于基板上而形成的涂膜的流平性 的观点出发，优选丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、2-庚酮、乳酸乙酯、乳酸丁酯和 环己酮。
[0055]此外，为了提高涂布性，本发明的树脂组合物还可以含有表面活性剂。作为该表面 活性剂，可举出例如，聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯鲸蜡基醚、聚氧乙烯 油基醚等聚氧乙烯烷基醚类、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚等聚氧乙烯烷基 芳基醚类、聚氧乙烯-聚氧丙烯嵌段共聚物类、失水山梨糖醇单月桂酸酯、失水山梨糖醇单 棕榈酸酯、失水山梨糖醇单硬脂酸酯、失水山梨糖醇单油酸酯、失水山梨糖醇三油酸酯、失 水山梨糖醇三硬脂酸酯等失水山梨糖醇脂肪酸酯类、聚氧乙烯失水山梨糖醇单月桂酸酯、 聚氧乙烯失水山梨糖醇单棕榈酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇单硬脂酸酯、聚氧乙烯失水山 梨糖醇三油酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇三硬脂酸酯等聚氧乙烯失水山梨糖醇脂肪酸酯类 等非离子系表面活性剂、工7 〔注册商标〕EF301、工7 hv7°EF303、工7 b/7°EF352 (以上 为三菱7少电子化成（株）制）、^力' 7 7 〔注册商标〕F-171、^力' 7 r F-173、夕 力'7 7 R-30、^ 力'7 7R-40、^ 力'7 7R-40_LM(以上为DIC(株）制）、7 口歹一 K FC430、7 口歹一 K FC431 (以上为住友只U-工厶（株）制）、7 f'匕力'一 K〔注册商标〕AG710、 f 一7 口 ^〔注册商标〕S-382、f 一7 口 ^SC101、f 一7 口 ^SC102、f 一7 口 ^SC103、f 一7 口 ^SC104、f 一7 口 ^SC105、f 一7 口 ^SC106(旭硝子（株）制）、卩丁父-2060、卩丁父_ 212D、FTX-218、FTX-220D、FTX-230D、FTX-240D、FTX-212P、FTX-2 20P、FTX-228P、FTX-240G等 7夕一^二乂卜系列（（株）專才只制）等氟系表面活性剂、有机硅氧烷聚合物KP341(信越化 学工业(株)制）。这些表面活性剂可以单独使用，也可以组合2种以上使用。
[0056] 此外，在使用前述表面活性剂的情况下，在本发明的树脂组合物中的含量，以该树 脂组合物的固体成分中的含量计为3质量％以下，优选为1质量％以下，更优选为0.5质量％ 以下。
[0057] 此外，本发明的树脂组合物，只要不损害本发明的效果，可以根据需要包含交联 剂、固化助剂、紫外线吸收剂、敏化剂、增塑剂、抗氧化剂、粘接助剂等添加剂。
[0058]以下，对本发明的树脂组合物的使用例进行说明。
[0059] 在基板{例如，由氧化硅膜被覆的硅等半导体基板、由氮化硅膜或氮氧化硅膜被覆 的硅等半导体基板、形成有滤色器的硅等半导体基板、氮化硅基板、石英基板、玻璃基板(包 含无碱玻璃、低碱玻璃、结晶化玻璃）、形成有IT0膜的玻璃基板}上，利用旋转器、涂布机等 适当的涂布方法涂布本发明的树脂组合物，然后使用加热板等加热手段进行烘烤并使其固 化，从而形成平坦化膜或微透镜用树脂膜。
[0060] 烘烤条件从烘烤温度80°C~300 °C、烘烤时间0.3分钟~60分钟之中进行适当选 择。此外，也可以以上述温度范围内的不同烘烤温度进行2步骤以上处理。在本发明的树脂 组合物的情况下，可以以小于200°C的烘烤温度形成所期望的树脂膜。
[0061 ]此外，作为由本发明的树脂组合物形成的树脂膜的膜厚，为0.005M1~5. Own，优选 为0?Olym~3?Oym。
[0062]然后，在由本发明的树脂组合物形成的微透镜用树脂膜上涂布抗蚀剂溶液，通过 规定的掩模进行曝光，根据需要进行曝光后加热(PEB)，进行碱性显影、冲洗和干燥，从而形 成规定的抗蚀剂图案。曝光可以使用例如，g射线、i射线、KrF准分子激光、ArF准分子激光。 [0063] 接着，通过进行加热处理(通常为不超过200°C的温度），使上述抗蚀剂图案回流而 形成透镜图案。以该透镜图案为蚀刻掩模，将下层的微透镜用树脂膜进行回蚀，将透镜图案 形状转印到微透镜用树脂膜，从而制作微透镜。
[0064] 实施例
[0065]以下基于实施例更详细地说明本发明，但本发明不受这些实施例限定。
[0066]〔由下述合成例获得的共聚物的重均分子量的测定〕
[0067]装置：日本分光(株)制GPC系统
[0068] 柱：Shodex〔注册商标〕KF-804L 和 KF-803L
[0069] 柱温箱:40°C [0070] 流量：lmL/分钟 [0071]洗脱液：四氢呋喃 [0072][共聚物的合成]
[0073]〈合成例1>
[0074] 使3,4_环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯（甘彳夕口7 -〔注册商标〕M100((株）夕''彳 七少制））19.78、乙氧基化邻苯基苯酚丙烯酸酯(疆工只于少〔注册商标仪-1^^10(新中村 化学工业（株）制））40.0g以及2,2'-偶氮二异丁腈1.68溶解于丙二醇单甲基醚乙酸酯 114. Og中，然后将该溶液历时3小时滴加到将丙二醇单甲基醚乙酸酯70.2g保持在70°C的烧 瓶中。滴加结束后，通过使其反应15小时，从而获得具有前述式（1)所表示的结构单元和前 述式(2)所表示的结构单元的共聚物的溶液（固体成分浓度为25质量％)。所得的共聚物的 重均分子量Mw为32,000(聚苯乙烯换算）。
[0075]〈合成例2>
[0076] 使3,4_环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯20.0g、4_乙烯基联苯ll.Og以及2,2'_偶氮 二异丁腈〇.64g溶解于丙二醇单甲基醚乙酸酯43.9g中，然后将该溶液历时3小时滴加到将 丙二醇单甲基醚乙酸酯27. Og保持在70 °C的烧瓶中。滴加结束后，通过使其反应15小时，从 而获得具有前述式（1)所表示的结构单元和前述式(3)所表示的结构单元的共聚物的溶液 (固体成分浓度为25质量％)。所得的共聚物的重均分子量Mw为17,000(聚苯乙烯换算）。 [0077]〈合成例3>
[0078]使甲基丙烯酸缩水甘油酯6.5g、l_正丁氧基乙基甲基丙烯酸酯8.5g、苯乙烯38.Og 以及2,2'_偶氮二异丁腈2.3g溶解于丙二醇单甲基醚乙酸酯103.Og中，然后将该溶液历时4 小时滴加到将丙二醇单甲基醚乙酸酯26.0g保持在75°C的烧瓶中。滴加结束后，通过使其反 应18小时，从而获得不具有前述式(2)所表示的结构单元和前述式(3)所表示的结构单元的 任一种的共聚物的溶液（固体成分浓度为30质量％)。所得的共聚物的重均分子量Mw为14， 000(聚苯乙烯换算）。
[0079][树脂组合物的调制]
[0080] 〈实施例1>
[0081] 使由合成例1获得的作为(A)成分的共聚物的溶液10.0g(包含固体成分2.5g)、作 为(B)成分的热产酸剂K-PURE〔注册商标〕TAG2689(KingIndustries Inc.制）0.04g以及作 为表面活性剂的 > 力'〔注册商标〕R-30(DIC(株)制）0.003g溶解于丙二醇单甲基醚 乙酸酯7.5g中，制成溶液。然后，使用孔径0. lOwii的聚乙烯制微型过滤器进行过滤来调制树 脂组合物。
[0082] 〈实施例2>
[0083]使由合成例2获得的作为(A)成分的共聚物的溶液10.0g(包含固体成分2.5g)、作 为(B)成分的热产酸剂K-PURE〔注册商标〕TAG2689(KingIndustries Inc.制）0.04g以及作 为表面活性剂的 > 力'〔注册商标〕R-30(DIC(株)制）0.003g溶解于丙二醇单甲基醚 乙酸酯7.5g中，制成溶液。然后，使用孔径0. lOwii的聚乙烯制微型过滤器进行过滤来调制树 脂组合物。
[0084] 〈比较例1>
[0085] 使由合成例1获得的作为(A)成分的共聚物的溶液10.0g(包含固体成分2.5g)以及 作为表面活性剂的 > 力'〔注册商标〕R-30(DIC(株)制）0.003g溶解于丙二醇单甲基 醚乙酸酯7.5g中，制成溶液。然后，使用孔径O.lOwii的聚乙烯制微型过滤器进行过滤来调制 树脂组合物。
[0086] 〈比较例2>
[0087]使由合成例3获得的作为(A)成分的共聚物的溶液10.0g(包含固体成分3.0g)以及 作为表面活性剂的 > 力'〔注册商标〕R-30(DIC(株)制）0.003g溶解于丙二醇单甲基 醚乙酸酯11.Og中，制成溶液。然后，使用孔径0.10M1的聚乙烯制微型过滤器进行过滤来调 制树脂组合物。
[0088][耐溶剂性试验]
[0089] 分别将由实施例1、实施例2、比较例1以及比较例2调制的树脂组合物，使用旋转涂 布机涂布在硅晶片上，在加热板上以l〇〇°C进行1分钟烘烤，进而以140°C进行10分钟烘烤， 形成膜厚〇.6wii的树脂膜。对于这些树脂膜，进行在丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸 酯、环己酮、乳酸乙酯、乙酸丁酯、丙酮、y-丁内酯、甲基乙基酮、2-庚酮、2-丙醇以及2.38质 量％浓度的氢氧化四甲基铵(TMAH)水溶液中，分别在23°C的温度条件下进行5分钟浸渍的 试验。测定浸渍前后膜厚变化，将即使在上述浸渍溶剂中的一种溶剂中，相对于浸渍前的膜 厚有5%以上的膜厚增减的情况设为"X"，将对于所有溶剂膜厚增减小于5%的情况设为 "〇"来评价耐溶剂性。将评价结果示于表1中。
[0090] [透射率测定]
[0091 ]分别将由实施例1和实施例2调制的树脂组合物，使用旋转涂布机涂布在石英基板 上，在加热板上以l〇〇°C进行1分钟烘烤，进而以140°C进行10分钟烘烤，形成膜厚0.6M1的树 脂膜。对于这些树脂膜，使用紫外线可见光分光光度计UV-2550((株)岛津制作所制），测定 波长400nm的透射率。将评价结果示于表1中。
[0092][保存稳定性]
[0093]分别将由实施例1和实施例2刚刚调制的树脂组合物，使用旋转涂布机涂布在硅晶 片上，在加热板上以l〇〇°C进行1分钟烘烤，进而以140°C进行10分钟烘烤，从而形成树脂膜， 使用光干涉式膜厚测定装置歹么夕''工一'VM_2110(大日本只夕!；一^制造(株）制）来测定 这些树脂膜的膜厚。进而，将相同的树脂组合物在35°C (加速试验)保存1个月，测定由保存 后的树脂组合物通过同样的方法所形成的树脂膜的膜厚。与由刚刚调制的树脂组合物所形 成的树脂膜的膜厚比较，将膜厚变化小于10%的情况设为"〇"，将膜厚变化为10%以上的 情况设为"X"。将评价结果示于表1中。
[0094][高低差平坦化性]
[0095] 分别将由实施例1和实施例2调制的树脂组合物，使用旋转涂布机涂布在高度0.3y m、线宽1 Oym、线间间隔1 Oym的高低差基板（参照图1)上，在加热板上以100 °C进行1分钟烘 烤，进而以140°C进行10分钟烘烤，从而形成膜厚0.6wii的树脂膜。由图1中所示的hl(高低差 基板1的高低差)与h2(树脂膜2的高低差，即线上的树脂膜的高度与间隔上的树脂膜的高度 的高低差），使用"式：（1_(112/1 11))\100"求出平坦化率。将评价结果示于表1中。
[0096] [表1]
[0097] 表 1
[0099] 由表1的结果来看，由本发明的树脂组合物形成的树脂膜为高耐溶剂性，同时为高 透明性。进而可知，本发明的树脂组合物保存稳定性优异。进而，由本发明的树脂组合物形 成的树脂膜均具有平坦化率50%以上的高低差平坦化性，其中，关于由实施例1调制的树脂 组合物所形成的树脂膜，具有平坦化率80%以上的优异的高低差平坦化性。另一方面，关于 由比较例1调制的树脂组合物所形成的树脂膜，由于不含有热产酸剂，因此结果不满足耐溶 剂性，可知不适合平坦化膜和微透镜用树脂膜中的任一种，关于由比较例2调制的树脂组合 物所形成的树脂膜，由于其在小于200°C的烘烤温度下形成，因此结果不满足耐溶剂性，可 知不适合平坦化膜和微透镜用树脂膜中的任一种。
【附图说明】
[0100] 图1是表示在高低差基板上涂布本发明的树脂组合物，进行烘烤而形成的树脂膜 的示意图。
[0101] 符号说明
[0102] 1:高低差基板
[0103] 2:树脂膜
[0104] 3:线宽
[0105] 4:线间间隔
[0106] hi:高低差基板的高低差
[0107] h2:树脂膜的高低差。
【主权项】
1. 一种平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，其含有(A)成分、（B)成分和溶剂， (A) 成分:具有下述式（1)所表示的结构单元、且进一步具有下述式(2)或式(3)所表示 的结构单元的共聚物， (B) 成分:热产酸剂，式中，Rt3分别独立地表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1~5的亚烷基，该亚 烷基中可以具有醚键，R2表示环氧基、或具有环氧环的碳原子数为5~12的有机基团，R3表示 碳原子数为1~3的亚烷基，η表示O~5的整数。2. 根据权利要求1所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，所述式（1)所表示的结构 单元是下述式(1-1)所表示的结构单元，式中，Rt3表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1~5的亚烷基。3. 根据权利要求1或2所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，所述共聚物进一步具 有下述式(4)所表示的结构单元，式中，X表示环己基或苯基。4. 根据权利要求1~3中任一项所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，所述共聚物 的重均分子量为1，〇〇〇~50,000。5. 根据权利要求1~4中任一项所述的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，以从所述树 脂组合物中除去所述溶剂而得的固体成分中的含量计，所述树脂组合物包含0.1质量％~ 20质量％的所述热产酸剂。6. -种平坦化膜，其是由权利要求1~5中任一项所述的树脂组合物制作的。7. -种微透镜，其是由权利要求1~5中任一项所述的树脂组合物制作的。
【文档编号】G02B3/00GK105934693SQ201480074016
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2014年12月26日
【发明人】安达勋, 坂口崇洋
【申请人】日产化学工业株式会社